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    • 4. 发明授权
    • 태양 전지용 다결정 실리콘층 증착 장비
    • 太阳能电池用多晶硅层沉积设备
    • KR101806966B1
    • 2017-12-08
    • KR1020170016133
    • 2017-02-06
    • 엘지전자 주식회사
    • 이현호장원재안준용
    • H01L31/18
    • H01L31/18H01L31/0368H01L31/0392Y02E10/546
    • 본발명은태양전지용다결정실리콘층증착장비에관한것이다. 본발명의일례에따른태양전지용다결정실리콘층증착장비는실리콘웨이퍼가내부에배치되는공간을구비한챔버몸체; 실리콘웨이퍼의표면에다결정실리콘층을증착하기위한실리콘증착가스를분사하기위하여, 챔버몸체의내부에제1 방향으로길게고정되고, 실리콘증착가스를분사하는복수의홀이제1 방향으로이격되어구비되는제1 샤워노즐; 및다결정실리콘층내에불순물을주입하기위한불순물가스를분사하기위하여, 챔버몸체의내부에제1 방향으로길게고정되고, 불순물가스를분사하는복수의홀이제1 방향으로이격되어구비되는제2 샤워노즐;을포함하고, 제2 샤워노즐에구비된홀들각각의전면에이격되어, 제1 방향으로길게위치하는판상형태의디퓨저(Diffuser)를더 포함한다.
    • 本发明涉及一种用于沉积太阳能电池的多晶硅层的设备。 具有根据本发明的一个示例的空间太阳能电池的多晶硅层沉积装置腔室主体是设置在其中一个硅晶片; 为了注入硅沉积气体的硅晶片的表面上沉积多晶硅层,并保持在该腔室主体,其被提供由多个孔现在第一方向的用于注入硅沉积气体隔开的内部固定在第一方向上 第一喷淋喷嘴; 第二喷头,这是mitda晶注入的杂质气体导入该杂质进入硅层时,在腔体的内部中的第一方向上纵向固定,具有在一个方向上用于喷射的杂质气体现在间隔开的多个孔的 以及与设置在第二喷淋喷嘴中的每个孔的前表面间隔开并沿第一方向延伸的板状扩散器。