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1. 发明授权

KR102266283B1 진공 펌핑 및 저감 시스템 有权
公开(公告)号：KR102266283B1
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：KR1020157027160
申请日：2014-04-01
申请人： 에드워즈 리미티드
发明人： 스탠턴개러스
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/02

2. 发明授权

KR102156950B1 예비 베어링 접촉 센서를 구비한 진공 펌프 有权
公开(公告)号：KR102156950B1
公开(公告)日：2020-09-16
申请号：KR1020157011126
申请日：2013-10-14
申请人： 에드워즈 리미티드
发明人： 바라미모하마드에흐테사디 , 홀러리차드글린
IPC分类号： F04D19/04 , F04D27/00 , F04D29/059 , F16C19/52 , F16C32/04

3. 发明授权

KR101963469B1 챔버 진공 배기 방법 및 장치 有权
公开(公告)号：KR101963469B1
公开(公告)日：2019-07-31
申请号：KR1020147000890
申请日：2012-05-31
申请人： 에드워즈 리미티드
发明人： 스테판스필립존 , 톰슨마이클제프리
IPC分类号： F04D19/04 , F04D27/00

4. 发明授权

KR101993487B1 가스 스트림을 처리하기 위한 장치 有权
公开(公告)号：KR101993487B1
公开(公告)日：2019-06-26
申请号：KR1020147006773
申请日：2012-07-11
申请人： 에드워즈 리미티드
发明人： 보로닌세르게이알렉산드로비치 , 클레멘츠크리스토퍼제임스필립 , 비더존레슬리
IPC分类号： B01D53/32 , B03C3/78 , B03C3/82 , H05H1/24

5. 发明授权

KR101837213B1 스크롤 펌프 有权
标题翻译：涡旋泵
公开(公告)号：KR101837213B1
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：KR1020127027822
申请日：2011-04-07
申请人： 에드워즈 리미티드
发明人： 쇼필드니겔폴 , 리우마이클청카우
IPC分类号： F04C18/02 , F04C25/02 , F04C14/08 , F01C17/06
CPC分类号： F04C18/0215 , F01C17/066 , F01C21/007 , F01C21/02 , F04C18/0253 , F04C25/02 , F04C2240/807 , F04C2270/12
摘要： 본발명은펌프하우징(12), 동심샤프트부(14)와궤도스크롤(20)에연결된편심샤프트부(16)를가진구동샤프트를포함하는스크롤펌프(10)에관한것이다. 상기샤프트는사용중당해샤프트의회전이고정스크롤(22)에대한궤도스크롤의궤도운동을제공함으로써, 압축기의펌프유입구(24)와펌프유출구(26) 사이에유체를펌핑하도록, 모터(18)에의해구동되도록배열된다. 상기고정스크롤은당해샤프트가관통하여연장하며상기모터에대한당해고정스크롤의대향측부에서상기궤도스크롤에연결되는개구를갖는다. 스크롤구성체의궤도스크롤측에고진공영역이위치되고, 상기스크롤구성체의고정스크롤측에저진공영역이대체로위치된다. 상기궤도스크롤의회전을방해하고상기궤도운동을허용하기위해상기고진공영역에무윤활유회전방지장치(52)가위치되며, 상기동심샤프트부와편심샤프트부의회전을지지하기위해상기저진공영역에베어링구성체(34, 36)가위치된다.
摘要翻译：本发明涉及一种泵壳12中，同心的轴部14，并且包括具有耦合到所述动涡旋盘（20）的偏心轴部16的驱动轴涡旋泵10。由该轴的在使用中的旋转轴提供所述固定涡旋盘22的绕动涡旋盘的公转运动，电机18，所述压缩机的泵送流体的泵入口24之间以及泵出口（26）它被设置成通过驱动。固定涡旋件具有延伸穿过其中的开口，并且在固定涡旋件的相对于马达的相对侧处连接到公转涡旋件。高真空区域位于涡旋结构的绕动涡旋侧，低真空区域通常位于涡旋结构的固定涡旋侧。中断的动涡旋盘的旋转，并且是高真空区域自由润滑油防旋转装置，以允许所述轨道运动（52）剪刀值，在低真空区域中的轴承支撑同心轴部和所述旋转的偏心轴部定位结构34和36。

