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1. 发明授权

KR101852802B1 취성 파괴성 판재의 고정 구조 및 이것을 사용한 취성 파괴성 판재로 이루어지는 광 투과 창판의 고정 방법 有权
标题翻译：脆性断裂板的固定结构及由脆性断裂板制成的透光窗板的固定方法
公开(公告)号：KR101852802B1
公开(公告)日：2018-04-27
申请号：KR1020177030347
申请日：2014-04-25
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 나가세마사아키 , 도히료우스케 , 이케다노부카즈 , 니시노코우지 , 야마지미치오 , 야쿠시진타다유키
IPC分类号： G01N21/03 , G01N21/05 , G01N21/33 , G01N21/59 , H01L21/67
CPC分类号： G01J1/0403 , G01J1/0407 , G01J1/42 , G01J3/0205 , G01J5/0014 , G01J5/0875 , G01N21/0303 , G01N21/05 , G01N21/33 , G02B1/02 , G02B7/007 , G02B27/022 , G02B27/028
摘要： 본발명은유기원료유체의공급계등에서사용하는농도계의구조의간소화, 소형화, 제품비용의인하를도모하고, 광투과창의투명도를일정하게유지하여안정된농도측정을할 수있음과아울러기밀밀성능이나내파티클성을높인농도계를제공한다. 본발명은검출기본체(2)와검출기본체의상면에설치된광 발신부(5a) 및검출기본체의하면에설치된광 검출부(5b)로이루어지는광 분석식원료유량농도검출기에있어서검출기본체(2)의상면및 하면에설치된유체통로(2b)에의해연통된오목부(17)와, 상기오목부(17) 내에장착한개스킷형시일(6)과, 개스킷형시일(6)과대향하여배치되고사파이어제광 투과창판(11a)을협착하여기밀하게감합고정한제 1 고정플랜지(14) 및제 2 고정플랜지(16)와, 제 2 고정플랜지(16) 내에설치된광 파이버(9) 및포토다이오드(10)와, 상기감합고정한양 고정플랜지(14, 16)를개스킷형시일(6)을통해검출기본체(2)의오복부(17) 내에기밀하게고정하는유지고정체(12)로구성된다.

2. 发明公开

KR20180033573A 수중 물체용 창유리 유닛 审中-公开
公开(公告)号：KR20180033573A
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：KR20187005635
申请日：2015-07-27
IPC分类号： B63B19/00 , G02B3/12 , G02B7/00
CPC分类号： B63B19/00 , B63B2019/0046 , G02B3/12 , G02B7/007
摘要： 본발명의본질은원주형클램프링에배치되는미네랄유리판으로구성되는수중물체윈도우용창유리유닛(glazing unit)이며, 창유리유닛은저 압축성액체층에의해분리되는적어도 2개의미네랄유리판을갖고미네랄유리판사이의보더상에서미네랄유리판과의접촉영역에실링을갖는원주형스페이서를가지며, 원주형스페이서및 실링을갖는미네랄유리판의구성세트가원주형클램프링에의해클램프되는원주형시일로테두리화되는것을특징으로한다. 유리하게는미네랄유리판사이에위치되는액체층의두께는미네랄유리판층과동일하다. 유리하게는실링은폐쇄형형상을갖고, 미네랄유리판의상부및 하부부분보더에서경계를이룬다. 유리하게는스페이서는미네랄유리로제조된다.

