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1. 发明公开

KR1020040007609A 평판상 대상물의 단기열처리방법과 장치 无效
标题翻译：用于平面物体的短期热处理的方法和设备
公开(公告)号：KR1020040007609A
公开(公告)日：2004-01-24
申请号：KR1020037015410
申请日：2002-05-25
申请人： 아익스트론 에스이
发明人： 슈트라우흐게르트
IPC分类号： H01L21/324
CPC分类号： H01L21/67109 , B01F3/026 , B01F15/00142 , B01F15/00344 , B01F15/06 , F28F13/02
摘要： 본 발명은 반도체, 유리 또는 금속기판과 같은 평판상 대상물의 단기열처리를 위한 방법과 장치에 관한 것이다. 열이 열전도매체를 통한 열전도를 통하여 적어도 부분적으로 기판의 양측 표면에서 공급 또는 분산된다. 본 발명은 효율적으로 이용될 수 있도록 방법과 장치를 개선하는데 그 목적이 있다. 이를 위하여, 매우 상이한 열전도율을 갖는 두 가스로 구성되는 혼합체가 열전도매체로서 사용된다. 기판(1)의 양측에서 이 혼합체는 각 표면온도가 열방사를 통한 각각의 열교환을 고려하여 시간조절되는 방식으로 각각 조절된다.

2. 发明授权

KR101662033B1 노벡 4710 가스와 이산화탄소의 가스 혼합 장치 有权
标题翻译： 4710 NOVEC 4710和CO2的气体混合器
公开(公告)号：KR101662033B1
公开(公告)日：2016-10-04
申请号：KR1020160034590
申请日：2016-03-23
申请人： 주식회사 다모
发明人： 마민영
IPC分类号： B01F3/02 , B01F13/02 , B01F15/00 , B01F15/06 , F17C13/04
CPC分类号： B01F3/026 , B01F13/0277 , B01F15/00162 , B01F15/00175 , B01F15/065 , F17C13/04 , F17C2265/025
摘要： 노벡(NOVEC) 4710 가스와이산화탄소의가스혼합장치가개시된다. 본발명은, 액화가스인제1 가스가충전된제1 실린더를가열하는히터부, 히터부에의해가열된제1 가스의유량을제어하는제1 유량제어기, 및제1 가스와혼합되는제2 가스의유량을제어하는제2 유량제어기를구비한다. 본발명에따르면, 히터를이용하여액화가스의포화증기압을증가시킴으로써액화가스의혼합공정이성공적으로실행가능하게된다.

3. 发明公开

KR1020060046998A 혼합가스 시스템 및 이를 사용한 포장기기 失效
标题翻译：气体混合系统和使用它的包装设备
公开(公告)号：KR1020060046998A
公开(公告)日：2006-05-18
申请号：KR1020040092564
申请日：2004-11-12
申请人： 강원대학교산학협력단
发明人： 정천순 , 강위수
IPC分类号： F17D1/04 , B65B31/02 , F17D3/01
CPC分类号： F17D3/01 , B01F3/0092 , B01F3/026 , B01F3/028 , B01F15/00162 , B65B31/02 , F17D1/04 , F17D3/03
摘要： 본 발명은 각각의 가스가 담겨있는 가스 용기, 가스 용기로부터의 공급 압력을 조절하는 압력조절부, 압력조절부에 의해 조절된 가스의 유입 압력을 설정하는 공압조절부, 공압조절부에 의해 유입 압력이 설정된 가스의 유량을 개폐하는 개폐부, 개폐부를 통과한 가스가 유입되는 혼합탱크, 혼합탱크에 설치되어 혼합탱크에 유입되는 가스의 질량을 측정하는 중량계, 혼합탱크에 설치되어 혼합탱크에 유입되는 가스의 분압을 측정하는 압력센서, 및 혼합되는 각 가스에 대한 소정의 질량을 입력받고 이로부터 각 가스의 분압을 계산하여 각 공압조절부의 압력을 설정하는 한편, 중량계 및 압력센서의 측정값에 따라 개폐부의 개폐를 제어하는 제어부를 구비하고, 제어부는 중량계 및 압력센서에 의해 혼합탱크에 유입되는 가스의 질량 및 분압이 소정의 질량 및 분압에 이른 것으로 판단되는 경우, 개폐부를 폐쇄하여 해당 가스의 유입을 차단하며, 이러한 동작을 혼합되는 각 가스에 대해 순차적으로 진행하는 혼합가스 시스템을 제공한다.
이에 의하면, 본 발명은 가스 조성비에 따라 변화하는 각 가스의 질량 및 분압에 기초하여 가스의 유입을 조절함으로써, 가스의 조성비를 정확하게 제어할 수 있다.