6. 发明公开

KR1020170128326A 펌프 모니터링 장치 및 방법 审中-实审
标题翻译：泵监控装置和方法
公开(公告)号：KR1020170128326A
公开(公告)日：2017-11-22
申请号：KR1020177026029
申请日：2016-02-25
申请人： 에드워즈 리미티드
发明人： 필리프로랑마르크
IPC分类号： F04B49/06 , F04B51/00 , F04B17/03
CPC分类号： F04C28/28 , F04B49/065 , F04B51/00
摘要： 진공펌프를구동하기위한전기모니터를갖는진공펌프모니터링장치가기술된다. 이진공펌프모니터링장치는적어도상기전기모터의전류를측정하여시간기반신호를생성하기위한적어도하나의센서와, 상기시간기반신호를주파수기반신호로변환하고, 상기주파수기반신호를분석하여펌프고장상태를나타내는신호패턴을식별하도록구성되는적어도하나의전자프로세서를포함한다. 상기진공펌프모니터링장치는주파수기반신호를모니터링함으로써펌프고장상태를식별할수 있다. 신호패턴은가령, 상기펌프고장상태와관련된진동시그니처에대응할수 있다. 펌핑시스템에존재하는모든잠재적인진동소스는가령, 로드토크(load torque) 및샤프트속도(shaft speed) 변동을통해전기모터에영향을미칠것이다. 이러한진동을구동하는데 요구되는에너지는전기모터에의해제공되며반드시전력시그니처로변환된다. 식별된진동시그니처는전기모터및/또는펌프의동작으로부터발생할수 있다. 진공펌프모니터링장치는펌프내의고장을진단할수 있다. 대안으로또는추가적으로, 진공펌프모니터링장치는펌프내의고장을예측할수 있다.
摘要翻译：描述了具有用于驱动真空泵的电监视器的真空泵监视装置。二进制球泵监视装置是至少一个传感器和所述基于时间的信号转换为基于频率的信号，故障泵通过对通过测量电动机状态的电流来产生至少一个基于时间的信号分析所述基于频率的信号在这个实施例中，真空泵监测装置可以通过监测基于频率的信号来识别泵故障状况。例如，信号模式可以对应于与泵故障状态相关联的振动特征。存在于泵送系统中的任何潜在的振动源将通过例如负载转矩和轴速度变化而影响电动机。驱动这种振动所需的能量由电动机提供，并且必须转换成功率特征。所识别的振动特征可能由电动机和/或泵的操作引起。真空泵监控设备可以诊断泵中的故障。可选地或附加地，真空泵监测装置可以预测泵中的故障。

7. 发明公开

KR1020170118753A 가스 처리 장치 审中-实审
标题翻译：气体处理装置
公开(公告)号：KR1020170118753A
公开(公告)日：2017-10-25
申请号：KR1020177023294
申请日：2016-01-28
申请人： 에드워즈 리미티드
发明人： 보로닌세르게이알렉산드로비치 , 애트우드마크제임스 , 챔버스앤드류아서 , 비더존레슬리
IPC分类号： B03C3/80 , B03C3/49 , B03C3/16 , B03C3/41
CPC分类号： B03C3/80 , B03C3/01 , B03C3/16 , B03C3/36 , B03C3/41 , B03C3/49 , B03C2201/08 , B03C2201/10
摘要： 공지의습식전기집진기는크고비효율적이다. 본발명은, 제 1 세정흐름을통과시켜서집진기챔버안으로향하게하되입자가물 커튼안으로밀어넣어질수 있도록집진기챔버를통과하는처리할가스의흐름방향에대해수직으로향하게하는중앙구멍을내부전극에추가함으로써, 더작고더 효율적이며수명이긴 습식전기집진기의제작을가능하게한다. 내부전극에서임의의증착입자가세정될수 있도록물 커튼을교란시키기위해더 큰제 2 정화세정흐름도또한제공된다.
摘要翻译：已知的湿式静电除尘器大而效率低。本发明的加成首先通过洗涤流通过，但在集尘腔面对，要处理面向垂直于气体的流动方向的中心孔，所述颗粒通过集尘室传递到不能被推入水幕中的电极，能够生产更小，更高效和更长寿命的湿式静电除尘器。还提供了更大的双层清洁流程来扰乱水幕，以便可以在内部电极清洁任何沉积的颗粒。

