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1. 发明授权

KR102238755B1 전력 반도체 소자의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR102238755B1
公开(公告)日：2021-04-12
申请号：KR1020170086652
申请日：2017-07-07
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 노태문 , 구진근 , 김상기 , 임병원 , 박건식 , 박종문 , 유성욱
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/324 , H01L21/225
摘要： 본발명은전력반도체소자의제조방법에관한것으로, 기판의상부에이온주입영역및 이온주입영역의적어도일부를둘러싸는가드링영역을형성하는것, 기판상에이온주입영역및 가드링영역을덮는제1 절연막을형성하는것, 제1 절연막을열처리하는것 및제1 절연막상에제1 절연막보다두꺼운제2 절연막을형성하는것을포함하되, 기판은실리콘카바이드를포함하고, 열처리는질소(N) 원소를포함하는가스를이용하여수행되는전력반도체소자의제조방법이제공된다.

2. 发明授权

KR101804254B1 능동 무선 전력 장치 및 그 방법 有权
标题翻译：有源无线功率器件及其方法
公开(公告)号：KR101804254B1
公开(公告)日：2017-12-04
申请号：KR1020110134949
申请日：2011-12-14
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 박지만 , 도이미 , 백규하 , 박건식 , 강진영 , 김동표 , 정예슬
IPC分类号： H02J50/00 , H04B5/00
摘要： 능동무선전력장치는무선통신장치예를들어, 무선센서장치나무선센서태그등에소정시간동안발사되는빛이나레이저또는소정주파수의무선신호를수신하고, 수신되는신호를충전하여소정레벨의전압신호를생성한다. 생성된전압신호는무선전력장치의바이어스전원과더불어무선통신장치를동작모드로전환시킨다.
摘要翻译：有源无线电力设备从无线通信设备（例如，无线传感器设备或无线传感器标签）接收发射预定时间的预定频率的光，激光或无线电信号，对接收到的信号进行充电，它产生。所产生的电压信号与无线电力设备的偏压电源一起使无线通信设备进入工作模式。

3. 发明授权

KR101302564B1 비아 형성 방법 및 이를 이용하는 적층 칩 패키지의 제조 방법 有权
标题翻译：形成通孔的方法及其制造芯片堆叠封装的方法
公开(公告)号：KR101302564B1
公开(公告)日：2013-09-02
申请号：KR1020090102999
申请日：2009-10-28
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 김동표 , 백규하 , 박건식 , 도이미
IPC分类号： H01L21/288 , H01L21/60 , H01L23/48 , H01L23/12
CPC分类号： H01L21/76898 , H01L23/3128 , H01L24/03 , H01L24/05 , H01L24/16 , H01L25/0657 , H01L25/50 , H01L2224/0401 , H01L2224/0557 , H01L2224/05599 , H01L2224/13025 , H01L2224/16147 , H01L2224/16237 , H01L2224/81141 , H01L2224/81191 , H01L2225/06513 , H01L2225/06517 , H01L2225/06541 , H01L2924/00014 , H01L2924/0002 , H01L2924/01006 , H01L2924/01014 , H01L2924/01022 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/0105 , H01L2924/01073 , H01L2924/01074 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/04941 , H01L2924/10253 , H01L2924/15311 , H01L2924/15788 , H01L2224/05552 , H01L2924/00
摘要： 비아 형성 방법이 제공된다. 상기 비아 형성 방법은 기판 내에 비아홀을 형성하는 것을 포함한다. 상기 비아홀을 갖는 기판을 제1 용액에 담궈 상기 비아홀을 상기 제1 용액으로 채운다. 상기 기판이 담긴 상기 제1 용액에 금속 입자를 함유하는 제2 용액을 제공하여 상기 비아홀에 금속 입자를 침강시킨다. 상기 금속 입자로 채워진 상기 비아홀을 갖는 기판에 대하여 열처리하는 제1 경화(curing) 공정을 수행하여 상기 비아홀 내에 비아를 형성한다. 아울러, 이를 이용하는 적층 칩 패키지의 제조 방법이 제공된다.
비아, 적층 칩 패키지