3. 发明公开

KR1020150093235A 취성 파괴성 판재의 고정 구조 및 이것을 사용한 취성 파괴성 판재로 이루어지는 광 투과 창판의 고정 방법 无效
标题翻译：用于脆性板的紧固结构以及用于紧固使用其的易碎片的轻型传输窗口板的方法
公开(公告)号：KR1020150093235A
公开(公告)日：2015-08-17
申请号：KR1020157018579
申请日：2014-04-25
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 나가세마사아키 , 도히료우스케 , 이케다노부카즈 , 니시노코우지 , 야마지미치오 , 야쿠시진타다유키
IPC分类号： G01N21/03 , G01N21/05 , G01N21/33 , G01N21/59 , H01L21/67
CPC分类号： G01J1/0403 , G01J1/0407 , G01J1/42 , G01J3/0205 , G01J5/0014 , G01J5/0875 , G01N21/0303 , G01N21/05 , G01N21/33 , G02B1/02 , G02B7/007 , G02B27/022 , G02B27/028
摘要： 본 발명은 유기 원료 유체의 공급계 등에서 사용하는 농도계의 구조의 간소화, 소형화, 제품 비용의 인하를 도모하고, 광 투과 창의 투명도를 일정하게 유지하여 안정된 농도 측정을 할 수 있음과 아울러 기밀밀 성능이나 내파티클성을 높인 농도계를 제공한다. 본 발명은 검출기 본체(2)와 검출기 본체의 상면에 설치된 광 발신부(5a) 및 검출기 본체의 하면에 설치된 광 검출부(5b)로 이루어지는 광 분석식 원료 유량 농도 검출기에 있어서 검출기 본체(2)의 상면 및 하면에 설치된 유체 통로(2b)에 의해 연통된 오목부(17)와, 상기 오목부(17) 내에 장착한 개스킷형 시일(6)과, 개스킷형 시일(6)과 대향하여 배치되고 사파이어제 광 투과 창판(11a)을 협착하여 기밀하게 감합 고정한 제 1 고정 플랜지(14) 및 제 2 고정 플랜지(16)와, 제 2 고정 플랜지(16) 내에 설치된 광 파이버(9) 및 포토다이오드(10)와, 상기 감합 고정한 양 고정 플랜지(14, 16)를 개스킷형 시일(6)을 통해 검출기 본체(2)의 오복부(17) 내에 기밀하게 고정하는 유지 고정체(12)로 구성된다.

4. 发明授权

KR101692875B1 광학 계측 장치용 센서 헤드 有权
标题翻译：用于光学测量装置的传感器头
公开(公告)号：KR101692875B1
公开(公告)日：2017-01-05
申请号：KR1020150014381
申请日：2015-01-29
申请人： 오므론 가부시키가이샤
发明人： 호리에마사루 , 오쿠다타카히로 , 타카시마준
IPC分类号： G01B11/16 , G02B7/02
CPC分类号： G02B23/08 , G02B7/007
摘要： [과제] 본발명의과제는, 진공환경하에서도양호한정밀도의계측을행할수 있는광학계측장치의센서헤드를제공하는것이다. [해결수단] 센서헤드는, 광을전달하는부재를통하여컨트롤러에접속되는광학계측장치의센서헤드이다. 센서헤드는, 하우징과하우징내에배치되는제1 렌즈를구비한다. 하우징은, 하우징내의공간에연통되는제1 관통구멍을포함한다.
摘要翻译：传感器头用于光学测量装置，即使在真空环境中也能高精度测量。传感器头被配置为经由透射光的构件连接到控制器。传感头包括壳体。壳体包括与壳体内的空间连通的多个通孔。多个光学元件（透镜，反射镜）通过安装装置位于壳体内部，安装装置设置有凹槽，使得光学元件之间的空间与壳体内部的空间相通。

