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1. 发明公开

KR1020170015047A 반도체 제조 장치의 처리량 측정 방법 및 시스템 审中-实审
标题翻译：测量半导体制造工具吞吐量的方法和系统
公开(公告)号：KR1020170015047A
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：KR1020150132991
申请日：2015-09-21
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 챠우콸레라제쉬사티쉬 , 발라간가드하르라티쉬 , 구잘와르비샬라젠드라 , 이현진
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/67
CPC分类号： G05B19/4063 , G05B15/02 , G05B19/41865 , G05B2219/32267 , Y02P90/20
摘要： 반도체칩 제조에사용되는장치의처리량을예측할수 있는반도체제조장치의처리량측정방법및 시스템이제공된다. 상기반도체제조장치의처리량측정방법은, 처리량결정모듈(throughput determination module)에포함된입출력인터페이스서브모듈(Input/Output interface sub-module)에의해, 반도체제조장치의레이아웃을입력(input)으로수신하고, 상기처리량결정모듈에포함된최적화서브모듈(optimization sub-module)에의해, 상기반도체제조장치에서처리되는웨이퍼의수를자동적으로결정하고, 상기처리량결정모듈에포함된경로검출서브모듈(path detection sub-module)에의해, 상기입력을처리하기위한적어도하나의슬롯(slot)을자동적으로스케쥴링(scheduling)하고, 상기처리량결정모듈에포함된시간평가서브모듈(time assessment sub-module)에의해, 피드백값을기초로, 상기입력을위해, 상기적어도하나의슬롯에인입(enter)하는데필요한시간을결정하고, 상기시간평가서브모듈에의해, 처리완료시간(process completion time)을결정하되, 상기처리완료시간은, 상기레이아웃에의해나타나는상기반도체제조장치의출력을생성하는데필요한시간을의미한다.
摘要翻译：一种用于测量半导体制造工具的吞吐量的方法包括：接收半导体制造工具的布局作为输入，基于设置在半导体制造的至少一个部件中的晶片接收槽的数量来计算全容量数（FCN）确定要由半导体制造工具基于FCN处理的晶片的数量，基于至少一个参数确定晶片进入半导体制造工具的阶段的路径，确定晶片之一的时间基于反馈值进入晶片接收槽中的至少一个，并且基于所确定的晶片中的一个进入至少一个晶片接收槽的时间来确定处理完成时间。

2. 发明授权

KR101383824B1 ＡＭＨＳ 픽업의 스케쥴링 및 스케쥴 이전의 전달 有权
标题翻译： AMHS皮卡调度和调度交付
公开(公告)号：KR101383824B1
公开(公告)日：2014-04-10
申请号：KR1020077011442
申请日：2005-10-12
申请人： 어드밴스드 마이크로 디바이시즈, 인코포레이티드
发明人： 네틀레스스티븐씨. , 펠버어킴 , 숍벨마를린 , 루에브케조에르그 , 로우크타우
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： G05B19/41865 , G05B2219/32267 , G06Q10/06 , Y02P90/20 , Y02P90/28
摘要： 이송에 대한 약속을 개시하기 전에 물질 이송을 위한 이송 수단을 스테이징할 수 있도록, 자동화된 공정 흐름에서의 스케쥴링에 이용하기 위한 방법 및 장치가 개시된다. 상기 방법은 공정 흐름에서 물질 이송을 스케쥴링하는 단계와; 그리고 상기 물질 이송의 소정의 시간 주기 이전에 그 물질 이송을 위한 이송 수단의 스테이징을 요구하는 단계를 포함한다. 상기 장치는, 다양한 양상들에 있어서, 자동화된 공정 흐름에서 상기 방법을 수행하도록 프로그램된 컴퓨터 및 컴퓨팅 시스템 뿐 아니라, 실행될 때 이러한 방법을 수행하는 명령들로 엔코드된 컴퓨터 판독가능한 프로그램 저장 매체를 포함한다.
공정 흐름, 물질 이송, 스테이징, 스케쥴링, 공정 약속, 이동 약속
摘要翻译：公开了一种用于在自动处理流程中进行调度的方法和设备，使得用于材料转移的转移装置可以在承诺转移之前分阶段进行。该方法包括在工艺流程中调度材料转移; 并且需要在传送材料的预定时间段之前预备用于传送材料的传送装置。在各个方面，该设备包括编码有用于在执行时执行该方法的指令的计算机可读程序存储介质，以及被编程为在自动化处理流程中执行该方法的计算机和计算系统的。

3. 发明公开

KR1020120139842A ＡＭＨＳ 픽업의 스케쥴링 및 스케쥴 이전의 전달 有权
标题翻译：安排日程安排和交付时间表
公开(公告)号：KR1020120139842A
公开(公告)日：2012-12-27
申请号：KR1020127028932
申请日：2005-10-12
申请人： 어드밴스드 마이크로 디바이시즈, 인코포레이티드
发明人： 네틀레스스티븐씨. , 펠버어킴 , 숍벨마를린 , 루에브케조에르그 , 로우크타우
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： G05B19/41865 , G05B2219/32267 , G06Q10/06 , Y02P90/20 , Y02P90/28
摘要： 이송에 대한 약속을 개시하기 전에 물질 이송을 위한 이송 수단을 스테이징할 수 있도록, 자동화된 공정 흐름에서의 스케쥴링에 이용하기 위한 방법 및 장치가 개시된다. 상기 방법은 공정 흐름에서 물질 이송을 스케쥴링하는 단계와; 그리고 상기 물질 이송의 소정의 시간 주기 이전에 그 물질 이송을 위한 이송 수단의 스테이징을 요구하는 단계를 포함한다. 상기 장치는, 다양한 양상들에 있어서, 자동화된 공정 흐름에서 상기 방법을 수행하도록 프로그램된 컴퓨터 및 컴퓨팅 시스템 뿐 아니라, 실행될 때 이러한 방법을 수행하는 명령들로 엔코드된 컴퓨터 판독가능한 프로그램 저장 매체를 포함한다.

