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1. 发明授权

KR102260867B1 물질소모량 계측이 가능한 증발원 有权
公开(公告)号：KR102260867B1
公开(公告)日：2021-06-07
申请号：KR1020190046424
申请日：2019-04-22
申请人： 주식회사 야스
发明人： 윤영식 , 김수환 , 김형기 , 최명운 , 서현 , 홍예원
IPC分类号： H01L51/56

2. 发明授权

KR102214306B1 기판 고정용 영구 자석 클램핑 유닛 有权
公开(公告)号：KR102214306B1
公开(公告)日：2021-02-10
申请号：KR1020200127822
申请日：2020-10-05
申请人： 주식회사 야스
发明人： 이상민 , 서정국 , 임호성 , 염승호 , 윤경욱 , 최현기 , 신우재 , 장수창 , 신동신 , 윤상엽 , 최상규 , 전옥철
IPC分类号： H01L21/687
摘要： 대면적기판에대한안정적인핸들링목적으로종래의클램핑유닛을개선하였다. 즉, 본발명은절곡공정을적용하기때문에정밀하게제작할수 없는구조의클램퍼플레이트를절곡없이제작하도록개선하여정밀도를확보함으로써기판의파손에대한위험성을낮추었고, 클램퍼자석및 본체자석의배치를최적화하여클램핑포스를최대로이끌어내대면적기판이점착제에서탈락하는경우에도안정적으로지지및 고정할수 있도록하였다. 클램퍼와본체의자석의외벽은스톱퍼역할을겸하며, 정확한위치에서클램핑될 수있도록하는역할을한다. 클램핑유닛의클램퍼플레이트는구동푸셔와맞닿는부분으로경도가높은열처리된금속재질을사용하고추가적인코팅을활용하여파티클발생을억제하였다. 구동푸셔는두 가지타입으로필요에따라적용하며첫 번째타입은경사면을적용하여일정높이이하로클램프유닛을가압할수 없는구조를적용하였도,갈림및 긁힘등에대한내구성확보를위해열처리한 금속을사용하고코팅을활용하여파티클발생을억제하였다. 두번째타입은갈림및 긁힘등에대한내구성확보를위해베어링을사용하며, 역시코팅을활용하여파티클발생을억제하였다. 또한, 클램프유닛에적용되는볼트는모두척에클램프유닛을취부한상태로정비/점검할 수있도록하여클램퍼플레이트는취부한상태로교체가능하도록하여정비및 점검의용이성을향상시키도록하였다.

3. 发明授权

KR102201535B1 유기발광소자 증착용 대면적 마스크 및 그 제조방법 有权
公开(公告)号：KR102201535B1
公开(公告)日：2021-01-12
申请号：KR1020190021405
申请日：2019-02-22
申请人： 주식회사 야스
发明人： 장수창 , 김영국 , 정찬희 , 최경민
IPC分类号： H01L51/56 , H01L51/00 , G03F7/20 , C23C16/04
摘要： 본발명의목적은 8세대이상대면적사이즈에대응할수 있는 FMM 마스크를제공하고자하는것이다. 8세대이상대면적마스크를구성하기위해기판원장안에포함되는생산패널별로크기(예를들어 55인치또는 65인치패널)와위치에맞게마스크시트를준비한다. 생산패널별 마스크의경계면을따라이웃한패널마스크를용접하여마스크를확장하고, 대면적마스크를형성한다.

4. 发明授权

KR102146162B1 유리 마스크 有权
公开(公告)号：KR102146162B1
公开(公告)日：2020-08-19
申请号：KR1020180108395
申请日：2018-09-11
申请人： 주식회사 야스
发明人： 정광호 , 최명운 , 김영국
IPC分类号： C03C17/06 , H01L21/02 , H01L51/00 , G03F7/20

5. 发明授权

KR102126115B1 패스 챔버와 디척 챔버 사이에 기판 검사 장비가 배치된 증착 시스템 有权
公开(公告)号：KR102126115B1
公开(公告)日：2020-06-24
申请号：KR1020180041269
申请日：2018-04-09
申请人： 주식회사 야스
发明人： 장수창 , 정광호 , 김형수
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/683

6. 发明授权

KR102032025B1 효과적인 기판 탈부착 구조의 점착 척과 탈착 장치 有权
公开(公告)号：KR102032025B1
公开(公告)日：2019-10-14
申请号：KR1020170122496
申请日：2017-09-22
申请人： 주식회사 야스
发明人： 최명운 , 이상민 , 서정국 , 김영준 , 윤경욱 , 임호성 , 박창선 , 유권국 , 신동신 , 전옥철 , 정광호
IPC分类号： H01L21/18 , H01L23/00 , H01L21/683

7. 发明授权

KR101992999B1 증발원이 선형 배열된 증발원 有权
公开(公告)号：KR101992999B1
公开(公告)日：2019-06-27
申请号：KR1020170051974
申请日：2017-04-22
申请人： 주식회사 야스
发明人： 김성문 , 지대준 , 서현 , 정은상 , 나영혁 , 이정규 , 박은식 , 조규중 , 홍예원 , 이광민
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/22

8. 发明授权

KR101967040B1 고온 증발원용 히터 有权
公开(公告)号：KR101967040B1
公开(公告)日：2019-04-10
申请号：KR1020170024462
申请日：2017-02-24
申请人： 주식회사 야스
发明人： 김성문 , 서현 , 이정규 , 조성근 , 고은임
IPC分类号： C23C14/26 , C23C14/24 , H05B3/56 , H05B3/64

9. 发明授权

KR101934666B1 진공유리 열융착 인라인 시스템 有权
公开(公告)号：KR101934666B1
公开(公告)日：2019-01-02
申请号：KR1020180012159
申请日：2018-01-31
申请人： 주식회사 야스
发明人： 김형민 , 정의석 , 김영훈 , 최명운 , 장순우 , 이원선 , 전옥철 , 정광호
IPC分类号： E06B3/66 , E06B3/677

10. 发明授权

KR101914882B1 기판을 안정화시키는 밀착판을 구비한 기판 얼라인 시스템 有权
公开(公告)号：KR101914882B1
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：KR1020170165241
申请日：2017-12-04
申请人： 주식회사 야스
发明人： 김정용 , 전옥철 , 최상규 , 정하경 , 최규황 , 박광수 , 황성용 , 정광호
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/683 , H01L21/687 , H01L21/18
摘要： 본발명의목적은대면적기판을마스크에얼라인하는과정에서, 기판의진동을방지하고기판처짐현상을제거할수 있는얼라인시스템을제공하고자하는것이다. 상기목적에따라본 발명은, 기판과마스크를정렬시키기위해, 기판아래편에마스크를배치한상태에서, 기판로딩핀에의해인수된기판을기판위에서눌러주는밀착판을포함한얼라인시스템을제공한다. 즉, 본발명은, 대면적기판을밀착판의자중으로눌러기판을펴지게함으로써기판처짐현상을방지하고, 나아가로딩핀에의해지지되어있는기판이진동하는현상도방지한다. 본발명에서, 로딩핀에지지된 기판은밀착판에의해가압된 상태에서기판아래편에놓여있는마스크를 UVW 스테이지에연동시켜센터링동작을하여기판-마스크얼라인을실시하거나, 밀착판에의해가압된 상태의기판을지지하는로딩핀이설치된로딩핀유닛을 UVW 스테이지에연동시켜기판을움직여기판-마스크얼라인을실시할수 있다.

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