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热词
    • 2. 发明授权
    • 초순수 전자급 황산 제조장치
    • 超声波电子等级硫酸制造设备
    • KR101541908B1
    • 2015-08-19
    • KR1020140054397
    • 2014-05-07
    • (주) 맥코이교역
    • 김천수
    • C01B17/74C01B17/88C01B17/90
    • C01B17/74C01B17/745C01B17/88C01B17/90
    • 본 발명은 안정적으로 황산을 제조하고 안전사고도 미연에 방지할 수 있는 초순수 전자급 황산 제조장치에 관한 것이다.
      본 발명에 따른 초순수 전자급 황산 제조장치는, 스팀을 공급하여 균일한 온도를 유지하기 위한 스팀증발기, 흡수탑(absorber) 하단에 위치하고 외부의 공기에 포함된 불순물의 유입을 방지하는 질소가스 주입장치, 물과 황산을 섞어주는 혼합장치 및 폐가스를 배출하기 위한 씰포트를 포함하는 초순수 전자급 황산 제조장치에 있어서, 상기 스팀증발기는, 원통형으로 형성되고, 내측에 삼사화황(SO
      3 )이 수용되며, 상측 및 내측 외주면에는 다수개의 밸브가 구비되는 내측 하우징; 상기 내측 하우징 외측을 둘러싸도록 구성되고, 상기 내측 하우징과의 사이에 이격 공간을 형성하는 외측 하우징; 및 상기 외측 하우징 외주면에 형성되고, 상기 외측 하우징 및 내측 하우징 사이의 이격 공간에 스팀을 주입하기 위한 스팀유입관을 포함한다.
      상기한 구성에 의해 본 발명에 따른 초순수 전자급 황산 제조장치는 흡수탑 하단에 균일한 질소를 투입함으로써 철 기준 50ppt 이하의 초순수 전자급 황산 제조를 가능하게 하며, 급격한 발열반응을 미연에 방지하여 안정적으로 황산을 제조하고 안전사고도 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.
    • 本发明涉及一种制备超纯硫酸的装置,其可以可靠地制备硫酸并预先防止安全事故。 根据本发明,用于制备超纯硫酸的设备包括:蒸汽蒸发器,其供应蒸汽以保持均匀的温度; 氮气喷射装置,其布置在吸收器的下端,并防止包含在外部空气中的杂质进入; 混合水和硫酸的混合装置; 以及排出废气的密封口。 蒸汽蒸发器包括:内壳,其形成为圆柱形并储存三氧化硫(SO_3),同时具有多个阀布置在外周表面的上部和内部; 外壳,其构造成围绕所述内壳体的外部并在其之间形成空间; 以及蒸汽入口管,其形成在所述外壳体的外周表面上并将所述蒸汽喷射到所述内壳体和所述外壳体之间的空间中。 因此,用于制备超纯硫酸的装置将均匀的氮气注入到吸收器的下端,以制备具有50ppt或更少的铁的超纯电子级硫酸,并且预先防止快速放热反应,从而可靠地制备 硫酸和安全事故提前。
    • 6. 发明公开
    • 과산화수소에 오염된 폐황산의 재활용 장치
    • 用过氧化氢污染的废物回收硫酸的装置
    • KR1020130014014A
    • 2013-02-06
    • KR1020120036808
    • 2012-04-09
    • 소광민
    • 소광민
    • C01B17/90C01B17/69B01D53/14
    • C01B17/90B01J8/06B01J2208/00548B01J2208/0061C01B17/74
    • PURPOSE: A recycling device of waste sulfuric acid polluted by hydrogen peroxide is provided to the recycle sulfuric acid by decomposing the hydrogen peroxide and the sulfuric acid using a hydrogen peroxide decomposing agent with polluted waste sulfuric acid to hydrogen peroxide during a production process of semiconductor. CONSTITUTION: A recycling device of polluted waste sulfuric acid by hydrogen peroxide comprises a hydrogen peroxide decomposing tower(100), a gas absorbing tower(200), a sub tank(300), and a sulfuric acid reservoir(400). The hydrogen peroxide decomposing tower comprises a upper part of decomposing bath(120), a lower part of decomposing bath(150), and a discharge pipe(190). The gas absorbing tower, the filter(230) which dispersing gas particle to enlarge contacting surface with water, is filled on the top of the second porous mesh board(240). The gas absorbing tower includes the multiple layers of gas absorbing baths(260, 270) which are installed with a sprinkling rod(250) which jets water on the top of the filter. The lower gas absorbing bath and the lower water tub(280) filled with water are connected by the gas discharging pipe(220) of hydrogen peroxide decomposing tower. To supply water to the sprinkling rod on a side of lower water tub(280), a water pipe(215) with the second pump(210) is installed. On the upper gas absorbing tub(260), the ventilation pipe(290) is formed. The sub tank circulates the waste sulfuric acid. The sulfuric acid reservoir stores sulfuric acid produced by the hydrogen peroxide decomposing tower.
    • 目的:在半导体生产过程中,通过使用过氧化氢分解剂和污染的废硫酸将过氧化氢分解成过氧化氢,将过氧化氢污染的废硫酸回收装置提供给循环硫酸。 构成:通过过氧化氢的污染废硫酸的再循环装置包括过氧化氢分解塔(100),气体吸收塔(200),副罐(300)和硫酸储存器(400)。 过氧化氢分解塔包括分解浴(120)的上部,分解浴的下部(150)和排出管(190)。 气体吸收塔,分散气体粒子以与水接触的表面扩大的过滤器(230)被填充在第二多孔网板(240)的顶部。 气体吸收塔包括多层气体吸收浴(260,270),它们安装有喷洒在过滤器顶部的水的喷洒杆(250)。 填充有水的下部气体吸收槽和下部水桶(280)通过过氧化氢分解塔的排气管(220)连接。 为了向下水槽(280)侧的洒水杆供水,安装有具有第二泵(210)的水管(215)。 在上吸气桶260上形成通气管290。 副罐循环废硫酸。 硫酸储存库储存由过氧化氢分解塔产生的硫酸。