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1. 发明公开

KR1020040099376A 고 정점 파워의 레이저 공동 및, 그러한 공동의 몇 개의조립체 失效
标题翻译：高峰值功率的激光腔，以及这种腔的几个组件
公开(公告)号：KR1020040099376A
公开(公告)日：2004-11-26
申请号：KR1020047015459
申请日：2003-03-26
申请人： 꼼미사리아 아 레네르지 아또미끄 에 오 에네르지 알떼르나띠브스
发明人： 트로삐에르이브 , 욀레르쎄장-마르끄 , 질베르미셸
IPC分类号： H01S3/05
CPC分类号： H01S3/2383 , H01S3/07 , H01S3/0941 , H01S3/117 , H01S3/127
摘要： 본 발명은 고체 상태의 증폭 레이저 공동(2,4,6)에 관한 것으로서, 상기 공동은 연속적으로 작동되는 다이오드에 의해 구동되고 펌핑되며, 적어도 2 개의 레이저 바아(36a,36b), 비임이 가장 적게 발산하는 곳인 공동의 부분 안에 배치된 광학 펄스(50,52)를 트리거시키는 적어도 하나의 수단 및, 상기 공동을 한정하는 2 개의 미러(42,44)를 구비하며, 미러들중 하나는 고도로 반사되는 것이고 다른 하나는 부분적으로 반사되는 것이다.

2. 发明公开

KR1020090085600A ＥＵＶ 광원용 구동 레이저 전달 시스템 有权
标题翻译：用于EUV光源的驱动激光输送系统
公开(公告)号：KR1020090085600A
公开(公告)日：2009-08-07
申请号：KR1020097009047
申请日：2007-09-27
申请人： 사이머 엘엘씨
发明人： 비카노프알렉산더엔. , 포멘코프아이고르브이. , 코디킨올레흐브이. , 에르쇼프알렉산더아이.
IPC分类号： G01J3/10
CPC分类号： H05G2/003 , G03F7/70033 , H01S3/0064 , H01S3/073 , H01S3/0805 , H01S3/08054 , H01S3/08059 , H01S3/083 , H01S3/10092 , H01S3/105 , H01S3/1066 , H01S3/115 , H01S3/121 , H01S3/127 , H01S3/2232 , H01S3/2316 , H01S3/2325 , H01S3/2383 , H05G2/008
摘要： An LPP EUV light source is disclosed having an optic positioned in the plasma chamber for reflecting EUV light generated therein and a laser input window. For this aspect, the EUV light source may be configured to expose the optic to a gaseous etchant pressure for optic cleaning while the window is exposed to a lower gaseous etchant pressure to avoid window coating deterioration. In another aspect, an EUV light source may comprise a target material positionable along a beam path to participate in a first interaction with light on the beam path; an optical amplifier; and at least one optic directing photons scattered from the first interaction into the optical amplifier to produce a laser beam on the beam path for a subsequent interaction with the target material to produce an EUV light emitting plasma. ® KIPO & WIPO 2009
摘要翻译：公开了一种LPP EUV光源，其具有位于等离子体室中的光学器件，用于反射在其中产生的EUV光和激光输入窗口。对于该方面，EUV光源可以被配置为将窗口暴露于更低的气体蚀刻剂压力以将窗口暴露于气体蚀刻剂压力以进行光学清洁，以避免窗口涂层变质。在另一方面，EUV光源可以包括沿着光束路径定位以参与与光束路径上的光的第一相互作用的目标材料; 光放大器; 以及至少一个光导向光子从第一相互作用散射到光放大器中以在光束路径上产生激光束，用于随后与目标材料的相互作用以产生EUV发光等离子体。 ®KIPO＆WIPO 2009