4. 发明公开

KR1020120062255A 인쇄용 원판 및 그 복사판 无效
标题翻译：印版及其镜像
公开(公告)号：KR1020120062255A
公开(公告)日：2012-06-14
申请号：KR1020100123442
申请日：2010-12-06
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 김주연 , 백규하 , 도이미 , 박지만 , 박건식 , 김진식 , 김동표 , 정예슬
IPC分类号： B41N1/00 , B41N1/12 , B41C1/10
CPC分类号： B41N1/00 , B29D11/00596 , G02B5/0816 , Y10T29/49
摘要： PURPOSE: A printing plate and a replica plate for the same are provided to simplify operational processes by using an original plate with different surface structures and surface energy. CONSTITUTION: A printing plate(100) includes a printing part(110) and a non-printing part(120). The printing part is flat and transfers a dropped solution. The non-printing part includes at least two irregular parts(122). The irregular parts are triangular, rectangular, or semi-circular. The surface energy of the irregular parts is determined based on the sizes, the shapes, the depths, and the gaps of the irregular parts and based on the texture of the printing plate. The printing plate includes at least one of silicon, glass, quartz, organic materials, and inorganic materials.
摘要翻译：目的：提供印版和复印板，以通过使用具有不同表面结构和表面能的原版来简化操作过程。构成：印版（100）包括印刷部（110）和非印刷部（120）。打印部分是平的，传送一个下降的解决方案。非印刷部分包括至少两个不规则部分（122）。不规则部分是三角形，矩形或半圆形。基于不规则部分的尺寸，形状，深度和间隙，并根据印刷版的纹理来确定不规则部分的表面能。印版包括硅，玻璃，石英，有机材料和无机材料中的至少一种。

5. 发明公开

KR1020120035829A 비어 전극의 제조방법 审中-实审
标题翻译：通过电极制造的方法
公开(公告)号：KR1020120035829A
公开(公告)日：2012-04-16
申请号：KR1020110011565
申请日：2011-02-09
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 김동표 , 백규하 , 박건식 , 박지만 , 김진식 , 김주연 , 정예슬 , 도이미
IPC分类号： H01L21/768 , H01L21/02 , C01B31/04 , H01L21/48
CPC分类号： H01L21/76877 , C01B32/20 , H01L21/02063 , H01L21/02601 , H01L21/486 , H01L21/76831
摘要： PURPOSE: A via electrode manufacturing method is provided to increase production yield by preventing faults in a void or a core on a graphene layer within a via-hole. CONSTITUTION: A via-hole(102) is formed on a substrate. A catalyst layer(104) is formed on a sidewall and a floor of the via-hole. The catalyst layer is exposed to a solution in which graphene particles are mixed. A graphene layer is formed within the via-hole. An insulating film(103) is formed between the catalyst layer and the via-hole.
摘要翻译：目的：提供一种通孔电极制造方法，通过防止通孔内的石墨烯层上的空隙或芯体中的缺陷来提高产量。构成：在基板上形成通孔（102）。催化剂层（104）形成在通孔的侧壁和地板上。将催化剂层暴露于石墨烯颗粒混合的溶液中。在通孔内形成石墨烯层。在催化剂层和通孔之间形成绝缘膜（103）。

6. 发明公开

KR1020120026729A 보완 패턴이 포함된 프린팅용 요판 无效
标题翻译： INTAGLIO印刷版，包括补充图案
公开(公告)号：KR1020120026729A
公开(公告)日：2012-03-20
申请号：KR1020100088790
申请日：2010-09-10
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 정예슬 , 백규하 , 도이미 , 박지만 , 박건식 , 김동표 , 김진식 , 김주연
IPC分类号： B41N1/06 , B41M1/10
摘要： PURPOSE: An intaglio printing plate having supplementary patterns is provided to uniformly fill patterns of the printing plate with ink regardless of the direction of the patterns. CONSTITUTION: An intaglio printing plate having supplementary patterns comprises patterns(100) and one or more supplementary patterns(401,402). The supplementary patterns are arranged within the area of the patterns and have shapes different from the shapes of the patterns. The shape, depth, width, and height of the supplementary patterns can be adjusted.
摘要翻译：目的：提供具有辅助图案的凹版印刷版，以均匀地填充印刷图案的图案，而不管图案的方向。构成：具有补充图案的凹版印刷版包括图案（100）和一个或多个辅助图案（401,402）。辅助图案被布置在图案的区域内并且具有与图案的形状不同的形状。可以调整辅助图案的形状，深度，宽度和高度。

7. 发明公开

KR1020120025407A 액정 표시 장치 无效
标题翻译：液晶显示器
公开(公告)号：KR1020120025407A
公开(公告)日：2012-03-15
申请号：KR1020110086469
申请日：2011-08-29
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 박건식 , 백규하 , 도이미
IPC分类号： G02F1/1335 , G02B5/30
CPC分类号： G02F1/133528 , G02B5/3058 , G02F2001/133548
摘要： PURPOSE: A liquid crystal display device is provided to replace an expensive transparent electrode with a metal pattern electrode. CONSTITUTION: A liquid crystal display device includes a thin film transistor substrate(100), a color filter substrate(200), and a liquid crystal layer. The color filter substrate faces the thin film transistor substrate. The liquid crystal layer is located between the thin film transistor substrate and the color filter substrate. Grid polarization patterns are formed on the thin film transistor substrate and the color filter substrate.
摘要翻译：目的：提供液晶显示装置以用金属图案电极代替昂贵的透明电极。构成：液晶显示装置包括薄膜晶体管基板（100），滤色器基板（200）和液晶层。滤色器基板面向薄膜晶体管基板。液晶层位于薄膜晶体管基板和滤色器基板之间。栅极偏振图案形成在薄膜晶体管基板和滤色器基板上。