4. 发明授权

KR100163608B1 극고순도의 기체분석용 측정장치 失效
标题翻译：用于超高纯度气体分析的测量仪器
公开(公告)号：KR100163608B1
公开(公告)日：1999-05-01
申请号：KR1019920014639
申请日：1992-08-14
申请人： 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드
发明人： 그레고리하워드레거트 , 마이클해롤드손리커
IPC分类号： G01N27/26
CPC分类号： G01N33/0006 , B01F3/026
摘要： 본발명의측정장치는극고순도의측정기체혼합물과기체시료를상승된온도조건에서기체분석기에신속하게전달하기위해제공된것이다. 본발명에따르면, 고도로감응성이있는분석기에원하는바대로지속적인흐름속도가제공될수 있다.

5. 发明授权

KR101893693B1 가스 혼합 장치 및 기판 처리 장치 有权
公开(公告)号：KR101893693B1
公开(公告)日：2018-08-30
申请号：KR1020170072301
申请日：2017-06-09
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 야마시타,준
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/02
CPC分类号： C23C16/45514 , B01F3/02 , B01F3/026 , B01F5/0068 , B01F2005/0014 , B01F2215/0096 , C23C16/308 , C23C16/4412 , C23C16/45512 , C23C16/45531 , C23C16/45544 , C23C16/45565
摘要： 본발명은, 복수종의가스를혼합함에있어서, 가스를균일하게혼합하는기술을제공하는것이다. 상면이막힌원통부(40)의저면중앙부에가스유출로(41)를설치하고, 원통부(40)의중심에대하여회전대칭이되는복수의가스류안내벽(42A 내지 42C)을가스유출로(41)의개구테두리를따라간격을두고배치하고있다. 또한, 가스류안내벽(42A 내지 42C)의둘레방향의한쪽단부를원통부(40)의중심부근방으로굴곡하고있다. 그리고, 가스류안내벽(42A 내지 42C)과, 원통부(40)의내주면과의사이에서의가스류안내벽(42A 내지 42C) 둘레방향의다른쪽 근방의위치에제1 내지제3 가스유입관(45A 내지 45C)을접속하고있다. 제1 내지제3 가스유입관(45A 내지 45C)으로부터공급된가스는, 가스류안내벽(42A 내지 42C)의외주면을따라흘러, 둘레방향의일방측에있는가스류안내벽(42A 내지 42C)의내주면을따라서흐르는선회류가되어, 가스유출로(41)에서혼합된다.

6. 发明公开

KR1020140148434A 플라즈마 프로세싱 시스템들에서의 공유형 가스 패널들 审中-实审
标题翻译：等离子体加工系统中的共用气体面板
公开(公告)号：KR1020140148434A
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：KR1020147029663
申请日：2013-03-21
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 타스카마크 , 샤리프이크발
IPC分类号： F17D1/04
CPC分类号： B01F3/026 , Y10T137/0318 , Y10T137/87249 , Y10T137/87281 , Y10T137/87652 , Y10T137/87885
摘要： 프로세스 가스를 복수의 프로세스 모듈로 공급하는 공유형 가스 패널을 위한 방법들 및 장치가 개시된다. 공유형 가스 패널은 복수의 혼합 밸브들 및 적어도 2 개의 프로세스 모듈을 서비스하기 위한, 소정의 혼합 밸브에 대한 적어도 2 개의 혼합 매니폴드를 포함한다. 혼합 매니폴드들은 소정의 플레인에 배치되며, 공간을 절감하도록 스태거링된다. 공유형 가스 패널의 컴포넌트들은 또한 공유형 가스 패널 인클로저의 체적을 줄이기 위해서 수직으로 적층된다. 소정의 혼합 밸브에 커플링된 2 개의 혼합 매니폴드들이 매칭 문제들을 제거하기 위해서 동일한 질량 흐름을 수용하도록 컴포넌트들이 최적화된다.