3. 发明公开

KR1020000048927A 단펄스 레이저 시스템 失效
标题翻译： PICOSECOND激光
公开(公告)号：KR1020000048927A
公开(公告)日：2000-07-25
申请号：KR1019997002961
申请日：1997-10-03
申请人： 제이엠에이알 테크놀로지 컴페니
发明人： 헤리리거 , 헨리실즈 , 리챠드포스터
IPC分类号： H01S3/00
CPC分类号： H01S3/2341 , H01S3/0057 , H01S3/0085 , H01S3/082 , H01S3/094076 , H01S3/0941 , H01S3/09415 , H01S3/1024 , H01S3/1075 , H01S3/1103 , H01S3/1109 , H01S3/1127 , H01S3/115 , H01S3/117 , H01S3/127 , H01S3/23 , H01S3/2316 , H01S3/2333 , H01S3/2383 , H01S2301/08
摘要： PURPOSE: A picosecond laser is provided to generate pulses with a duration in the range of about 60 to 300 ps at an energy level of up to a few milli-Joules per pulse (mJ/p) with near diffraction limited beam quality. CONSTITUTION: A crystal(8) composed of Nd:YAG rod is operated by a diode laser and a resonator composed of two reflection mirror and polarization beam splitter(12) is forming a beam path passing laser crystal. The beam path in the resonator is periodically blocked by a first optical shutter(14) consisted of an acousto-optic Q-switch permitting pump energy to build up in the laser crystal, except for a short period near the end of each pumping period. While the first optical shutter(14) is open, a second optical shutter(16) consisted of an acousto-optic mode locker blocks the light in the resonator except for periodic subnano-second intervals, the intervals being spaced such that at least one light pulse traveling at the speed of light in the resonator is able to make a plurality of transits through the resonator, increasing in intensity by extracting energy from the excited laser crystal on each transit. After the light pulse has built up in intensity, an optical release mechanism releases the pulse from resonator.
摘要翻译：目的：提供皮秒激光以产生持续时间在约60至300ps范围内的脉冲，其能量水平高达几毫安每脉冲（mJ / p），近衍射受限束质量。构成：由Nd：YAG棒构成的晶体（8）由二极管激光器工作，由两个反射镜和偏振分束器（12）组成的谐振器形成通过激光晶体的光束路径。谐振器中的光束路径被包括声光Q开关的第一光学快门（14）周期地阻挡，声光Q开关允许泵浦能量积聚在激光晶体中，除了接近每个泵送周期结束的短周期之外。当第一光学快门（14）打开时，由声光模式锁定器组成的第二光学快门（16）阻挡除了周期性亚纳秒级间隔之外的谐振器中的光，间隔被间隔开，使得至少一个光在谐振器中以光速行进的脉冲能够通过谐振器进行多个过渡，通过在每次运送时从激发的激光晶体提取能量而增加强度。在光脉冲强度累积之后，光学释放机构从谐振器释放脉冲。

4. 发明公开

KR1020120098410A 파이버 레이저 장치 및 출력 감시 방법 有权
标题翻译：光纤激光器件和输出监控方法
公开(公告)号：KR1020120098410A
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：KR1020120006243
申请日：2012-01-19
申请人： 오므론 가부시키가이샤
发明人： 도가와다꾸야
IPC分类号： H01S3/067 , H01S3/10
CPC分类号： H01S3/0064 , G02B6/12007 , G02F1/015 , H01S3/127
摘要： PURPOSE: A fiber laser device and an output monitoring method are provided to eliminate noise due to remaining excitation light by eliminating the remaining excitation light from a monitoring light. CONSTITUTION: A detection unit(166) detects the power of a background light and a signal amplification light based on detection signals provided from an optical detector(146). The detection unit supplies signals showing the detection result to a driving control unit. The detection unit detects abnormalities of a laser light source based on the detected background radiation. The detection unit supplies error signals to the driving control unit. The detection unit includes a pulse voltage conversion circuit(201), an amplifier circuit(202), a Zener diode(203), an amplifier circuit(204), and a multiplexer(205). The detection unit includes signal processing units(206A,206B), a reference power supply(207), a comparator(208), a power source(209), and a switch(210). [Reference numerals] (166) Detection unit; (201) I-V conversion; (206A, 206B) Signal processing unit
摘要翻译：目的：提供光纤激光装置和输出监控方法，通过消除来自监控光的剩余激发光来消除由于剩余激发光引起的噪声。构成：基于从光检测器（146）提供的检测信号，检测单元（166）检测背景光和信号放大光的功率。检测单元向驱动控制单元提供表示检测结果的信号。检测单元基于检测到的背景辐射来检测激光光源的异常。检测单元向驱动控制单元提供错误信号。检测单元包括脉冲电压转换电路（201），放大电路（202），齐纳二极管（203），放大电路（204）和多路复用器（205）。检测单元包括信号处理单元（206A，206B），参考电源（207），比较器（208），电源（209）和开关（210）。（附图标记）（166）检测单元; （201）I-V转换; （206A，206B）信号处理单元

