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1. 发明授权

KR102056977B1 대면적 기판 얼라인 시스템 有权
公开(公告)号：KR102056977B1
公开(公告)日：2019-12-17
申请号：KR1020180004479
申请日：2018-01-12
申请人： 주식회사 야스
发明人： 정의석 , 김형민 , 최상규 , 김영훈 , 신규남 , 최명운 , 정광호 , 장수창
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/67 , H01L21/677

2. 发明授权

KR101833616B1 진공유리 열융착 인라인 시스템 有权
公开(公告)号：KR101833616B1
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：KR1020160051221
申请日：2016-04-27
申请人： 주식회사 야스
发明人： 김형민 , 정의석 , 김영훈 , 최명운 , 장순우 , 이원선 , 전옥철 , 정광호
IPC分类号： E06B3/66 , E06B3/677
CPC分类号： Y02A30/25 , Y02B80/24
摘要： 본발명의목적은진공유리제조시스템을인라인화하여생산성을향상시키고자하는것이다. 상기목적에따라본 발명은진공유리생산시스템을배치타입으로부터인라인타입으로변경된진공유리열융착인라인제조시스템을제공하였다. 이를위해본 발명은구체적으로다수의챔버를선형배열하고각 챔버에서실시될공정을인라인으로진행될수 있는수준의공정시간에맞추어안배하였다. 즉, 챔버진공, 예열, 가열, 냉각, 진공파기에걸리는시간을계산하여공정단위를설정하고각 단위공정을각각의챔버에서실시하도록하여인라인제조시스템을설계하였다. 또한씰링챔버공정조건을파기하지않고씰링용캡을지속적으로공급가능하도록별도의버퍼챔버를구성하여장 시간운영이가능한인라인제조시스템을제공하였다.

3. 发明授权

KR101934666B1 진공유리 열융착 인라인 시스템 有权
公开(公告)号：KR101934666B1
公开(公告)日：2019-01-02
申请号：KR1020180012159
申请日：2018-01-31
申请人： 주식회사 야스
发明人： 김형민 , 정의석 , 김영훈 , 최명운 , 장순우 , 이원선 , 전옥철 , 정광호
IPC分类号： E06B3/66 , E06B3/677

4. 发明公开

KR20180015205A 진공유리 열융착 인라인 시스템 有权
标题翻译：用于真空玻璃热固化的在线系统
公开(公告)号：KR20180015205A
公开(公告)日：2018-02-12
申请号：KR20180012159
申请日：2018-01-31
申请人： 주식회사 야스
发明人： 김형민 , 정의석 , 김영훈 , 최명운 , 장순우 , 이원선 , 전옥철 , 정광호
IPC分类号： E06B3/66 , E06B3/677
CPC分类号： Y02A30/25 , Y02B80/24 , E06B3/6612 , E06B3/677
摘要： 본발명의목적은진공유리제조시스템을인라인화하여생산성을향상시키고자하는것이다. 상기목적에따라본 발명은진공유리생산시스템을배치타입으로부터인라인타입으로변경된진공유리열융착인라인제조시스템을제공하였다. 이를위해본 발명은구체적으로다수의챔버를선형배열하고각 챔버에서실시될공정을인라인으로진행될수 있는수준의공정시간에맞추어안배하였다. 즉, 챔버진공, 예열, 가열, 냉각, 진공파기에걸리는시간을계산하여공정단위를설정하고각 단위공정을각각의챔버에서실시하도록하여인라인제조시스템을설계하였다. 또한씰링챔버공정조건을파기하지않고씰링용캡을지속적으로공급가능하도록별도의버퍼챔버를구성하여장 시간운영이가능한인라인제조시스템을제공하였다.
摘要翻译：本发明的目的是通过内嵌真空玻璃制造系统来提高生产率。为此，本发明提供了一种真空玻璃熔融在线制造系统，其中真空玻璃生产系统从批量型变为在线型。为此，本发明具体地设置多个腔室，并且根据可以直线排列的处理时间将处理设置在每个腔室中。也就是说，在线制造系统的设计是通过计算室真空，预热，加热，冷却和真空破坏所需的时间，并在每个室中执行每个单元过程来设置过程单元。还提供了一种在线制造系统，通过配置一个单独的缓冲室以连续供应密封盖而不破坏密封室工艺条件，可长时间运行。

