会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 4. 发明公开
    • 비스무스 아미드 화합물 및 조성물과, 이들을 사용하여 비스무스 함유 필름을 형성시키는 방법
    • 铋酰胺化合物和组合物,以及使用它们形成含铋膜的方法
    • KR1020010005863A
    • 2001-01-15
    • KR1019997008939
    • 1998-03-26
    • 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드
    • 글라스만티모시이반대리고탐바움토마스에이치
    • C07F9/70
    • G02F1/0027C07F9/94C23C16/40C23C16/407G02F1/0541G02F2203/12
    • 본발명은비스무스아미드공급원료를버블러전달또는액체전달증기화시켜비스무스함유공급원증기를형성시키는단계와, 이비스무스함유공급원증기를 CVD 체임버(22)로도입시켜기재상에비스무스함유물질층을형성시키는단계를포함하여기재(24) 상에비스무스함유물질층을형성시키는방법에관한것이다. 상기비스무스아미드공급원료는하기화학식 1로표시되는비스무스아미드화합물을포함할수 있다. 화학식 1 BiLL(NRR) 상기식 중, z는 1 내지 3의정수이고, x+y+z=3이며, L과 L는각각 C∼C의알킬, C∼C의알콕사이드, β-디케토네이트, 시클릭아미도, 시클릭트리스알콕소아민및 C∼C의아릴중에서선택되고, R과 R는각각 C∼C의알킬, C∼C의알콕시, C∼C의시클로알킬, C∼C의아릴, C∼C의카르복실및 -SiR(여기서, R은각각 H와 C∼C의알킬중에서선택됨) 중에서선택된다. 본발명의비스무스함유필름은기재(52) 상에증착된 BSO 층(54)과이 BSO 층상에존재하는알루미늄탄탈늄옥사이드(ATO) 절연체층(56)을포함하는공간광 조절장치(50)를제조하는데 이용할수 있다.
    • 上的步骤形成含有铋的材料层的本发明筛选多种气泡铋酰胺原​​料输送或流体递送蒸气形式含有源蒸汽铋,黑头摩丝上可回收含源蒸汽入口为CVD室22 一种在衬底(24)上形成含铋材料层的方法。 铋酰胺原料可以包含由下式(1)表示的铋酰胺化合物。 式1比尔(NRR),以及在该式中,Z是一个数字协议1至3中,X + Y + Z = 3,并且,L和L各自是C〜碳原子的烷基,醇盐的C〜C,β-二酮化物 的,环状酰胺,环状烷氧基三儿童和Nu是从C〜C,R和R的芳基各自为烷基C〜C时,C〜ç烷氧基,环烷基的C〜C,的C〜C ^ 芳基,C至C羧基和-SiR,其中R分别选自H和C至C烷基。 本发明的制造一个空间光控制装置50的含铋膜包括铝氧化钽(ATO)绝缘层56存在于这些步骤BSO层BSO层54沉积在衬底52上, 它可以使用。