5. 发明授权

KR101173582B1 동기화된 펄스 모양 개조를 위한 방법 및 시스템 有权
标题翻译：同步脉冲形状定制的方法和系统
公开(公告)号：KR101173582B1
公开(公告)日：2012-08-13
申请号：KR1020077012850
申请日：2005-11-21
申请人： 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드
发明人： 선,윤롱 , 선,레이
IPC分类号： H01S3/11
CPC分类号： H01S3/082 , B23K26/0622 , H01S3/07 , H01S3/0805 , H01S3/0816 , H01S3/0941 , H01S3/10038 , H01S3/10046 , H01S3/117 , H01S3/127 , H01S3/1611 , H01S3/1643
摘要： 상이한 디자인 구성을 가지는 복수의 부공진기(12, 14)는, 레이저 작용이 상이한 각각의 펄스 에너지 프로파일 및/또는 부공진기(12, 14)의 구성에 의해 주어진 펄스 폭 특성을 융합시키는 코히어런트(coherent) 레이저 펄스를 제공하도록 실질적으로 동기화될 수 있게 공통 공진기 섹션(18)을 공유한다. 부공진기(12, 14)는 공통 섹션에서 레이저 매체(42)를 공유할 수 있거나, 각각의 별개의 부공진기 섹션(28, 36)은 자체적인 레이저 매체(42)를 가질 수 있다. 예시적인 길고 짧은 부공진기(12, 14)는, 다양한 레이저와, 메모리 링크 처리를 포함하는 미세 가공 응용에 유익할 수 있는 1개의 파장 또는 2개의 파장에서 짧은 상승 시간과 긴 펄스 폭을 가지는 특별히 개조된 레이저 펄스를 생성한다.

6. 发明授权

KR100973036B1 고 정점 파워의 레이저 공동 및, 그러한 공동의 몇 개의조립체 失效
标题翻译：高峰值功率激光腔和几个这样的腔的组装
公开(公告)号：KR100973036B1
公开(公告)日：2010-07-29
申请号：KR1020047015459
申请日：2003-03-26
申请人： 꼼미사리아 아 레네르지 아또미끄 에 오 에네르지 알떼르나띠브스
发明人： 트로삐에르이브 , 욀레르쎄장-마르끄 , 질베르미셸
IPC分类号： H01S3/05
CPC分类号： H01S3/2383 , H01S3/07 , H01S3/0941 , H01S3/117 , H01S3/127
摘要： 본 발명은 고체 상태의 증폭 레이저 공동(2,4,6)에 관한 것으로서, 상기 공동은 연속적으로 작동되는 다이오드에 의해 구동되고 펌핑되며, 적어도 2 개의 레이저 바아(36a,36b), 비임이 가장 적게 발산하는 곳인 공동의 부분 안에 배치된 광학 펄스(50,52)를 트리거시키는 적어도 하나의 수단 및, 상기 공동을 한정하는 2 개의 미러(42,44)를 구비하며, 미러들중 하나는 고도로 반사되는 것이고 다른 하나는 부분적으로 반사되는 것이다.

