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    • 1. 发明授权
    • 고체촬상소자 및 그의 제조방법
    • 固态图像传感器及其制造方法
    • KR100263467B1
    • 2000-08-01
    • KR1019970079133
    • 1997-12-30
    • 현대반도체 주식회사
    • 이서규
    • H01L27/146
    • H01L29/42396H01L27/14831
    • PURPOSE: A solid image pick-up device and its manufacturing method are provided to improve a sensitivity by perfectly reading the signal electron and increasing the aperture ratio of the pixels. CONSTITUTION: In a solid image pick-up device having a matrix-type photo diode, a first interlevel insulation layer and the first transfer gate(26) are successively formed between the photo diodes arranged in a row. A block insulation layer is formed along the center of the first transfer gate. A second interlevel insulation layer(28) is formed on the first transfer gate. A second and a third transfer gates(29b)are formed alienated from the block insulation layer and also completely placed on the first transfer gate. A third interlevel insulation layer is formed on the second and third transfer gates. A fourth transfer gate is formed on the third interlevel insulation layer to be completely placed on top of the second and third transfer gates.
    • 目的:提供固体摄像装置及其制造方法,以通过完美地读取信号电子和增加像素的开口率来提高灵敏度。 构成:在具有矩阵型光电二极管的固体摄像装置中,在排列成一行的光电二极管之间依次形成第一层间绝缘层和第一传输栅极(26)。 沿着第一传输门的中心形成块绝缘层。 在第一传输门上形成第二层间绝缘层(28)。 第二和第三传输门(29b)被形成为与块绝缘层疏远并且完全放置在第一传输门上。 在第二和第三传输门上形成第三层间绝缘层。 第四传输栅极形成在第三层间绝缘层上,以完全放置在第二和第三传输门的顶部。
    • 2. 发明授权
    • 수직형 전달게이트를 가지는 전하결합형 고체촬상소자 및 그 제조방법
    • 具有垂直传输闸门的图像拾取装置
    • KR100192954B1
    • 1999-06-15
    • KR1019960029039
    • 1996-07-18
    • 삼성전자주식회사
    • 신종철
    • H01L27/146
    • H01L29/42396H01L27/14812H01L27/14831H01L29/76808
    • 본 발명은 수직형 전달게이트를 가지는 전하결합형 고체촬상소자에 관한 것으로서, 특히 매트릭스상으로 배치된 복수의 픽셀영역들을 가지며, 각 픽셀영역들은 수광영역와 전하전송영역를 포함하며, 상기 수광영역들의 수직열들 사이에 형성된 복수의 수직전하전송수단들과, 상기 복수의 수직전송수단들로부터 동시에 전달되는 전하를 공급받아 수평방향으로 전송하는 적어도 하나 이상의 수평전하전송수단을 구비하는 전하결합형 고체촬상소자에 있어서, 상기 각 픽셀영역들은 상기 수광영역의 제 1 전도형의 반도체 기판의 표면근방에 형성된 제 2 전도형의 정공축적영역; 상기 전하전송영역의 상기 반도체 기판의 표면근방에 형성된 제 1 전도형의 수직전하결합영역; 상기 정공축적영역 및 수직전하결합영역의 하방에 형성된 제 1 전도형의 광전변환영역; 및 상기 수직전하결합영역과 상기 광전변환영역 사이에 형성되고 상기 광전변환영역에서 생성된 신호전하를 상기 수직전하결합영역의 하부로 펀치 쓰로우에 의해 전달하는 매몰형 전달게이트영역을 구비하는 것을 특징으로 한다.
    • 3. 发明授权
    • 고체촬상소자 및 그 구동방법
    • 固态图像装置及其驱动方法
    • KR100271804B1
    • 2000-11-15
    • KR1019980023806
    • 1998-06-24
    • 현대반도체 주식회사
    • 유영준
    • H01L27/148
    • H01L29/42396H01L29/76833
    • 본 발명은 고체촬상소자 및 그 구동방법에 관한 것으로, 4상클락의 고체촬상소자에서 2개의 전송게이트를 읽기용 전송 게이트로 작동시킴으로써, 전하전송통로를 넓혀 PD에서 VCCD로의 전하전송이 원활하게 하고 PD의 프로파일을 불안정하게 형성하지 않도록 하기 위하여, 제 1 도전형 기판과, 상기 기판에 스트라이프 형상으로 형성되는 다수의 제 2 도전형 전하전송영역과, 상기 다수의 전하전송영역 사이에 위치하여 상기 전하전송영역의 일부와 단위셀을 이루되, 각 단위셀에 하나씩 형성되는 다수의 제 2 도전형 광전변환영역과, 상기 기판 상부의 제 1 층에 제 1 게이트가 위치하고, 상기 제 1 층 상부의 제 2 층에 제 2 및, 제 4 게이트가 위치하고, 상기 제 2 층 상부의 제 3 층에 제 3 게이트가 위치하도록 형성되되, 상기 전하전송영역 상부에서는 상기 제 1, 제 2, 제 3 및 제 4 게이트가 차례대로 배열되고, 상기 다수의 광전변환영역 사이에서는 상기 제 2 및, 제 3 게이트가 상기 제 1 게이트 외부로 돌출되지 않도록 배열되는 전송게이트들을 포함하며, 상기 제 2 및, 제 3 게이트에 고압펄스를 동시에 인가하여 상기 광전변환영역에서 발생하는 신호전하를 상기 전하전송영역으로 전송시키는 구동방법이다.
    • 6. 发明公开
    • 고체촬상소자 및 그 구동방법
    • 固体电荷耦合器件及其驱动方法
    • KR1020000002860A
    • 2000-01-15
    • KR1019980023806
    • 1998-06-24
    • 현대반도체 주식회사
    • 유영준
    • H01L27/148
    • H01L29/42396H01L29/76833
    • PURPOSE: A solid charge coupled device is provided to transmit the signal charge generated from the photo diode to the charge coupled device. CONSTITUTION: The solid charge coupled device comprises: a first conductive semiconductor substrate; plural second conductive photo diodes formed on the semiconductor substrate; plural second conductive charge coupled device channels formed on the semiconductor substrate; and a transmitting wire unit for delivering the charge of the photo diode to the charge coupled device channel and forming a second and a third transmitting gates not to be projected from a first transmitting gate.
    • 目的:提供固体电荷耦合器件,用于将从光电二极管产生的信号电荷传输到电荷耦合器件。 构成:固体电荷耦合器件包括:第一导电半导体衬底; 形成在半导体衬底上的多个第二导电光电二极管; 形成在半导体衬底上的多个第二导电电荷耦合器件沟道; 以及发射线单元,用于将光电二极管的电荷输送到电荷耦合器件沟道,并形成不从第一发射栅极投影的第二和第三发射栅极。