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    • 6. 发明授权
    • 가스 혼합물을 제공하기 위한 방법 및 장치
    • 用于提供气体混合物的方法和设备
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    • KR1020147034167
    • 2013-05-23
    • 에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드
    • 다우니네일알렉산더리토마스데이비드매튜
    • G05D11/02G05D11/13G05B15/00B01F3/02B01F15/02B01F15/04
    • G05D11/02B01F3/028B01F15/0216B01F15/026B01F15/0425B01F15/0429G05B15/00G05D11/137G05D11/139
    • 본발명은가스혼합기장치에관한것으로서, 가스혼합기장치는제1 가스를공급하기위한제1 가스소스와, 제1 가스와상이한제2 가스를공급하기위한제2 가스소스와, 제1 및제2 가스소스로부터제1 및제2 가스의각각의유동을조절하기위한제1 및제2 유동조절장치와, 혼합기와; 출구로서, 혼합기가제1 및제2 유동조절장치의하류측에위치되고사용시제1 가스와제2 가스를혼합하여혼합가스를출구에제공하도록배열되는, 출구와; 계량기를포함하고; 계량기가, 혼합가스의평균분자량을결정하도록작동될수 있고, 혼합가스와접촉되는고주파수평면형압전결정오실레이터를포함하는제1 센서조립체, 제1 유동조절장치와제2 유동조절장치중 하나의하류측의가스의압력을결정하도록작동될수 있는제2 센서조립체, 및혼합가스의평균분자량및 가스압력에응답하여, 혼합가스의제1 및제2 가스의상대비율과, 출구로부터의혼합가스의압력또는질량유량을제어하기위해제1 및제2 유동조절장치를자동으로제어하도록작동될수 있는제어기를포함한다.
    • 本发明涉及一种气体混合装置,气体混合装置,所述第二气体源,用于供应第一源气体,第一气体和第二,不同的气体供给所述第一气体的第一mitje 2气体 第一和第二流量调节装置,用于调节来自所述源的第一和第二气体中的每一个的流量; 出口,使用和第一气体的混合物,其被布置成提供气体混合物至所述出口的第二气体,且出口时位于所述第二流量调节器的下游侧的第一混频器mitje; 一米; 仪表的是,并且被使能以确定的混合气体的平均分子量,所述第一传感器组件,其包括平面型高频压电晶体振荡器,其与所述混合气体中,第一流量调节器和第二流量控制装置的一侧的下游的一个接触 的第二传感器组件,其可被操作,以确定气体的压力,以及响应于平均分子量和气体混合物的气体压力,所述第一mitje 2气体的混合气体中的相对比例和出口robuteoui压力或混合气体的质量流率 以及控制器,其可操作以自动控制第一和第二流量调节装置以控制流量控制装置。