7. 发明授权

KR100866240B1 반도체 레이저 구동 장치 및 이를 이용한 레이저 침 有权
标题翻译：用于驱动半导体激光和激光激光的装置
公开(公告)号：KR100866240B1
公开(公告)日：2008-10-30
申请号：KR1020070072955
申请日：2007-07-20
申请人： 광주과학기술원
发明人： 정성호 , 오광환
IPC分类号： H01S5/06 , H01S5/00
CPC分类号： H01S5/0615 , H01S3/127 , H01S5/0428
摘要： The semiconductor laser is provided to prevent the reduction of the semiconductor laser lifetime by using the light pulse signal is generated through stable DC supply and the relaxation oscillation. The semiconductor driver circuit(200) continuously operates one of a first semiconductor laser(270) and the second semiconductor laser(271) through the switching operation and performs pulse-drives. The first semiconductor laser is selectively driven by a driver circuit through the switching operation. A redish laser beam is generated. The second semiconductor laser is selectively driven by the driver circuit through switching operation. A greenish laser beam is generated.
摘要翻译：提供半导体激光器以通过使用通过稳定的直流电源和松弛振荡产生的光脉冲信号来防止半导体激光器寿命的降低。半导体驱动电路（200）通过切换动作连续地动作第一半导体激光器（270）和第二半导体激光器（271），进行脉冲驱动。第一半导体激光器通过开关操作由驱动电路选择性地驱动。产生红色激光束。第二半导体激光器通过切换操作被驱动电路选择性地驱动。产生绿色激光束。

8. 发明公开

KR1020170137415A 피코초 펄스 레이저 장치 및 구동 방법 审中-实审
标题翻译：皮秒脉冲激光装置和驱动方法
公开(公告)号：KR1020170137415A
公开(公告)日：2017-12-13
申请号：KR1020160069540
申请日：2016-06-03
申请人： 원텍 주식회사
发明人： 김정현
IPC分类号： H01S3/121 , H01S3/127 , G01J1/42
CPC分类号： G01J1/42 , H01S3/121 , H01S3/127
摘要： 본발명은피코초레이저펄스열의발생에과한것으로서, 보다상세하게는높은피크출력을갖는피코초레이저펄스열의발생에관한것이다. 이를위해서제1광스위칭소자(102)와제2광스위칭소자(105)를공진기내부에위치시키고, 제1광스위칭소자(102)와제2광스위칭소자(105)를통해서고출력피코초펄스레이저를생성하도록하는것을특징으로한다.
摘要翻译：本发明egwa皮秒脉冲生成激光器，更具体地涉及具有高的峰值输出皮秒激光脉冲的产生。为此位置的第一光开关元件102的空腔内沃赫第二光开关元件（105），通过所述第一光开关元件产生的高功率皮秒脉冲激光102沃赫第二光开关元件（105）待表征。