5. 发明公开

KR1020020012342A 반도체 제조용 화학기상증착 장치의 뷰우포트 失效
标题翻译：化学蒸气沉积装置的制造半导体装置
公开(公告)号：KR1020020012342A
公开(公告)日：2002-02-16
申请号：KR1020000045598
申请日：2000-08-07
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김태훈 , 김병철 , 손권 , 임봉순
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： B01J3/004 , C23C16/488 , G02B7/007
摘要： PURPOSE: A view port of a chemical vapor deposition apparatus for manufacturing a semiconductor is provided to increase endurance and to improve production yield, by easily observing the inside of a chamber through a window and by remarkably lengthening a cleaning period caused by contamination of the window. CONSTITUTION: A predetermined size of an opening(11) is formed in a side of the side surface of the second electrode(10) constituting the outer wall of the chamber, and a bracket(20) is so formed that the outer circumferential portion of the opening is protruded. The window(30) is inserted into the bracket, and is closely adhered to the outer circumferential portion of the opening by an O ring(31). A cap unit(40) is formed along the end portion of the outer circumference of a hole(21) opening a side surface of the bracket. One end of the cap unit is hinge-coupled to a corresponding end portion of the outer circumference of the bracket, and the other end of the cap unit is detachably connected to a corresponding end portion of the bracket by a lock unit(41). An adiabatic unit(50) is closely and simultaneously adhered to the hole formed on the outer side surface of the bracket and the one surface of the window while adhered to the inner side surface of the cap unit.
摘要翻译：目的：提供一种用于制造半导体的化学气相沉积设备的观察口，通过容易地通过窗户观察房间的内部并且显着地延长由窗户的污染引起的清洁周期，从而提高耐久性并提高产量。构成：在构成室的外壁的第二电极（10）的侧面的一侧形成开口（11）的预定尺寸，并且支架（20）形成为使得外壳开口突出。窗口（30）插入到支架中，并且通过O形环（31）紧密地附着在开口的外周部分上。沿着开口支架的侧面的孔（21）的外周的端部形成有盖单元（40）。盖单元的一端铰链连接到托架的外圆周的相应端部，并且盖单元的另一端通过锁定单元（41）可拆卸地连接到支架的相应端部。绝热单元（50）紧密并同时地粘附在形成在支架的外侧表面上的孔和窗口的一个表面上，同时粘附到盖单元的内侧表面。

6. 实用新型

KR200170282Y1 보호형 사이트글라스 失效
标题翻译：一个装有吸引力的手段的玻璃
公开(公告)号：KR200170282Y1
公开(公告)日：2000-02-15
申请号：KR2019990019844
申请日：1999-09-15
申请人： 하갑용 , 윤주필
发明人： 하갑용 , 윤주필
IPC分类号： F16L41/10
CPC分类号： G02B7/007 , F16L23/003
摘要： 본 고안은 보호수단이 구비된 보호형 사이트글라스(sight glass)에 관한 것으로, 상세하게는 사이트 글라스가 설치되는 연결죠인트의 양측에 외부충격으로부터 사이트 글라스가 보호될 수 있도록 충격방지수단이 구비되는 것으로, 상기 충격방지수단은 연결죠인트(1)의 외주연이나 또는 플랜지(7)의 외주연에 다수의 관통공이 일정간격으로 천공된 보호망(12)이 감싸도록 하는 제1,2실시예와, 플랜지(7) 상면에 설치되는 사이트 글라스(3)의 고정판(9) 외측으로 탄성편(16)에 의해 개폐가능한 보호덮개(13)가 구비되는 제 3실시예와, 상기 사이트 글라스(3)의 외면과 고정판(9)의 내면 사이에 다수의 관통공이 천공된 보호망(12)이 감싸도록 하는 제4실시예와, 상기 고정판(9) 외측으로 일정한 간격을 유지하는 보호봉(14)이 설치되는 제5실시예로 이루어지며, 또한 상� � 연결죠인트(1)의 플랜지(7)에 체결되는 고정볼트(4)는 중앙부가 양쪽 나사부보다 큰 직경을 갖도록 단턱이 형성되고, 상기 단턱에는 패킹가압구(11)가 끼워져 상기 고정볼트(4) 조임시 사이트 글라스(3)의 양단 외주연에 끼움 설치된 V-패킹(10)을 가압하는 구조로 이루어져 이송관(2)의 신축작용에 효과적으로 대응하여 사이트 글라스(3)가 파손되는 일이 없도록 한다.