5. 发明授权

KR102094064B1 대면적 기판 얼라인 시스템 有权
公开(公告)号：KR102094064B1
公开(公告)日：2020-03-26
申请号：KR1020170149348
申请日：2017-11-10
申请人： 주식회사 야스
发明人： 김형민 , 정의석 , 박창선 , 최규황 , 최상규 , 김영훈 , 신규남 , 최명운 , 정광호
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/683

6. 发明授权

KR101934621B1 마스크 스토커를 구비한 대면적 기판용 인라인 시스템 有权
公开(公告)号：KR101934621B1
公开(公告)日：2019-01-02
申请号：KR1020160168296
申请日：2016-12-12
申请人： 주식회사 야스
发明人： 김형민 , 김영훈 , 정의석 , 최명운 , 신규남 , 전옥철 , 정광호
IPC分类号： H01L51/56 , H01L51/00 , C23C14/56 , C23C14/04 , H01L21/677 , H01L21/68 , H01L21/203 , H01L21/67

7. 发明公开

KR1020170122379A 진공유리 열융착 인라인 시스템 审中-实审
标题翻译：真空玻璃热熔内联系统
公开(公告)号：KR1020170122379A
公开(公告)日：2017-11-06
申请号：KR1020160051221
申请日：2016-04-27
申请人： 주식회사 야스
发明人： 김형민 , 정의석 , 김영훈 , 최명운 , 장순우 , 이원선 , 전옥철 , 정광호
IPC分类号： E06B3/66 , E06B3/677
CPC分类号： E06B3/6612 , E06B3/677 , Y02B80/24
摘要： 본발명의목적은진공유리제조시스템을인라인화하여생산성을향상시키고자하는것이다. 상기목적에따라본 발명은진공유리생산시스템을배치타입으로부터인라인타입으로변경된진공유리열융착인라인제조시스템을제공하였다. 이를위해본 발명은구체적으로다수의챔버를선형배열하고각 챔버에서실시될공정을인라인으로진행될수 있는수준의공정시간에맞추어안배하였다. 즉, 챔버진공, 예열, 가열, 냉각, 진공파기에걸리는시간을계산하여공정단위를설정하고각 단위공정을각각의챔버에서실시하도록하여인라인제조시스템을설계하였다. 또한씰링챔버공정조건을파기하지않고씰링용캡을지속적으로공급가능하도록별도의버퍼챔버를구성하여장 시간운영이가능한인라인제조시스템을제공하였다.
摘要翻译：本发明的目的是通过内嵌真空玻璃制造系统来提高生产率。为此，本发明提供了一种真空玻璃熔融在线制造系统，其中真空玻璃生产系统从批量型变为在线型。为此，本发明具体地设置多个腔室，并且根据可以直线排列的处理时间将处理设置在每个腔室中。也就是说，在线制造系统的设计是通过计算室真空，预热，加热，冷却和真空破坏所需的时间，并在每个室中执行每个单元过程来设置过程单元。还提供了一种在线制造系统，通过配置一个单独的缓冲室以连续供应密封盖而不破坏密封室工艺条件，可长时间运行。