9. 发明公开

KR1020170056633A 음향 광학 변조기를 포함하는 Q-스위치 CO2 레이저 재료 가공 시스템 审中-实审
标题翻译： Q开关CO2激光材料处理系统包括声光调制器
公开(公告)号：KR1020170056633A
公开(公告)日：2017-05-23
申请号：KR1020177010089
申请日：2015-07-22
申请人： 페하 레이저텍 게엠베하
发明人： 스타우펜달,기스베르트
IPC分类号： H01S3/117 , H01S3/127 , H01S3/00 , H01S3/223
CPC分类号： H01S3/117 , G02B27/0966 , H01S3/005 , H01S3/0064 , H01S3/0071 , H01S3/127 , H01S3/2232
摘要： 본발명의주제는음향광학변조기들(AOM)을갖는 Q-스위치 CO레이저재료가공시스템으로, 음향광학변조기들은한편으로는 CO레이저를 Q-스위칭하기위해공진기내부에서사용되고, 다른한편으로는레이저와워크피스사이의방사선피드백의매우효율적인억제를위해외부에서사용된다. 핵심아이디어는활성매질에서의방사선의증폭측면에서 AOM 결정에서의음향파의여기주파수에정확히대응하는 AOM에서회절된방사선의주파수시프트를구체적으로고려하는것이다. 이주파수시프트가방사선의증폭을상당히감소시키기때문에, 그것은 Q-스위칭프로세스에서회피되어야하며, 이는본 발명에따라, 여기주파수는동일하지만, 결정에서의음향파들의전파방향은반대인 2개의 AOM의탠덤에의해달성된다. 이와대조적으로, 주파수시프트는본 발명에따라 AOM이레이저출력과워크피스사이에배열될때 레이저와워크피스사이의방사선피드백의억제를위해유리하고, 상기 AOM은적어도음향파의높은여기주파수를가지고있어, AOM에서회절된빔이작업빔으로서사용될때, 레이저로다시전파하는파가활성매질에의해사실상증폭되지않는다.
摘要翻译：本发明的主题是一种具有声光调制器（AOM）一个Q-开关CO激光材料处理系统，声光调制器在手中使用时，内腔切换CO激光Q-，另一方面euroneun激光器和工作它在外部用于非常有效地抑制碎片之间的辐射反馈。关键思想是要考虑的特定活性eseoui AOM晶体在辐射介质eseoui恰好在声波的激励频率的频移的衍射AOM辐射的对应的放大的方面。由于频移明显减少了辐射的放大，所以在Q开关过程中必须避免这种情况，根据本发明，Q开关过程是有利的，因为两个AOM的激励频率是相同的， Lt。与此相反，频移是的激光，并且当设置在AOM之间yireyi根据本发明的低输出和工件的工件之间的辐射反馈抑制是有利的，所述AOM得到了至少声波的更高的激发频率，当在AOM处衍射的光束被用作工作光束时，传播回激光的波基本上不被活性介质放大。

10. 发明授权

KR101682593B1 단일 펄스 레이저 장치 有权
标题翻译：单脉冲激光装置
公开(公告)号：KR101682593B1
公开(公告)日：2016-12-05
申请号：KR1020150072797
申请日：2015-05-26
申请人： 한국과학기술연구원
发明人： 전영민 , 안준모 , 이석 , 김재헌 , 서민아 , 김철기 , 이택진 , 우덕하 , 박민철
IPC分类号： H01S3/11 , H01S3/08
CPC分类号： H01S3/1109 , H01S3/115 , H01S3/127 , H01S3/1305
摘要： 제1 미러와제2 미러, 이득매질, 모드록킹및 Q-스위칭을각각수행하는전기광학변조기들을구비하는공진기를포함하는단일펄스레이저장치에있어서, 상기공진기에서발진되는레이저광을측정하는포토다이오드; 상기레이저광을측정하여생성된전기신호를 TTL 신호로변환하는동기화부; 상기 TTL 신호에, 모드록킹및 Q-스위칭된펄스들간의동기화를시키기위하여결정된지연시간을설정하고, 상기지연시간에따라트리거 TTL 신호를출력하는지연부; 및상기트리거 TTL 신호를 Q-스위칭을수행하는전기광학변조기에입력하여동작시키는 Q-드라이버를포함한다.
摘要翻译：提供单脉冲激光装置。该装置包括具有执行每个模式锁定和Q开关的第一反射镜，第二镜，增益介质和电光调制器（EOM）的谐振器，该装置包括光电二极管，其测量从谐振器，将通过测量激光产生的电信号转换为晶体管晶体管逻辑（TTL）信号的同步器;延迟单元，其设定为将锁定脉冲与Q切换脉冲同步的等待时间 TTL信号，并根据延迟输出触发TTL信号，以及将触发TTL信号输入到执行Q切换的EOM的Q驱动器，并使EOM工作。

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