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    • 1. 发明公开
    • 워크의 가공장치
    • 工件加工装置
    • KR20180017004A
    • 2018-02-20
    • KR20177034812
    • 2016-03-25
    • SHINETSU HANDOTAI KK
    • YASUDA TAICHISASAKI MASANAO
    • B24B37/08B24B37/28H01L21/304
    • B24B37/08B24B37/28
    • 본발명은, 외주면에축방향으로형성된적어도 1개의제1 홈을갖는회전축주위로회전가능한센터드럼과, 가공하는워크를삽입하여유지하는유지구멍을갖는캐리어와, 워크를유지한캐리어를끼운상태로, 회전축주위로회전가능한상정반및 하정반과, 상정반의내주부에부착되고, 제1 홈에삽입한선단부를제1 축을따라이동가능한적어도 1개의훅을갖는워크의가공장치로서, 센터드럼은, 추가로, 외주면에축방향으로형성된적어도 1개의제2 홈을갖고, 이제2 홈은, 제1 홈과상이한길이를갖고, 상정반이워크의가공을행한위치보다상방이되는위치에서, 훅을하방으로부터지지하는지지면을갖는워크의가공장치이다. 이에따라, 워크의가공을행한위치보다상방이되는위치에서상정반을정지시켰을때, 상정반의연마면에대하여수직방향의힘이작용해도, 상정반을수평하게유지할수 있다.
    • 本发明中,并用保持孔的载体通过插入可旋转的中心滚筒,加工工作,对于保持与所述外周表面上沿轴向形成有至少一个第一槽与旋转轴的外周保持工件托架的夹持状态 被附接到所述估计一半和hajeong一半,内周半假定围绕旋转轴线可旋转,在第一槽插入作为具有至少一个钩尽可能沿第一轴的工件的移动工作装置的一个前端部,一个中心滚筒, 第二槽的长度与第一槽的长度不同,并位于加工工件的位置的上方位置。 并从下面支持这项工作。 Yiettara,当停止假定为一半比经受位置的处理工件上方位置时,即使一个垂直力作用相对于所估计的抛光表面的一半,可以保持水平估计的一半。