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    • 9. 发明授权
    • 스프레이 노즐이 결합된 전해 증착 장치 및 방법
    • KR102348703B1
    • 2022-01-12
    • KR1020170051138
    • 2017-04-20
    • C25D7/06C25D5/12C25D5/04C25D17/12
    • 스프레이노즐이결합된롤투롤공정을이용하여물성이우수한균일한박막을생성하고, 경제성도높일수 있는전해증착장치및 방법을제공한다. 이를위하여, 도금조를포함하는전해증착장치에있어서, 일부는도금욕에잠기고일부는대기중에노출되도록도금조에배치되는롤; 및상기롤 상부에위치하며상기롤의대기중에노출된부분위에물질을분사하기위한스프레이노즐을포함하는것을특징으로하는전해증착장치를제공한다. 또상기전해증착장치를이용하는증착방법으로서, 일부는도금욕에잠기고일부는대기에노출되도록롤을위치시키는단계; 상기도금욕의롤 표면에모재를공급하는단계; 전해증착을실시하여상기모재의도금욕에잠긴부분에표면에제1박막을형성하는단계; 상기롤을회전시키면서상기롤의증착된부분이대기중으로노출될때, 스프레이노즐로부터코팅물질을분사하여상기제1박막위에제2박막을형성하는단계를포함하는증착방법을제공한다.