8. 发明公开

KR1020170092547A 유독가스 소각용 복사 버너 审中-实审
标题翻译：用于有毒气体焚烧的辐射燃烧器
公开(公告)号：KR1020170092547A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：KR1020177014304
申请日：2015-11-02
申请人： 에드워즈 리미티드
发明人： 시레이앤드류
IPC分类号： F23G7/06 , F23D14/14 , F23N1/02 , F23N5/02
CPC分类号： F23G7/065 , F23D14/145 , F23D2203/1012 , F23D2203/1055 , F23D2203/106 , F23D2212/103 , F23D2212/201 , F23G2207/101 , F23G2209/142 , F23G2900/50007 , F23N1/02 , F23N1/022 , F23N5/022 , F23N2025/16 , F23N2037/08
摘要： 복사버너(80) 및방법이개시된다. 복사버너(8)는제조공정툴로부터노즐(12)을통해공급된배출가스스트림을처리하기위한것이고, 소결금속섬유슬리브(20)로서, 이소결금속섬유슬리브의내부연소면(20의일부분) 근방에서의연소를위해연소물질이소결금속섬유슬리브를통과하는, 상기소결금속섬유슬리브와, 소결세라믹섬유로제조되고소결금속섬유슬리브를둘러싸며연소물질이통과하는절연슬리브(20의일부분)를포함한다. 이렇게하여, 버너가꺼지는빈번한아이들단계에의해야기된급속사이클로인해부서지지않는복사버너(8)가제공된다. 또한, 절연슬리브를제공하는것에의해, 복사버너(8) 내에서의온도및 복사버너(8)의외부면의온도는기존의세라믹버너와유사한상태로있다. 이는복사버너(8)가, 공정툴의이러한빈번하고짧은휴지기간동안, 부서지지않는현장교체용부품으로서기존의세라믹버너를대신하도록할 수있다.
摘要翻译：公开了一种辐射燃烧器（80）和方法。如果拷贝燃烧器（8）是制造过程的内燃，烧结金属纤维套筒20是用于通过喷嘴12从工具处理所述提供的废气流，异结果金属纤维套筒（20 uiil部）包括向燃烧产物的附近eseoui燃烧通过烧结金属纤维套筒，由烧结金属纤维套管的绝缘套管（20 uiil部分）和，烧结所述陶瓷纤维通过围绕所述烧结金属纤维套筒燃烧材料通过的。以这种方式，提供了一种辐射燃烧器8，其由于燃烧器关闭的频繁空转阶段而导致的快速循环不会破裂。此外，通过设置在绝缘套管，复制所述燃烧器（8）的拷贝eseoui温度和燃烧器8令人惊奇的脸是在类似于常规陶瓷燃烧器的状态下的温度。这允许辐射式燃烧器8在处理工具的这种频繁且短暂的停机时间期间替换现有的陶瓷燃烧器作为非断裂式现场更换部件。

9. 发明授权

KR101765959B1 상이한 높이의 부재를 포함하는 스크롤을 갖는 스크롤 압축기 有权
标题翻译：一种涡旋式压缩机，其具有包括不同高度构件的涡旋件
公开(公告)号：KR101765959B1
公开(公告)日：2017-08-07
申请号：KR1020127000964
申请日：2010-06-23
申请人： 에드워즈 리미티드
发明人： 스톤스이안데이비드 , 홀브룩알란어니스트킨네어드
IPC分类号： F04C18/02 , F04C23/00
CPC分类号： F04C18/0215 , F04C18/0276 , F04C18/0284 , F04C23/008
摘要： 스크롤압축기는각각의스크롤판(42, 48)과각각의스크롤벽(44, 50)을갖는두 개의스크롤(40, 46)을포함한다. 스크롤벽은스크롤의상대궤도운동시에일정체적(52, 54)의가스가스크롤사이에봉입되고입구(31)로부터출구(33)로펌핑되도록상호맞물린다. 입구와출구사이의유동경로(56)의제 1 부분(62)을따르는상기스크롤판 사이의상기봉입체적의축방향범위(A)는유동경로의제 2 부분(64)을따르는상기봉입체적의축방향범위(B)보다작고, 제 1 부분은유동경로를따라서제 2 부분보다입구에더 가깝다.
摘要翻译：该涡旋式压缩机包括具有相应的涡旋盘（42,48）和相应的涡旋壁（44,50）的两个涡旋盘（40,46）。涡卷壁是互锁的，使得容积恒定的气体52,54被封闭在涡旋件之间，并且在涡旋件的相对轨道运动期间从入口31被迫到出口33。沿入口和出口之间的流动路径（56）的第一部分（62）的涡旋板之间的空间杆的轴向范围（A）由包涵体沿第二部分的轴向范围A确定（B），并且所述第一部分沿着所述流动路径比所述第二部分更靠近所述入口。

10. 发明公开

KR1020150139514A 진공 펌핑 및 저감 시스템 审中-实审
标题翻译：真空抽水和抽出系统
公开(公告)号：KR1020150139514A
公开(公告)日：2015-12-11
申请号：KR1020157027160
申请日：2014-04-01
申请人： 에드워즈 리미티드
发明人： 스탠턴개러스
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/66 , H01L21/205 , C23C16/44
CPC分类号： B01D53/70 , B01D53/68 , B01D2257/2025 , B01D2257/204 , B01D2257/2042 , B01D2257/2066 , C23C16/4412 , F23G7/06
摘要： 본발명은, 공정챔버로부터공정가스를진공배기하고공정가스로부터유해물질을제거하기위한진공펌핑및 저감시스템에관한것이다. 본발명은또한진공펌핑구조체를퍼지하는방법에관한것이다. 본발명은, 공정챔버로부터공정가스를진공배기하고공정가스로부터유해물질을제거하기위한진공펌핑및 저감시스템을제공함으로써, 소유및 작동의비용및 이러한시스템의탄소발자국을감소시키도록추구한다. 시스템은, 공정챔버로부터공정가스를진공배기하기위한진공펌프와; 진공배기동안진공펌핑구조체를퍼지하기위한압축공기의공급원과; 진공펌핑구조체로부터공정가스및 압축가스를수용하고, 공정가스를산소내에서연소시킴으로써그들로부터유해물질을제거하기위한버너를포함하고, 연소를보조하는산소중 적어도일부는압축공기로부터유래된다.

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