7. 发明授权

KR101192818B1 Device for controlling gas mixing, method for controlling gas mixing ratio therein 有权
标题翻译：用于控制气体混合的装置，用于控制气体混合比的方法
公开(公告)号：KR101192818B1
公开(公告)日：2012-10-18
申请号：KR20120030787
申请日：2012-03-26
申请人： SEHWA HIGH TECH CO LTD
发明人： KIM JONG HYEOK
IPC分类号： F16K37/00 , F16K1/52
CPC分类号： B01F15/0261 , B01F3/026 , G05D11/132
摘要： PURPOSE: A gas mixing control device and a method for controlling gas mixing ratio therein are provided to prevent the errors of a gas mixing ratios by possessively adjusting the target flow rate of the element gas. CONSTITUTION: A method for gas mixing ratio in a gas mixing control device is as follows. The control device transmits each target flow rate value predetermined by target mixing ratio to multiple flow rate controllers for controlling flow rate in multiple pipes(S330). The control device receives the actual flow rate values of each outlet of the pipes from the flow rate controllers(S340). The control device corrects the target flow rate value for the flow rate controllers for controlling the flow rates in rest pipes except for pipes in which the target flow rate value and the practical flow rate values are escaped from a predetermined error range. The control device receives the corrected target flow rate value to the flow rate controllers for controlling the flow rate of the rest pipes. [Reference numerals] (AA) Start; (BB) Over error range; (CC) Within the error range; (DD) Finish; (S310) Input and save of a target mixing ratio; (S320) Determining a target flow rate value of each flow rate controller according to the target mixing ratio; (S330) Transmitting each target flow rate to each flow rate controller; (S340) Receiving an actual flow rate value of each outlet of multiple pipes; (S350) Discriminating the errors of the target flow rate value and the actual flow rate value; (S360) Determining a modified target flow rate value of the flow rate controllers in rest pipes except pipes diverging from the error range
摘要翻译：目的：提供一种气体混合控制装置及其混合气体控制方法，以通过有效调节元件气体的目标流量来防止气体混合比的误差。构成：气体混合控制装置中的气体混合比的方法如下。控制装置将通过目标混合比预定的目标流量值发送到用于控制多个管道中的流量的多个流量控制器（S330）。控制装置从流量控制器接收管道的每个出口的实际流量值（S340）。控制装置校正流量控制器的目标流量值，用于控制除了目标流量值和实际流量值从预定误差范围中逃逸的管道以外的其他管道中的流量。控制装置接收到用于控制其余管道的流量的流量控制器的校正目标流量值。（附图标记）（AA）开始; （BB）超出误差范围; （CC）在误差范围内; （DD）完成; （S310）输入和保存目标混合比; （S320）根据目标混合比确定各流量控制器的目标流量值; （S330）将每个目标流量传送到每个流量控制器; （S340）接收多个管道各出口的实际流量值; （S350）鉴别目标流量值和实际流量值的误差; （S360）确定除偏差范围外的管道以外的静止管道中的流量控制器的修正目标流量值