7. 发明公开

KR1020170120213A 취성 파괴성 판재의 고정 구조 및 이것을 사용한 취성 파괴성 판재로 이루어지는 광 투과 창판의 고정 방법 审中-实审
标题翻译：脆性断裂板的固定结构及由脆性断裂板制成的透光窗板的固定方法
公开(公告)号：KR1020170120213A
公开(公告)日：2017-10-30
申请号：KR1020177030347
申请日：2014-04-25
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 나가세마사아키 , 도히료우스케 , 이케다노부카즈 , 니시노코우지 , 야마지미치오 , 야쿠시진타다유키
IPC分类号： G01N21/03 , G01N21/05 , G01N21/33 , G01N21/59 , H01L21/67
CPC分类号： G01J1/0403 , G01J1/0407 , G01J1/42 , G01J3/0205 , G01J5/0014 , G01J5/0875 , G01N21/0303 , G01N21/05 , G01N21/33 , G02B1/02 , G02B7/007 , G02B27/022 , G02B27/028
摘要： 본발명은유기원료유체의공급계등에서사용하는농도계의구조의간소화, 소형화, 제품비용의인하를도모하고, 광투과창의투명도를일정하게유지하여안정된농도측정을할 수있음과아울러기밀밀성능이나내파티클성을높인농도계를제공한다. 본발명은검출기본체(2)와검출기본체의상면에설치된광 발신부(5a) 및검출기본체의하면에설치된광 검출부(5b)로이루어지는광 분석식원료유량농도검출기에있어서검출기본체(2)의상면및 하면에설치된유체통로(2b)에의해연통된오목부(17)와, 상기오목부(17) 내에장착한개스킷형시일(6)과, 개스킷형시일(6)과대향하여배치되고사파이어제광 투과창판(11a)을협착하여기밀하게감합고정한제 1 고정플랜지(14) 및제 2 고정플랜지(16)와, 제 2 고정플랜지(16) 내에설치된광 파이버(9) 및포토다이오드(10)와, 상기감합고정한양 고정플랜지(14, 16)를개스킷형시일(6)을통해검출기본체(2)의오복부(17) 내에기밀하게고정하는유지고정체(12)로구성된다.
摘要翻译：本发明降低了结构简化，小型化，减少了计，用于在系统电源使用的产品的成本，并且能够执行稳定的浓度的测量，以保持恒定的光透射窗口的透明度和以及有机原料液的保密磨性能或从而提供增强内部颗粒度的密度计。本发明是一种检测器单元（2）和在光发射器（5a）的所述检测器，并根据包括一光检测部分中的光分析方程材料流密度检测器的检测器本体（5B）提供在上表面设置在主体的检测器单元（2）的服装表面并且如在流体通道中设置（2B）的通信中的凹部（17）顺便说一下，一个垫圈型密封件6，垫圈型密封件（6）被布置在相对的蓝宝石安装在凹部17的调光器传输设置在第二固定凸缘16中的光纤9和光电二极管10以及与窗玻璃11a紧密配合并固定的第一固定凸缘14和第二固定凸缘16，以及保持夹具12，其通过垫圈式密封件6将配合凸缘14和16气密地固定到检测器本体2的椭圆形部分17的内部。

8. 发明公开

KR1020160122181A 진공 환경을 누출에 대해 보호하기 위한 디바이스 및 방법, 그리고 EUV 복사-생성 장치 审中-实审
标题翻译： EUV-用于保护对泄漏和EUV辐射发生装置的真空环境的装置和方法
公开(公告)号：KR1020160122181A
公开(公告)日：2016-10-21
申请号：KR1020167024604
申请日：2014-02-13
申请人： 트룸프 레이저-운트 시스템테크닉 게엠베하
发明人： 엔즈만안드레아스 , 폴즈비외른
IPC分类号： H05G2/00 , G03F7/20
CPC分类号： H05G2/008 , G02B7/007 , G02B7/008 , H01S3/2232 , H05G2/005 , G03F7/70033
摘要： 본발명은, 진공환경의기체-밀봉폐쇄를위한광학구성요소(21), 진공환경으로부터기체-밀봉방식으로분리되며그리고광학구성요소(21)의제1 부분영역(21a)이그 내부에배열되는, 냉각영역(23)으로냉각매체(24)를공급함에의해광학구성요소(21)를냉각하기위한냉각디바이스(25), 진공환경으로부터그리고냉각영역(23)으로부터기체-밀봉방식으로분리되며그리고광학구성요소(21)의제2 부분영역(21b)이그 내부에배열되는, 음압영역(31) 내에음압(p)을생성하기위한음압생성디바이스(28), 및, 냉각매체(24)가냉각영역(23)으로부터음압영역(31) 내로및/또는진공환경(4a) 내로유동할때, 광학구성요소(21)에서의누출을검출하기위한검출디바이스(33)를포함하는, 진공환경을누출로부터보호하기위한디바이스(20)에관한것이다. 본발명은또한, 그러한디바이스(20)를구비하는 EUV 복사-생성장치및 연관된방법에관한것이다.

