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1. 发明授权

KR101912867B1 대차식 반송 장치 有权
公开(公告)号：KR101912867B1
公开(公告)日：2018-10-30
申请号：KR1020177010625
申请日：2015-10-15
申请人： 가부시키가이샤 다이후쿠
发明人： 이시바시마사히로 , 무라나가쥰이치 , 바바시게루 , 타무라유키치 , 쿠스하라시게유키
IPC分类号： B65G35/06 , B65G17/26
CPC分类号： B65G17/123 , B65G17/12 , B65G17/14 , B65G17/38 , B65G17/42 , B65G17/48 , B65G35/06
摘要： 본발명의대차식반송장치는제1 엔들리스체인(27)을안내하는좌우한 쌍의턴부톱니바퀴(30)에연동하는좌우한 쌍의보조회전체(49)와, 이양쪽보조회전체(49) 사이의위치에돌출설치되고또한반송대차(13)가위를통과할수 있는하측돌기형상캠(65)이설치된턴 경로부(11)를구비하고, 반송대차(13) 전측좌우한 쌍의돌출축(20b, 21b)이보조회전체(49)의걸어맞춤부(49a)에걸어맞추어짐과아울러, 후측좌우한 쌍의돌출축(20a, 21a)이제1 엔들리스체인(27)의걸어맞춤부재(55)에걸어맞추어지고, 각돌출축(20a∼21b)이턴부톱니바퀴(30)와보조회전체(49)의회전에의해떠올려질때, 하측돌기형상캠(65)이반송대차(13)의바닥부의캠 종동롤러(25a)를상기걸어맞춤부재(55)와동일한회동궤적을따라지지안내하는구성이다.

2. 发明授权

KR101391250B1 배치식 기판 처리장비에서의 기판 이송장치 有权
标题翻译：用于在批量加工室中传送基板的装置
公开(公告)号：KR101391250B1
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：KR1020120121642
申请日：2012-10-30
申请人： 주식회사 선익시스템
发明人： 정희영
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07 , B65G17/12 , B65G23/06
CPC分类号： H01L21/67706 , B65G17/123 , B65G23/06 , H01L21/67754
摘要： The present invention relates to a substrate transferring device of batch type substrate processing machinery for improving the efficiency of a deposition source by accepting a great deal of substrates and making a uniform thin film deposed on the substrates. To achieve this, the substrate transferring device of batch type substrate processing machinery comprises a substrate mounting part on which multiple substrates are mounted; a substrate transferring unit of which the substrate mounting part is fixed on top and which moves the substrates along a closed moving path; and a driving motor for generating driving power for moving the substrate transferring device. Therefore, the present invention improves the efficiency of the deposition source and machinery by forming an unconstrained moving path for the substrates.
摘要翻译：本发明涉及一种分批式基板处理机械的基板转印装置，其用于通过接受大量基板并使均匀的薄膜沉积在基板上来提高沉积源的效率。为了实现这一点，批量型基板处理机械的基板转印装置包括：基板安装部，其上安装有多个基板; 衬底传送单元，其中衬底安装部分固定在顶部并且沿着封闭的移动路径移动衬底; 以及用于产生用于移动所述基板转印装置的驱动力的驱动电机。因此，本发明通过为基板形成无约束的移动路径来提高沉积源和机械的效率。

