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    • 3. 发明授权
    • 분할 상 동기식 모터 제어기
    • KR102431097B1
    • 2022-08-09
    • KR1020227013182
    • 2015-08-07
    • H02P25/16H02P27/18H02P6/06H02P6/16H02P6/17
    • 모터용상 권선회로는회로의모터상 권선의절반부를형성하는적어도 2개의상 권선및 회로의모터상 권선의나머지절반부를형성하는적어도 2개의다른상 권선을포함한다. 하나이상의상 권선으로부터전달되는교류전류(AC) 전력을수신하고 AC 전력을 DC 전력으로변환하도록직류전류(DC) 전력서플라이는모터상 권선의중간점에위치한다. 제1 스테이지전력스위치회로는 DC 전력서플라이외부에있으며회로의각각의절반부의상 권선사이의중간점에서전기적으로연결되는적어도하나의전력스위치를포함한다. 제2 스테이지전력스위치회로는 DC 전력서플라이외부에위치하고, 모터상 권선으로부터 AC 전력을수신하기위해모터상 권선의중간점에서전기적으로연결되는적어도하나의다른전력스위치를포함한다. 비-붕괴 DC 전력서플라이구성요소가적어도하나의전력스위치가온(on)이고전도상태일때 DC 전력서플라이가붕괴(collapse)되는것을막는다.
    • 4. 发明授权
    • 모터, 이중 행정 스테이지 및 리소그래피 장치
    • KR102411955B1
    • 2022-06-22
    • KR1020207010871
    • 2018-09-05
    • H02P6/00G03F7/20H02K3/28H02K41/03H02K41/035H02P6/16
    • 본발명은모터(LD)에관한것으로, 이모터는, 다상을갖는코일어셈블리열(UCA, LCA)을포함하는고정부(STP), 영구자석열(UPM, LPM)을포함하는가동부(MP)(코일어셈블리열은제 1 길이를가지며영구자석열은제 2 길이를가지며, 제 2 길이는제 1 길이보다작고, 코일어셈블리는이 코일어셈블리와정렬되어있는영구자석과상호작용하여구동력을발생시킴), 가동부의실제위치를나타내는위치측정신호를가동부의요구되는위치를나타내는설정점신호와비교하여에러신호를제공하는비교기, 에러신호에근거하여제어신호를제공하도록구성된동작피드백제어기, 및제어신호에근거하여작동신호를코일어셈블리에제공하도록구성된적어도하나의전류증폭기를포함하고, 모터는피드포워드장치를포함하고, 피드포워드장치는설정점신호또는그의도함수에근거하여전류증폭기피드포워드신호를제공하도록구성되어있고, 전류증폭기피드포워드신호는적어도하나의전류증폭기에제공되어, 하나이상의코일어셈블리가영구자석과부분적으로만정렬됨으로인해코일어셈블리중의하나이상에작용하는불균형한역기전력을보상한다.
    • 5. 发明授权
    • 정밀 디스펜싱 제어 시스템 및 그 제어 방법
    • KR102401728B1
    • 2022-05-26
    • KR1020200097758
    • 2020-08-05
    • H02P6/16G05B19/042H02P27/08G05D3/12H04L25/49
    • 정밀디스펜싱제어시스템이개시된다. 정밀디스펜싱제어시스템은, 하이레벨제어기, DSP 모듈, 서보모터드라이버, 서보모터엔코더및 레이저또는분사노즐장치를포함하며, 하이레벨제어기는 RS(Recommended Standard) 232 통신인터페이스를통해 DSP 모듈로 PWM(Pulse Width Modulation) 설정정보를전송하고, 서보모터드라이버는서보모터엔코더에대한모니터링을통해서보모터엔코더에의한현재의엔코더값을실시간으로 DSP 모듈로전송하며, DSP 모듈은서보모터드라이버로부터수신한엔코더값대비 PWM 설정정보에기초하여 PWM 제어신호를생성하고, 생성된 PWM 제어신호에기초하여레이저또는분사노즐장치를제어한다. 이에따라, PWM 제어방식을통해디스펜싱의정밀제어가가능해져가감속구간에서도일정한디스펜싱을수행할수 있게되어, 디스펜싱공정에서나타나는도포폭 불균일, 두께불균일을완벽히제정할수 있다.
    • 6. 发明授权
    • 전동기의 회전자 위치 추정 시스템 및 방법
    • KR102388891B1
    • 2022-04-22
    • KR1020170082213
    • 2017-06-29
    • H02P6/16
    • 본발명은전동기의회전위치를홀 센서(Hall Sensor)를통해검출할때, 홀센서의입력에더블위상고정루프(Double Phase Lock Loop)를설치하고, 설치된더블위상고정루프를통해홀 센서에서검출된위치정보의리플성분이제거되도록함으로써전동기의회전자위치를안정적으로추정할수 있도록하는, 전동기의회전자위치추정시스템및 방법에관한것이다. 본발명에따른전동기의회전자위치추정시스템은, 전원이공급되면회전자를회전시키는전동기; 상기회전자의회전각도를검출하고, 검출된회전각도에따라홀(Hall) 신호를출력하는하나이상의홀 센서; 상기하나이상의홀 센서로부터출력된각 홀신호를입력받아비례적분(PI)하여특정위상으로유지되도록하여고주파성분을감쇠시키는제1 PLL; 상기제1 PLL에서출력되는신호에대해, 홀센서패턴각을보상하여입력받고비례적분(PI)하여특정위상으로유지되도록하여고주파성분을감쇠시키는제2 PLL; 및상기하나이상의홀 센서로부터출력된각 홀신호가상기제1 PLL 및상기제2 PLL을통해고주파성분이감쇠되도록제어하고, 상기제2 PLL에서출력되는신호에근거해상기회전자의위치를추정하는제어부를포함한다.
    • 8. 发明授权
    • 전원 모드에 따른 위치 검출 장치 및 이를 이용한 모터 장치
    • KR102368821B1
    • 2022-03-03
    • KR1020170088243
    • 2017-07-12
    • H02P6/16H02K11/215H02K11/22
    • 본발명은모터가구동되지않는정전모드상태에서효율적으로위치정보를검출할수 있는전원모드에따른위치검출장치및 이를이용한모터장치에관한것이다. 본발명에따른전원모드에따른위치검출장치는모터의회전축에결합되어회전축이회전함에따라회전하며, 회전축과수직한일측면에원주방향을따라일정간격으로영구자석이배치되는디스크부, 디스크부와일정간격이격된상태로배치되며, 디스크부와대향하는일측면에배치되어영구자석의자계방향변화를감지하는복수의홀 센서와, 회전축의회전에따른회전수를카운트하는카운터를포함하여, 회전축의회전에따른절대위치값과회전수를카운트한값을포함하는위치정보를출력하는엔코더, 모터가구동되는구동모드에서복수의홀 센서전체와카운터를동작시켜회전축의위치정보를획득하고, 모터가구동되지않는정전모드에서복수의홀 센서중 일부와카운터를동작시켜정전상태에서의회전축의위치정보를획득하는제어부를포함한다.