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    • 5. 发明公开
    • 전하검출소자
    • KR1019950007039A
    • 1995-03-21
    • KR1019930015202
    • 1993-08-05
    • 현대반도체 주식회사
    • 우야신지
    • H01L21/339
    • 본 발명은 전하검출소자에 관한 것으로, 미소한 신호전하를 높은 감도로 검출하기 위해 매몰형의 전하감지채널과 표면형의 플로팅 표면채널이 입체적으로 교차하고, 상기 전하감지채널내의 전하량에 대응하여 상기 플로팅 표면채널의 표면전위가 변동하는 구조를 갖춘 전하검출소자에 있어서, 상기 매몰형의 전하감지채널(5) 표면에 상기 전하감지채널과 반대 도전형의 영역(6)을 갖추고 있고, 상기 플로팅 표면채널의 소오스(16) 및 드레인(17)과 상기 전하감지채널(5) 사이에 표면이 반전 가능한 매몰채널분리영역(2)을 갖추고 있으며, 상기 플로팅 표면채널과 상기 전하감지채널의 캐리어가 동일 부호의 전하인 것을 특징으로 하는 전하검출소자를 제공한다.
      이에 따라 암전류 문제가 해결되고, 암전류에 기인하는 숏노이즈가 저감됨으로써 감도 높은 전하검출소자가 실현된다.
    • 9. 发明授权
    • 전하 전송장치 및 고체 촬상장치
    • 充电传输装置和固态图像拍摄装置
    • KR1019960002645B1
    • 1996-02-24
    • KR1019920005608
    • 1992-04-03
    • 현대반도체 주식회사
    • 우야신지이서규
    • H01L27/148
    • H01L29/1062H01L27/14831
    • A charge transfer path of double-layer structure is obtained by forming a surface channel region (9) on a buried channel region (3) in the semiconductor substrate (1). The surface channel region has an opposite conductivity with respect to the buried channel region. The surface channel region of the double-layer structure serves for carrying away a dark current generated at the boundary faces between the substrate and a gate insulating film, when the buried channel region serves for transmission of optical signal charges. When negative and/or positive driver voltages are applied to the transfer electrodes, this does not result in an increase of the dark current. The device for CCD systems, has high signal-noise ratio.
    • 通过在半导体衬底(1)中的掩埋沟道区(3)上形成表面沟道区(9),获得双层结构的电荷转移路径。 表面沟道区相对于掩埋沟道区具有相反的导电性。 当掩埋沟道区域用于传输光信号电荷时,双层结构的表面沟道区域用于带走在衬底和栅极绝缘膜之间的边界面处产生的暗电流。 当负极和/或正驱动器电压施加到转移电极时,这不会导致暗电流的增加。 CCD系统装置具有较高的信噪比。