3. 发明授权

KR101701579B1 주변 환경에 대해 밀봉된 수송 시스템 有权
标题翻译：输送系统从周边大气密封
公开(公告)号：KR101701579B1
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：KR1020147011200
申请日：2012-09-27
申请人： 아우문트 푀르더테히닉 게엠베하
发明人： 키르바흐귀도 , 모리츠마티아스 , 니드츠비츠크리스티안 , 렛데만프랑크
IPC分类号： B65G17/36 , B65G17/12 , B65G21/08 , F27B9/04 , F27D3/12
CPC分类号： B65G17/123 , B65G17/36 , B65G21/08 , F27B9/047 , F27D3/12
摘要： 본발명은, 수송시스템, 특히버킷컨베이어또는셀 컨베이어에관한것으로, 상기수송시스템은바닥부(16)와, 상기수송시스템의수송방향으로앞벽(30) 및뒷벽(31)과, 이들을연결하는측벽(15)을가진, 특히각각고온의벌크재료또는덩어리형태의수송물을수납하기위한수송셀들(14)을포함하며, 위로개방된수송셀들(14)은제자리에고정되어개방표면을덮는기밀상측커버(17)와, 수송셀(14)의양 측면에배치되어제자리에고정된기밀측면커버들(18)에의해주변환경에대하여차폐되며, 상측커버(17) 및측면커버들(18)로둘러싸인내부공간안으로보호가스가유입될수 있으며, 상기수송시스템은, 상측커버(17)의반대편에놓인수송셀(14) 하측영역에, 수송방향으로수송셀들(14) 사이에형성된공간들(32)을주변환경에대하여차폐하는밀봉요소들(22; 34, 35) 뿐만아니라, 수송셀들(14)의측벽들(15) 위로양 측면에서돌출하며각각고정되어있는측면커버들(18)의하측에지와함께밀봉갭(23)을형성하는밀봉요소들(22; 28)도배치되는것을특징으로한다.
摘要翻译：输送系统包括用于容纳特别是热散装货物或块状输送材料的输送单元（14）。输送单元在输送系统的输送方向上具有底部（16），前壁（30）和后壁（31）以及连接其的侧壁（15）。在顶部开放的输送单元（14）通过跨越输送单元的开放表面的固定且气密的顶盖（17）与周围的大气隔绝。两个密封元件（22; 34,35）屏蔽存在于输送单元（14）之间的输送方向上的中间空间（32）和周围空气，以及密封元件（22; 28），其两侧横向突出超过侧壁（14）的底部区域设置在与顶盖（17）相对的输送单元（14）的底部区域。

4. 发明公开

KR1020090006052A 수직 롤러를 포함하는 운반 시스템 无效
标题翻译：运输系统，包括垂直滚子
公开(公告)号：KR1020090006052A
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：KR1020087017270
申请日：2007-04-18
申请人： 아퀘스트 시스템즈 코포레이션
发明人： 키타즈미배리 , 파리크미히르 , 브레인마이클
IPC分类号： B65G15/12 , B65G15/14 , B65G15/00
CPC分类号： B65G17/123 , B65G15/14 , B65G2201/0297 , H01L21/67706 , H01L21/67715 , H01L21/6773 , Y10S414/14
摘要： A transport system for conveying articles along conveyance paths including straight, curvilinear, horizontal, inclined and declined conveyance sections. The articles are conveyed between a pair of vertical belts while being supported by protrusions extending from the vertical belts. The vertical belts are guided using a multiplicity of vertical rollers that are configurable into straight, curvilinear and dynamically changing conveyance sections. Multiple conveyance sections can be joined end to end to transport articles over complex paths and over long distances. The articles conveyed may include semiconductor wafers.
摘要翻译：一种用于沿着包括直的，曲线的，水平的，倾斜的和倾斜的输送段输送路径输送物品的运输系统。物品在一对垂直带之间传送，同时由垂直带延伸的突起支撑。使用多个可配置成直线，曲线和动态变化的输送部分的垂直辊来引导垂直带。多个输送部分可以端对端地连接，以通过复杂的路径和长距离运送物品。所传送的物品可以包括半导体晶片。

