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    • 3. 发明授权
    • 감광성 수지 조성물, 릴리프 패턴 형성 재료, 감광성막, 폴리이미드막, 경화 릴리프 패턴, 그 제조 방법, 및 반도체 장치
    • 光敏树脂组合物,一个浮雕图案形成材料中,感光膜,聚酰亚胺膜,固化浮雕图案,其制造方法,以及半导体器件
    • KR101780663B1
    • 2017-09-21
    • KR1020147002626
    • 2012-07-12
    • 후지필름 가부시키가이샤
    • 와다켄지아라야마쿄우헤이아메미야타쿠마
    • G03F7/039G03F7/004C08G73/10G03F7/038G03F7/40
    • C08G73/10G03F7/0045G03F7/039G03F7/40
    • 해상성및 감도에뛰어난리소그래피성능을갖고, 소위저온큐어에있어서응력이낮음으로써웨이퍼휨을방지하는경화릴리프패턴을형성할수 있는감광성수지조성물, 그감광성수지조성물을사용하는릴리프패턴형성재료, 감광성막, 폴리이미드막, 경화릴리프패턴, 그제조방법, 및그 경화릴리프패턴을포함하는반도체장치를제공한다. (a) 하기일반식(1)으로나타내어지는반복단위를갖는수지, 및 (b) 활성광선또는방사선의조사에의해산을발생시키는화합물을함유하는감광성수지조성물.[상기일반식(1) 중, R은 4가의유기기를나타낸다. 복수의 R은서로동일하거나달라도좋다. R는 2가의유기기를나타낸다. 복수의 R는서로동일하거나달라도좋다. 단, 복수의 R중적어도 1개는지환기를갖는 2가의유기기이다. R은각각독립적으로수소원자또는유기기를나타낸다. 단, 복수의 -COR중적어도 1개는산의작용에의해분해되어알칼리가용성기를발생시키는기이다]
    • 分辨率,并具有在灵敏度优异的光刻性能,在应力固化所谓低温是低至晶片翘曲防止可形成固化浮雕图案的感光性树脂组合物,使用该感光性树脂组合物的浮雕图案形成材料中,感光膜,其中, 聚酰亚胺膜,并提供一种半导体器件,包括一个固化浮雕图案,其制造,mitgeu固化浮雕图案的方法。 的(a)具有由式(1),并且表示的重复单元的树脂(b)一种用光化射线或其中包含产生照射[上述通式的溶解的化合物的感光性树脂组合物(1) 并且R表示四价有机基团。 多个R可以相同或不同。 R表示二价有机基团。 多个R可以相同或不同。 只要多个R基中的至少一个是具有取代基的二价有机基团即可。 每个R独立地表示氢原子或有机基团。 然而,即使多个-COR普遍被酸的作用而分解中的一个是用于产生碱溶性基团的基团;