4. 发明授权

KR101391419B1 ＡＭＨＳ 픽업의 스케쥴링 및 스케쥴 이전의 전달 有权
标题翻译：安排日程安排和交付时间表
公开(公告)号：KR101391419B1
公开(公告)日：2014-05-02
申请号：KR1020127028932
申请日：2005-10-12
申请人： 어드밴스드 마이크로 디바이시즈, 인코포레이티드
发明人： 네틀레스스티븐씨. , 펠버어킴 , 숍벨마를린 , 루에브케조에르그 , 로우크타우
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： G05B19/41865 , G05B2219/32267 , G06Q10/06 , Y02P90/20 , Y02P90/28
摘要： 이송에대한약속을개시하기전에물질이송을위한이송수단을스테이징할수 있도록, 자동화된공정흐름에서의스케쥴링에이용하기위한방법및 장치가개시된다. 상기방법은공정흐름에서물질이송을스케쥴링하는단계와; 그리고상기물질이송의소정의시간주기이전에그 물질이송을위한이송수단의스테이징을요구하는단계를포함한다. 상기장치는, 다양한양상들에있어서, 자동화된공정흐름에서상기방법을수행하도록프로그램된컴퓨터및 컴퓨팅시스템뿐 아니라, 실행될때 이러한방법을수행하는명령들로엔코드된컴퓨터판독가능한프로그램저장매체를포함한다.

5. 发明公开

KR1020070084399A ＡＭＨＳ 픽업의 스케쥴링 및 스케쥴 이전의 전달 有权
标题翻译：安排日程安排和交付时间表
公开(公告)号：KR1020070084399A
公开(公告)日：2007-08-24
申请号：KR1020077011442
申请日：2005-10-12
申请人： 어드밴스드 마이크로 디바이시즈, 인코포레이티드
发明人： 네틀레스스티븐씨. , 펠버어킴 , 숍벨마를린 , 루에브케조에르그 , 로우크타우
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： G05B19/41865 , G05B2219/32267 , G06Q10/06 , Y02P90/20 , Y02P90/28
摘要： A method and apparatus for use in scheduling in an automated process flow such that vehicles for a material transport are staged prior to the commencement of an appointment for the transport are disclosed. The method includes scheduling a material transport in the process flow; and requesting a staging of a vehicle for the material transport a predetermined time period prior to the material transport. The apparatus, in various aspects, includes a computer and computing system programmed to perform the method in an automated process flow as well as a computer-readable program storage medium encoded with instruction that, when executed, perform such a method.
摘要翻译：公开了一种用于在自动化处理流程中进行调度的方法和装置，使得在用于运输的任命开始之前对材料运输的车辆进行分级。该方法包括调度处理流中的物料传送; 以及在材料运输之前的预定时间段请求用于材料运输的车辆的分段。该装置在各个方面包括计算机和计算系统，该计算机和计算系统被编程为在自动化处理流程中执行该方法，以及用指令编码的计算机可读程序存储介质，所述指令在执行时执行这种方法。

6. 发明公开

KR1020060025155A 열적 상호접속 시스템, 그 제조 방법 및 사용법 无效
标题翻译：热互连系统的生产方法及其用途
公开(公告)号：KR1020060025155A
公开(公告)日：2006-03-20
申请号：KR1020057022930
申请日：2004-06-04
申请人： 허니웰 인터내셔날 인코포레이티드
发明人： 딘,낸시 , 페리,마크
IPC分类号： H01L23/36
CPC分类号： G05B19/41865 , G05B2219/31411 , G05B2219/32267 , G05B2219/32271 , G05B2219/45028 , H01L23/3735 , H01L23/42 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H01L2924/3011 , Y02P80/40 , Y02P90/20 , H01L2924/00
摘要： A thermal transfer material is described herein that includes: a heat spreader component, wherein the heat spreader component comprises a top surface, a bottom surface and at least one heat spreader material, and at least one solder material, wherein the solder material is directly deposited onto the bottom surface of the heat spreader component. Methods of forming layered thermal interface materials and thermal transfer materials include: a) providing a heat spreader component, wherein the heat spreader component comprises a top surface, a bottom surface and at least one heat spreader material; b) providing at least one solder material, wherein the solder material is directly deposited onto the bottom surface of the heat spreader component; and c) depositing the at least one solder material onto the bottom surface of the heat spreader component.
摘要翻译：本文描述的热转印材料包括：散热器部件，其中散热器部件包括顶表面，底表面和至少一个散热器材料以及至少一个焊料材料，其中焊料材料直接沉积到散热器部件的底面上。形成层状热界面材料和热转印材料的方法包括：a）提供散热器部件，其中散热器部件包括顶表面，底表面和至少一个散热器材料; b）提供至少一种焊料材料，其中焊料材料直接沉积到散热器部件的底表面上; 以及c）将所述至少一种焊料材料沉积到所述散热器部件的底表面上。

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