5. 发明公开

KR1020170082515A 대차식 반송 장치 审中-实审
标题翻译：马车式转运装置
公开(公告)号：KR1020170082515A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：KR1020177010626
申请日：2015-10-15
申请人： 가부시키가이샤 다이후쿠
发明人： 이시바시마사히로 , 무라나가쥰이치 , 바바시게루 , 타무라유키치 , 쿠스하라시게유키
IPC分类号： B65G35/06 , B65G17/26
CPC分类号： B65G17/123 , B60P1/36 , B65G17/002 , B65G17/06 , B65G17/12 , B65G17/126 , B65G17/14 , B65G2201/02 , B65G35/06 , B65G17/26 , B65G2812/017
摘要： 본발명의대차식반송장치는, 승강경로부(3)에서서로병렬연동하는제1 엔들리스체인(27)과제2 엔들리스체인(28)에, 걸어맞춤부(55, 57)가설치되고, 반송대차(13)에는, 상기양쪽걸어맞춤부(55, 57)에걸어맞추어지는피걸어맞춤부(16a, 16b)가설치되고, 수평경로부(1)에서는, 반송대차(13)의피걸어맞춤부(16a, 16b)가제1 엔들리스체인(27)의걸어맞춤부(55)에걸어맞추어지는대차식반송장치이며, 제1 엔들리스체인(27)에는, 상기양쪽피걸어맞춤부(16a, 16b)가동시에끼워맞추어지는걸어맞춤부(55)가적당간격으로설치되고, 이제1 엔들리스체인(27)의걸어맞춤부(55)와반송대차의피걸어맞춤부(16a, 16b)는수평경로부(1)에서반송대차(13)를상하방향으로착탈할수 있도록, 서로끼우고빼기자유롭게구성된것이다.
摘要翻译：本发明提供了一种自行车运输装置，其中接合部分55和57设置在彼此平行地连接在提升路径部分3中的第一环形链条27和第二环形链条28上，将要与接合部分55和57接合的接合部分16a和16b设置在滑架13上，并且水平路径部分1设置有与接合部分55和57接合的接合部分16a和16b，并且，第一环形链条27与纱布1的环形链27的接合部分55接合。接合部分16a和16b 现在，一个环形链条27的接合部分55和运输车辆的被接合部分16a和16b水平布置并且被构造成自由地装配和移除，使得传送拖车13可以从路径部分1沿垂直方向拆卸。

6. 发明公开

KR1020170081644A 대차식 반송 장치 审中-实审
标题翻译：马车式转运装置
公开(公告)号：KR1020170081644A
公开(公告)日：2017-07-12
申请号：KR1020177010625
申请日：2015-10-15
申请人： 가부시키가이샤 다이후쿠
发明人： 이시바시마사히로 , 무라나가쥰이치 , 바바시게루 , 타무라유키치 , 쿠스하라시게유키
IPC分类号： B65G35/06 , B65G17/26
CPC分类号： B65G17/123 , B65G17/12 , B65G17/14 , B65G17/38 , B65G17/42 , B65G17/48 , B65G35/06 , B65G17/26 , B65G2812/017
摘要： 본발명의대차식반송장치는제1 엔들리스체인(27)을안내하는좌우한 쌍의턴부톱니바퀴(30)에연동하는좌우한 쌍의보조회전체(49)와, 이양쪽보조회전체(49) 사이의위치에돌출설치되고또한반송대차(13)가위를통과할수 있는하측돌기형상캠(65)이설치된턴 경로부(11)를구비하고, 반송대차(13) 전측좌우한 쌍의돌출축(20b, 21b)이보조회전체(49)의걸어맞춤부(49a)에걸어맞추어짐과아울러, 후측좌우한 쌍의돌출축(20a, 21a)이제1 엔들리스체인(27)의걸어맞춤부재(55)에걸어맞추어지고, 각돌출축(20a∼21b)이턴부톱니바퀴(30)와보조회전체(49)의회전에의해떠올려질때, 하측돌기형상캠(65)이반송대차(13)의바닥부의캠 종동롤러(25a)를상기걸어맞춤부재(55)와동일한회동궤적을따라지지안내하는구성이다.
摘要翻译：本发明的医疗线性表达输送装置包括第一无限且小于链27，左，右一对梁的查询通过车削齿轮30，一对左和右引导支持体（49），转移jjokbo查询满49 被设置于之间还具有被安装部11导通的路径，能够降低突起状凸轮（65）的搬送车（13），其穿过一对剪刀，和输送卡车13，一对左和右轴的前突起（的位置突出图20B，21B），所述接合构件（55伊沃查询体（49）卡合部（49A）中的负载，并在同一时间，突出后方左右一对的轴（20A，21A卡合）现在一个循环链（27））与每个投影轴（20A〜接合21B）转动齿轮30观察满瓦钵49个EASES回顾现有组件，所述凸轮伊万传输平衡13的底部的下凸轮形突起65 并且从动辊25a沿着接合构件55的旋转轨迹被支撑和引导。

