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    • 1. 发明公开
    • 자동초점 조절패턴을 채택하는 자동초점 조절장치 및그것을 사용한 자동초점 조절방법
    • 用于执行自动聚焦操作的自动对焦操作的装置以及使用其进行自动对焦操作的方法
    • KR1020060108461A
    • 2006-10-18
    • KR1020050030854
    • 2005-04-13
    • 케이맥(주)
    • 고영준
    • G02B7/28G02B27/16G02B21/00
    • G02B7/32G02B7/343G02B7/36G02B27/16
    • 자동초점 조절패턴을 채택한 자동초점 조절장치 및 그것을 사용한 자동초점 조절방법이 개시된다. 이 자동초점 조절장치는 광학렌즈들을 갖는 광학계의 자동초점 조절장치에 관한 것으로, 자동초점 광을 출사하는 광원을 포함한다. 제1 광분할기가 광원에서 출사된 광을 광학렌즈들로 반사시키고, 광학렌즈들을 통해 입사된 광을 광원 방향으로 반사시킨다. 한편, 자동초점 조절패턴이 광원과 제1 광분할기 사이에 위치한다. 자동초점 조절패턴의 길이방향은 상기 광원의 광축에 대해 소정의 경사각으로 기울어져 위치한다. 이에 따라, 광원을 사용하여 자동초점 조절패턴의 이미지를 관찰용 시료 표면에 투영할 수 있다. 한편, 관찰용 시료표면에 투영된 자동초점 조절패턴의 이미지는 광학렌즈들과 관찰용 시료 표면의 상대적인 거리에 따라 변하므로, CCD 카메라를 사용하여 투영된 이미지를 감지하고 이를 해석하여 관찰용 시료 표면이 기준 초점위치로부터 이동된 이동량을 알아낼 수 있다. 따라서, 관찰용 시료 표면과 광학렌즈들을 상대적으로 이동시키면서 관찰용 시료 표면을 감지하는 스캐닝 동작을 수행함이 없이, 결정된 기준 초점위치로 돌아갈 수 있어, 신속하고 정확하게 자동초점 동작을 수행할 수 있다.
      자동초점, 전하결합소자(CCD) 카메라, 자동초점 조절패턴