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热词
    • 2. 发明公开
    • 자기휘저음을 통한 구리 박막 무전해 도금 방법
    • 通过磁棒搅拌的铜膜电沉积方法
    • KR1020160050461A
    • 2016-05-11
    • KR1020140148605
    • 2014-10-29
    • 한밭대학교 산학협력단
    • 나사균이연승
    • C23C18/16C23C18/38
    • C23C18/16C23C18/38
    • 본발명은니켈촉매제가포함된도금액에서무전해도금에의해형성하면서도저저항구리배선을형성할수 있는방법에관한것으로서, 니켈촉매제가포함된구리무전해도금액을준비하는단계, 구리박막을형성하고자하는기판을상기도금액에침지하는단계, 및상기도금액을자기휘저음하면서구리박막을형성하는단계를포함하는것을특징으로한다. 이러한구성에의하면, 도금액에포함된니켈이구리박막내에함유되는것이억제되어, 저항이낮으면서도표면거칠기특성이우수한구리박막을형성할수 있는효과가있다.
    • 本发明涉及一种通过在包含镍催化剂的电镀溶液中通过无电镀形成低电阻铜布线的方法,包括以下步骤:制备包含镍催化剂的铜化学镀溶液的步骤; 在电镀液中浸渍需要形成铜膜的基板的工序; 以及通过在电镀液中进行磁棒搅拌而形成铜膜的工序。 根据本发明,可以防止包含在电镀液中的镍被包含在铜膜中,并且可以形成具有低电阻但具有优异的表面粗糙度特性的铜膜。
    • 3. 发明授权
    • 고방열성 금속 방열기판을 사용한 메탈기판의 전도층 형성방법
    • 制备导电层金属板的方法
    • KR101380774B1
    • 2014-04-24
    • KR1020120127850
    • 2012-11-13
    • 한밭대학교 산학협력단
    • 나사균이연승김동규
    • H05K7/20H01L33/64
    • H05K3/12H05K1/021H05K3/002
    • Disclosed is a method of forming a conductive layer of a metal substrate using a metal heat dissipation substrate with high heat dissipation. The present invention comprises a step of forming an anodizing film as an insulation layer on at least one surface of one metal heat dissipation board selected from aluminum, aluminum alloys, magnesium, and magnesium alloys by adopting an anodic oxidation method; a step of forming a paste metal layer on the anodizing film with a printing method and solidifying the paste metal layer by heat treatment; a step of forming a cross-section in a thin semi-elliptical shape by using a chemical etching method using a paste washing solution for the irregular cross-section of the solidified paste metal layer; and a step of performing drying after the chemical etching process.
    • 公开了使用具有高散热性的金属散热基板形成金属基板的导电层的方法。 本发明包括通过采用阳极氧化法在选自铝,铝合金,镁和镁合金的一个金属散热板的至少一个表面上形成阳极氧化膜作为绝缘层的步骤; 通过印刷方法在阳极氧化膜上形成糊状金属层并通过热处理固化糊状金属层的步骤; 通过使用糊状洗涤液对固化的糊状金属层的不规则的截面进行化学蚀刻,形成薄的半椭圆形的截面的工序; 以及在化学蚀刻处理之后进行干燥的步骤。