7. 发明公开

KR1020060108646A 컨베이어용 회전 장치 无效
标题翻译：输送机转动装置
公开(公告)号：KR1020060108646A
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：KR1020067008534
申请日：2004-10-20
申请人： 코네 코퍼레이션
发明人： 무스탈라흐티조르마 , 얼란코에스코
IPC分类号： B66B21/02 , B66B21/10 , B65G17/16
CPC分类号： B66B23/147 , B65G17/123 , B65G17/18
摘要： The invention concerns a method and an apparatus for changing the direction of motion of a pallet (1) moving on wheels (5a, 5b, 6a, 6b) at the end of a transport conveyor or equivalent, in which transport conveyor the pallets moving in the direction of travel move on a different level than the pallets moving in the return direction, and in which method the direction of motion of the pallet (1) is changed keeping the pallet in substantially the same attitude throughout the direction changing phase. During direction change, the trailing end of the pallet (1) in the direction of travel is guided by positive control from the level of the traveling direction to the other level.
摘要翻译：本发明涉及一种用于改变在运输输送机或等同物的端部处移动的车轮（5a，5b，6a，6b）上的托盘（1）的运动方向的方法和装置，其中托盘移动的运输输送机行进方向与在返回方向上移动的托盘不同的水平移动，并且在该方法中，托盘（1）的运动方向被改变，从而保持托盘在整个方向改变阶段处于基本相同的姿态。在方向改变期间，托盘（1）沿行进方向的后端由正向控制从行进方向的水平引导到另一个水平。

8. 发明公开

KR1020160030134A 물방아 형태의 수송 디바이스 审中-实审
标题翻译：北方型运输装置
公开(公告)号：KR1020160030134A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：KR1020157037246
申请日：2014-07-01
申请人： 메꺄떼르므
发明人： 조르느,베르나르
IPC分类号： A21B1/42 , A21B1/46 , B65G17/12 , B65G47/57
CPC分类号： B65G17/123 , A21B1/42 , B65G47/57
摘要： 본발명은물방아형태의수송디바이스(1)에관한것으로, 제1 상향수직스트랜드(6)와제2 하행수직스트랜드(7)를포함하는루프회로를규정하도록 2개의편향휠들 (4, 5) 주위에권취된링크(3)들을가지는구동체인(2)을포함하며, 상기체인(2)의하나의링크(3)는체인(2)에대해직각방향으로연장하는지지아암(8)을홀딩한다. 이러한디바이스는지지아암(8)이마운트(9)에의해링크(3)에측면으로부착되고, 그단부들각각에지지면(10)을포함하며, 이러한지지면(10)들중 적어도하나를가로질러, 상기마운트(9)들은서로기대며, 다른지지아암의인접한마운트는상기체인(2)의상행및 하행스트랜드(6, 7)들상에서상기체인의다른링크에부착된다.
摘要翻译：诺亚诺型的输送装置包括具有连杆并且缠绕在两个偏转轮上的驱动链，以描述回路电路。有一个第一个上升的垂直链条和一个第二个下降的垂直链条。链条的一个连接件保持沿垂直于链条的方向延伸的支撑臂。支撑臂通过支架横向连接到连杆。安装座在其每个端部具有支撑表面。至少在这些支撑表面中的一个上，安装件搁置在另一个连接在另一个支撑臂上的另一个支撑臂上，该支撑臂连接在链条的另一个链节上，在上升股线和下降股线上。

