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热词
    • 3. 发明公开
    • 마이크로 가동 디바이스
    • 微动装置
    • KR1020080079196A
    • 2008-08-29
    • KR1020080015656
    • 2008-02-21
    • 후지쯔 가부시끼가이샤
    • 미샤오유시마노우찌다께아끼이마이마사히꼬우에다사또시
    • B81B7/00B81B7/04H01G5/16
    • H01G5/16H01G5/011H01G5/06H03J3/20
    • A micro movable device is provided to realize good packaging by using insulation liquid of low viscosity or insulation gas of low viscosity as filler. A micro movable device(X1) includes a driving unit(10), a frame(20), and a connecting unit. The driving unit includes a main body, a first capacitor patterned electrode and a first driving patterned electrode. The first capacitor patterned electrode has a plurality of electrode teeth. The electrode teeth are elongated from the main body. The first driving patterned electrode also has electrode teeth which are elongated from the main body. The frame a second capacitor patterned electrode and a second driving patterned electrode. The capacitor patterned electrode and the second driving patterned electrode have electrode teeth which are elongated toward the first capacitor patterned electrode and the first driving patterned electrode respectively. The connecting unit connects the driving unit and the frame.
    • 提供微型移动装置,通过使用低粘度的绝缘液体或低粘度绝缘气体作为填料来实现良好的包装。 微型移动装置(X1)包括驱动单元(10),框架(20)和连接单元。 驱动单元包括主体,第一电容器图案化电极和第一驱动图案化电极。 第一电容器图案化电极具有多个电极齿。 电极齿从主体伸长。 第一驱动图案电极还具有从主体伸长的电极齿。 框架是第二电容器图案化电极和第二驱动图案化电极。 电容器图案化电极和第二驱动图案化电极具有分别朝向第一电容器图案化电极和第一驱动图案化电极延伸的电极齿。 连接单元连接驱动单元和框架。
    • 5. 发明授权
    • 마이크로 가동 소자 및 광 스위칭 장치
    • 微型移动元件和光开关装置
    • KR100725167B1
    • 2007-06-07
    • KR1020060033575
    • 2006-04-13
    • 후지쯔 가부시끼가이샤
    • 소네다히로미츠미샤오유오쿠다히사오츠보이오사무고우마노리나오우에다사토시
    • H01L31/00H01L31/02
    • G02B6/357G02B6/3518G02B6/3556G02B6/3584Y10S359/90
    • 본 발명은 효율적으로 제조하기에 적합한 마이크로 가동 소자 및 광 스위칭 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
      본 발명의 마이크로 가동 소자(X)는 예를 들면, 프레임, 요동 동작이 가능한 가동부, 상기 프레임 및 가동부를 연결하는 토션(torsion) 연결부, 및, 요동 동작을 위한 구동력을 발생시키기 위한 액추에이터를 각각이 구비하는 복수의 마이크로 가동 유닛이 각각에서 일체적으로 형성되어 있는 복수의 마이크로 가동 기판(10)과, 내부 배선 구조를 갖는 패키지 베이스(20)와, 마이크로 가동 기판(10)에서의 하나의 마이크로 가동 유닛 및 패키지 베이스(20)의 사이에 개재하여, 상기 하나의 마이크로 가동 유닛의 액추에이터 및 내부 배선 구조를 전기적으로 각각이 접속하는 복수의 도전 연락부(30)를 구비한다. 본 발명의 광 스위칭 장치는 예를 들면, 이러한 마이크로 가동 소자(X)를 복수개 구비한다.
      광 스위칭 장치, 마이크로 미러 유닛, 빗살 전극, 패키지 베이스
    • 微型可移动元件包括微型可移动基板,封装基座和导电连接器。 微型可移动基板设置有微型可动单元,其包括框架,可枢转运动部分,连接框架和可移动部分的扭转连接器以及用于产生用于可动部分的枢转运动的驱动力的致动器。 封装基座包括内部互连结构。 导电连接器设置在微移动基板和封装基座之间,用于将致动器和内部互连结构彼此电连接。