8. 发明公开

KR1020170106674A 하나의 진공 증착 챔버에서 두 장의 기판에 순차 증착하는 시스템 有权
标题翻译：用于在一个真空沉积室中顺序沉积两个衬底的系统
公开(公告)号：KR1020170106674A
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：KR1020160030053
申请日：2016-03-14
申请人： 주식회사 야스
发明人： 최명운 , 김형민 , 정의석 , 김영훈 , 전옥철 , 정하경 , 정광호
IPC分类号： C23C14/56 , C23C14/50
CPC分类号： C23C14/56 , C23C14/505 , C23C14/568
摘要： 본발명의목적은순차증착시스템에서기판의배열을달리하여공간을절약하고증착원의동선을줄여물질의낭비를줄이고택 타임을줄이고자하는것이다. 상기목적에따라본 발명은, 두장의기판을나란히공정챔버에넣고, 제1 기판에대해증착원이증착공정을하는동안다른제2 기판은마스크얼라인및 합착공정을실시하고, 제1기판의증착과제2 기판의마스크합착이완료되면두 장의기판을함께나란히소정각도만큼회전시켜제1기판은반출하고증착원이제2기판쪽으로이동하여제2기판에박막을증착하도록하였다.
摘要翻译：本发明的字符不同于板的布置的目的在于节省空间和降低蒸气源的循环，以减少材料的浪费，以减少在顺序沉积系统的粘性的时间。本发明中，并排到处理室，衬底的两片，比在沉积过程中在第一基板的第一基板的圆沉积工艺进行掩模对准和胶结过程中，所述第一基板的根据目的的沉积不同如果任务2的掩模基板胶结完成旋转侧由与第一基板取出并通过移动蒸发源的第二基板上沉积薄膜的衬底的两片的预定角度是现在朝向第二基板。

9. 发明授权

KR101859849B1 마스크 스토커를 구비한 대면적 기판용 클러스터 시스템 有权
公开(公告)号：KR101859849B1
公开(公告)日：2018-05-21
申请号：KR1020160164076
申请日：2016-12-05
申请人： 주식회사 야스
发明人： 김형민 , 정의석 , 김영훈 , 최명운 , 전옥철 , 정광호
IPC分类号： H01L51/56 , H01L51/00 , C23C14/04 , C23C14/56
CPC分类号： H01L51/56 , C23C14/042 , C23C14/56 , C23C14/564 , H01L21/203 , H01L21/67742 , H01L51/001 , H01L51/0011
摘要： 본발명의목적은클러스터장비에적용가능한대면적마스크와개선된증발원의운용방식을제공하여다층박막증착에따르던어려움을해결하고대면적기판의안정적인양산이가능한클러스터시스템을제공하는데 있다. 그에따라본 발명은, 클러스터를형성하는하나이상의챔버와챔버에기판을반입반출하여주는로봇암을구비하는클러스터증착시스템에있어서, 상기챔버중 증착공정을실시하는공정챔버는, 하나이상의증발원; 및단부에마스크가반입및 반출되는마스크스토커;를구비하여, 로봇암은기판만을공정챔버에반입하고, 마스크는상기마스크스토커에서반입되어기판과마스크가얼라인된 후, 증발원에의해증착공정이실시된후, 로봇암에의해기판만이반출되는것을특징으로하는클러스터증착시스템을제공한다.

10. 发明授权

KR101795912B1 하나의 진공 증착 챔버에서 두 장의 기판에 순차 증착하는 시스템 有权
公开(公告)号：KR101795912B1
公开(公告)日：2017-11-08
申请号：KR1020160030053
申请日：2016-03-14
申请人： 주식회사 야스
发明人： 최명운 , 김형민 , 정의석 , 김영훈 , 전옥철 , 정하경 , 정광호
IPC分类号： C23C14/56 , C23C14/50
摘要： 본발명의목적은순차증착시스템에서기판의배열을달리하여공간을절약하고증착원의동선을줄여물질의낭비를줄이고택 타임을줄이고자하는것이다. 상기목적에따라본 발명은, 두장의기판을나란히공정챔버에넣고, 제1 기판에대해증착원이증착공정을하는동안다른제2 기판은마스크얼라인및 합착공정을실시하고, 제1기판의증착과제2 기판의마스크합착이완료되면두 장의기판을함께나란히소정각도만큼회전시켜제1기판은반출하고증착원이제2기판쪽으로이동하여제2기판에박막을증착하도록하였다.

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