9. 发明公开

KR1020140077942A 주변 환경에 대해 밀봉된 수송 시스템 有权
标题翻译：输送系统从周边大气密封
公开(公告)号：KR1020140077942A
公开(公告)日：2014-06-24
申请号：KR1020147011200
申请日：2012-09-27
申请人： 아우문트 푀르더테히닉 게엠베하
发明人： 키르바흐귀도 , 모리츠마티아스 , 니드츠비츠크리스티안 , 렛데만프랑크
IPC分类号： B65G17/36 , B65G17/12 , B65G21/08 , F27B9/04 , F27D3/12
CPC分类号： B65G17/123 , B65G17/36 , B65G21/08 , F27B9/047 , F27D3/12 , B65G2812/02772
摘要： 본 발명은, 수송 시스템, 특히 버킷 컨베이어 또는 셀 컨베이어에 관한 것으로, 상기 수송 시스템은 바닥부(16)와, 상기 수송 시스템의 수송 방향으로 앞벽(30) 및 뒷벽(31)과, 이들을 연결하는 측벽(15)을 가진, 특히 각각 고온의 벌크 재료 또는 덩어리 형태의 수송물을 수납하기 위한 수송 셀들(14)을 포함하며, 위로 개방된 수송 셀들(14)은 제자리에 고정되어 개방 표면을 덮는 기밀 상측 커버(17)와, 수송 셀(14)의 양 측면에 배치되어 제자리에 고정된 기밀 측면 커버들(18)에 의해 주변 환경에 대하여 차폐되며, 상측 커버(17) 및 측면 커버들(18)로 둘러싸인 내부 공간 안으로 보호 가스가 유입될 수 있으며, 상기 수송 시스템은, 상측 커버(17)의 반대편에 놓인 수송 셀(14) 하측 영역에, 수송 방향으로 수송 셀들(14) 사이에 형성된 공간들(32)을 주변 환경에 대하여 � �폐하는 밀봉 요소들(22; 34, 35) 뿐만 아니라, 수송 셀들(14)의 측벽들(15) 위로 양 측면에서 돌출하며 각각 고정되어 있는 측면 커버들(18)의 하측 에지와 함께 밀봉 갭(23)을 형성하는 밀봉 요소들(22; 28)도 배치되는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：输送系统包括用于容纳特别是热散装货物或块状输送材料的输送单元（14）。输送单元在输送系统的输送方向上具有底部（16），前壁（30）和后壁（31）以及连接其的侧壁（15）。在顶部开放的输送单元（14）通过跨越输送单元的开放表面的固定且气密的顶盖（17）与周围的大气隔绝。两个密封元件（22; 34,35）屏蔽存在于输送单元（14）之间的输送方向上的中间空间（32）和周围空气，以及密封元件（22; 28），其两侧横向突出超过侧壁（14）的底部区域设置在与顶盖（17）相对的输送单元（14）的底部区域。

10. 发明公开

KR1020050040008A 기판 승강기 및 기판 승강 시스템 无效
标题翻译：玻璃基层提升和玻璃基层提升系统
公开(公告)号：KR1020050040008A
公开(公告)日：2005-05-03
申请号：KR1020030075110
申请日：2003-10-27
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 조재남 , 안근수
IPC分类号： B65G47/56
CPC分类号： B65G17/123
摘要： 프레임, 프레임의 내부에 위치하는 복수개의 반송 플레이트, 반송 플레이트의 일단부와 연결되어 있는 제1 와이어, 반송 플레이트의 타단부와 연결되어 있는 제2 와이어, 제1 와이어 및 제2 와이어를 상하로 이동시키는 구동 장치를 포함하고, 반송 플레이트는 제1 와이어 및 제2 와이어의 상하 이동을 따라 함께 상하 이동하는 기판 승강기.

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