9. 发明公开

KR1020150091254A 광학 계측 장치용 센서 헤드 有权
标题翻译：用于光学测量装置的传感器头
公开(公告)号：KR1020150091254A
公开(公告)日：2015-08-10
申请号：KR1020150014381
申请日：2015-01-29
申请人： 오므론 가부시키가이샤
发明人： 호리에마사루 , 오쿠다타카히로 , 타카시마준
IPC分类号： G01B11/16 , G02B7/02
CPC分类号： G02B23/08 , G02B7/007 , G01B11/16 , G02B7/022
摘要： [과제] 본발명의과제는, 진공환경하에서도양호한정밀도의계측을행할수 있는광학계측장치의센서헤드를제공하는것이다. [해결수단] 센서헤드는, 광을전달하는부재를통하여컨트롤러에접속되는광학계측장치의센서헤드이다. 센서헤드는, 하우징과하우징내에배치되는제1 렌즈를구비한다. 하우징은, 하우징내의공간에연통되는제1 관통구멍을포함한다.
摘要翻译：本发明的目的是提供一种用于光学测量装置中的传感器头，即使在真空环境中也能够高精度地测量。传感器头被配置为经由透射光的构件连接到控制器。传感器头包括壳体和放置在壳体内部的第一透镜。壳体包括与壳体内的空间连通的通孔。

10. 发明授权

KR100904354B1 적외선 분할식 무선주파수 서명 관리 윈도우 失效
标题翻译：红外分辨率射频签名管理窗口
公开(公告)号：KR100904354B1
公开(公告)日：2009-06-23
申请号：KR1020037015917
申请日：2002-06-11
申请人： 록히드 마틴 코포레이션
发明人： 카스텔리오카를로스안셀모 , 팔라벨라데이비드제이.
IPC分类号： G02B1/00
CPC分类号： G01S7/4813 , F41H3/00 , F42B7/00 , G02B7/007 , H01Q1/40 , Y10T428/24917
摘要： 윈도우는 서로에 대해 0보다 더 큰 각도로 배향된 적어도 두 개의 표면을 갖는다. 전도 경로는 두 개의 표면들을 가로질러 배치되어 윈도우를 무선주파수 에너지를 포함할 수 있는 소정의 제2 대역폭의 에너지에 대해 반사적이거나 흡수적으로 만든다. 윈도우는 윈도우의 기하학적 형상, 표면 처리부, 및 표면을 가로질러 전기적인 연속성을 유지하는 결합 기술을 이용한다. 윈도우는 사파이어와 같은 복수의 분할된 요소 또는 단일체로부터 구성될 수 있다. 윈도우는 센서에 대해 요구되는 파장의 에너지에 대해 투과적이지만 소정의 무선주파수 대역폭의 에너지에 대해서는 반사적이거나 굴절성이거나 흡수적이다. 윈도우는 실질적인 센서의 탐지 영역과 결합된 무선주파수 서명 관리를 제공하며 내장된 센서의 전시간 사용을 허용한다.
윈도우, 센서, 스텔스, 모서리각, 평판각, 표면 처리부

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