8. 发明公开

KR1020010077978A 기체 혼합 장치 无效
标题翻译：气体混合装置
公开(公告)号：KR1020010077978A
公开(公告)日：2001-08-20
申请号：KR1020010001801
申请日：2001-01-12
申请人： 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드
发明人： 조나단피.한레이
IPC分类号： B01F3/02
CPC分类号： B01F3/026
摘要： PURPOSE: A gas mixing apparatus is provided to accurately mix a plurality of gases, to reduce defects such as tombstoning and solder splatter, and to improve soldering performance in the manufacture of a circuit board. CONSTITUTION: The compact gas mixing apparatus comprises a gas panel, pressure control valves(16,18) to regulate differential pressures, flow meters(30,32) and a static mixing chamber(34). The plurality of gases may be a minor gas and a major gas, where, for example, the major gas is nitrogen, and the minor gas is air or oxygen. The major gas and the minor gas is preferably mixed in a proportion of from about 100ppm to about 10,000ppm minor gas in the major gas, more preferably in a proportion of from about 500ppm to about 2,000ppm minor gas in the major gas.
摘要翻译：目的：提供气体混合装置以精确地混合多种气体，以减少诸如墓碑和焊料溅射的缺陷，并提高电路板制造中的焊接性能。构成：紧凑型气体混合装置包括气体面板，用于调节差压的压力控制阀（16,18），流量计（30,32）和静态混合室（34）。多个气体可以是次要气体和主要气体，其中例如主要气体是氮气，次要气体是空气或氧气。主要气体和次要气体优选在主要气体中以约100ppm至约10,000ppm的次要气体的比例混合，更优选以主要气体中的约500ppm至约2,000ppm的小气体的比例混合。

9. 发明公开

KR1020000053105A 6불화 황이 함유된 균일 가스 혼합물의 제조 失效
标题翻译：用SF6制备均质气体混合物
公开(公告)号：KR1020000053105A
公开(公告)日：2000-08-25
申请号：KR1019997004029
申请日：1997-11-19
申请人： 솔베이 플루오르 운트 데리바테 게엠베하
发明人： 피트로프,미하엘 , 빅켈,한스-페터 , 디스텔,라이너 , 벨트,하인쯔-요아킴
IPC分类号： B01F3/02
CPC分类号： B01F3/026 , B01F5/0602 , B01F5/12 , B01F15/00344 , C01B17/4553
摘要： PURPOSE: Preparation of homogeneous gas mixtures with sf6 is provided. CONSTITUTION: Homogeneous compressed gas mixtures with SF6 and a gas with a density at least 4 g/l lower can be prepared by using a mixing station with at least the following elements: a gas premixer in which the separate gases are brought together; a static mixer and/or a buffer tank connected thereto; a compressor connected to the buffer tank or static mixer; and when a buffer tank is used, a return line from the compressor output to the buffer tank. Mixtures of SF6 and N2, useful for example as insulating gas for current-conductive underground cables, can be produced by this process, which is capable of processing large flow rates. Mass flowmeters ensure high precision and reliability. Also disclosed is a mobile mixing station for implementing this process.
摘要翻译：目的：提供具有sf6的均匀气体混合物的制备。构成：使用具有至少以下元素的混合站可以制备具有SF 6和密度至少为4g / l密度的气体的均匀压缩气体混合物：气体预混合器，其中分离的气体在一起; 静态混合器和/或与其连接的缓冲罐; 压缩机连接到缓冲罐或静态混合器; 并且当使用缓冲罐时，从压缩机输出到缓冲罐的返回管线。可以通过这种能够处理大流量的方法生产SF6和N2的混合物，例如用作导电地下电缆的绝缘气体。质量流量计确保高精度和可靠性。还公开了一种用于实现该过程的移动混合站。

10. 发明公开

KR1020180073174A 가스 혼합 장치 有权
公开(公告)号：KR1020180073174A
公开(公告)日：2018-07-02
申请号：KR1020160176738
申请日：2016-12-22
申请人： 주식회사 포스코
发明人： 김금택 , 김진홍 , 김태중
IPC分类号： B01F3/02 , B01F15/00 , B01F15/02
CPC分类号： B01F3/026 , B01F15/00162 , B01F15/02
摘要： 수소와질소를효과적으로혼합할수 있도록, 제1 가스공급라인과연결되며내부에공간을형성하는홀더, 상기홀더내부로관통설치되고제2 가스공급라인과연결되어제2 가스가이송되는이송배관, 홀더내부로연장된이송배관출측에설치되어홀더내부의제1 가스를내부로유입하여제2 가스에혼합하는혼합부, 및상기혼합부에연결되고상기홀더외측으로연장되어혼합가스를이송하는혼합배관을포함하는가스혼합장치를제공한다.

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