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    • 4. 发明授权
    • 개선된 전극 지지체를 구비하는 용량성 압력 변환기
    • 用户可以使用应用程序来开发应用程序
    • KR100423596B1
    • 2004-03-22
    • KR1019997011956
    • 1998-06-04
    • 엠케이에스 인스트루먼츠 인코포레이티드
    • 데너죤에이
    • G01L9/00
    • G01L19/0618G01L9/0072
    • The disclosed pressure transducer assembly includes metallic body, a diaphragm, a metallic plate, an insulator, and a conductor. The body defines an interior cavity. The diaphragm is mounted in the body and divides the interior cavity into a first chamber and a second chamber. A portion of the diaphragm flexes in a first direction in response to a pressure in the first chamber being greater than a pressure in the second chamber, and that portion of the diaphragm flexes in a second direction opposite the first direction in response to the pressure in the second chamber being greater than the pressure in the first chamber. The metallic plate is fixed to the metallic body in one of the first and second chambers. The insulator is also disposed in that chamber and is fixed to the metallic plate. The conductor is disposed on the insulator. The diaphragm and the conductor are characterized by a capacitance. The capacitance is representative of a difference between the pressures in the first and second chambers.
    • 所公开的压力传感器组件包括金属体,隔膜,金属板,绝缘体和导体。 身体确定了一个内腔。 隔膜安装在主体中并将内腔分成第一腔室和第二腔室。 响应于第一腔室中的压力大于第二腔室中的压力,隔膜的一部分沿第一方向弯曲,并且隔膜的该部分响应于第二方向中的压力而沿与第一方向相反的第二方向弯曲 第二室大于第一室中的压力。 金属板在第一和第二腔室中的一个中固定到金属体。 绝缘体也设置在该腔室中并固定在金属板上。 导体布置在绝缘体上。 隔膜和导体的特点是电容。 电容代表第一和第二室中的压力之间的差异。
    • 7. 发明公开
    • 압력 센서
    • 传感器包装
    • KR1020160112281A
    • 2016-09-28
    • KR1020150037640
    • 2015-03-18
    • 삼성전기주식회사
    • 이태훈임창현이준규정대훈
    • G01L9/00G01L7/08B81B7/02
    • G01L9/0054G01L19/0618G01L9/0055B81B7/02B81B2201/0264
    • 본발명은 MEMS 기술에의해서제조되는압력센서와이를이용한압력측정방법에관한것이다. 본발명의실시예에따른압력센서는, 베이스기판, 상기베이스기판의일면에배치되는멤브레인, 및상기멤브레인상에배치되어상기맴브레인의움직임을기반으로압력의변화를감지하는압력감지부를포함하며, 상기베이스기판은상기멤브레인과상기압력감지부가배치되는센싱부, 상기센싱부를내부에수용하는프레임, 및상기센싱부와상기프레임을탄력적으로연결하는적어도하나의탄성지지부를포함할수 있다.
    • 本发明涉及通过微机电系统(MEMS)技术制造的压力传感器和使用该压力传感器的压力测量方法。 根据本发明的实施例,压力传感器包括:基板; 布置在基板的一个表面上的膜; 以及布置在所述膜上的压力感测部件,其基于所述膜的运动来检测压力变化,其中所述基板包括其上布置有所述膜和所述压力感测部件的感测部件,其中容纳所述感测部件的框架, 以及将感测部弹性地连接到框架的一个或多个弹性支撑部。 因此,本发明使感测部件的压力灵敏度的降低最小化。