8. 发明授权

KR101087141B1 플라즈마 처리 장치에서의 기판 디척킹 방법 失效
标题翻译：用于在等离子体处理装置中去除衬底的方法
公开(公告)号：KR101087141B1
公开(公告)日：2011-11-25
申请号：KR1020080131603
申请日：2008-12-22
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 우종창 , 김용구 , 김상기 , 박종문 , 박건식 , 구진근 , 강진영
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/687
摘要： 본 발명은 디척킹 능력을 증강시키고 디척킹 불량의 발생을 방지할 수 있는 플라즈마 처리 장치에서의 기판 디척킹 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 기판 디척킹 방법은, 정전압의 척킹 전압에 의해 정전척 상에 유지된 기판에 대한 플라즈마 처리 완료후, 플라즈마 발생을 중단시키고, 상기 정전척에 제1 역전압을 인가하는 단계; 상기 정전척에의 상기 제1 역전압 인가를 중단시키는 중간 턴오프 단계; 상기 중간 턴오프 단계 후, 상기 정전척에 상기 제1 역전압보다 작은 크기의 제2 역전압을 인가하는 단계; 및 상기 정전척에의 상기 제2 역전압 인가를 중단시키고 상기 기판을 접지시키는 접지 단계;를 포함한다.
플라즈마 식각, 디척킹, 리프트 핀

9. 发明公开

KR1020110069288A 관통형 실리콘 비아 형성 방법 无效
标题翻译：通过硅的制造方法
公开(公告)号：KR1020110069288A
公开(公告)日：2011-06-23
申请号：KR1020090125961
申请日：2009-12-17
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 김동표 , 박건식 , 박지만 , 도이미 , 백규하
IPC分类号： H01L21/306
CPC分类号： H01L21/76802 , H01L21/7621
摘要： PURPOSE: A method for forming a through silicon via is provided to prevent the performance deterioration of a device after a final packaging process by obtaining a uniform step coverage when a dielectric layer, a diffusion preventing layer, and a seed layer are deposited. CONSTITUTION: A via is formed on a silicon substrate by etching the silicon substrate(10). A part of a scallop on the sidewall of the via is removed(20). The surface of the scallop is oxidized(30). The scallop is removed by etching an oxide layer formed on the surface of the scallop(40).
摘要翻译：目的：提供一种用于形成贯通硅通孔的方法，以防止在最终封装过程中器件的性能恶化，通过在沉积介电层，扩散防止层和籽晶层时获得均匀的台阶覆盖。构成：通过蚀刻硅衬底（10）在硅衬底上形成通孔。通孔的侧壁上的扇贝的一部分被去除（20）。扇贝的表面被氧化（30）。通过蚀刻形成在扇贝（40）的表面上的氧化物层来除去扇贝。

10. 发明公开

KR1020100065766A 자기정렬에 의한 유기박막 트랜지스터 제조 방법 有权
标题翻译：通过自对准制造有机薄膜晶体管的方法
公开(公告)号：KR1020100065766A
公开(公告)日：2010-06-17
申请号：KR1020080124277
申请日：2008-12-08
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 박종문 , 박건식 , 유성욱 , 윤용선 , 김상기 , 강승열 , 구진근 , 김보우 , 강진영
IPC分类号： H01L29/786
CPC分类号： H01L51/0021 , H01L51/0545 , H01L51/105
摘要： PURPOSE: A method of manufacturing an organic thin-film transistor by self alignment is provided to improve device performance and production yield by preventing the misalignment between a gate and a source-drain electrode. CONSTITUTION: A sensitive film and a photo-bleaching film are laminated on a gate insulating layer. The sensitive film(104a) at a field region is selectively exposed through an exposure process. The photo-bleaching film(105) is removed, and the sensitive film on the gate electrode and the sensitized filed region has inverse pattern. And then, the exposure process over the whole region is performed, and the sensitive film of the source and drain region which has no inverse pattern is sensitized.
摘要翻译：目的：提供通过自对准制造有机薄膜晶体管的方法，以通过防止栅极和源极 - 漏极之间的不对准来提高器件性能和生产率。构成：在栅绝缘层上层压感光膜和光漂白膜。场区域的敏感膜（104a）通过曝光工艺选择性曝光。去除光漂白膜（105），栅极电极和敏化区域上的敏感膜具有反向图案。然后，进行整个区域的曝光处理，并且没有反向图案的源极和漏极区域的敏感膜被致敏。

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