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    • 6. 发明公开
    • 원자층 증착기술을 이용한 코어-쉘 구조의 나노 입자 코팅장치
    • 使用原子层沉积技术的核壳纳米粒子涂层装置
    • KR1020150032356A
    • 2015-03-26
    • KR1020130110863
    • 2013-09-16
    • 대진대학교 산학협력단
    • 박성호채원석한만소
    • C23C16/44C23C16/448
    • C23C16/45551C04B35/62802C04B2235/32C04B2235/3852C23C16/4417C23C16/45502C23C16/45555C23C16/52H01J37/321H01J37/32357C23C16/45525
    • 본 발명은 코팅 공정이 이루어지는 공정 통로를 구비한 코팅 챔버와, 공정 통로에 나노 입자를 공급하는 입자 공급수단과, 공정 통로에 캐리어 가스와 쉘 물질의 소스인 반응성 가스를 공급하는 가스 공급수단, 및 공정 통로의 압력을 저압으로 형성하는 저압 형성수단을 포함한다. 코팅 챔버는 공정 통로에 다공성 물질이나 격자형 그리드로 이루어진 속도조절부재를 설치하며, 속도조절부재를 통과하는 나노 입자는 유동저항 또는 충돌에 의해 이동속도가 저하됨에 따라 반응성 가스로서 공급된 제1 및 제2전구체가 나노 입자보다 상대적으로 빠르게 이동하여 나노 입자에 쉘 물질을 박막 코팅하는 것을 특징으로 한다.
    • 本发明的目的是提供一种用于涂覆能够涂覆高纯度纳米颗粒的纳米颗粒的装置,其中均匀性高,颗粒之间的变化小,并且提高涂布方法的生产率。 本发明涉及包覆纳米颗粒的装置,包括:涂覆室,其具有进行涂布处理的处理通道; 用于向处理通道供应纳米颗粒的颗粒供给装置; 气体供给装置,其将作为外壳材料的源的载气和反应性气体供给到所述处理通道; 以及允许处理通道的压力低的低压成形装置。 作为由多孔材料构成的速度控制构件或格栅格架安装在处理通道中,通过流阻或碰撞而使通过速度控制构件的纳米颗粒的移动速度降低,作为反应气体供给的第一和第二前体是 移动比纳米颗粒相对更快。 因此,涂层室能够在纳米颗粒上薄膜涂覆壳材料。