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    • 7. 发明公开
    • 대상체의 표면과 내부 구조를 동시에 관찰 가능한 하이브리드 현미경
    • 混合显微镜同时观察目标样品的表面和内部结构
    • KR1020110119436A
    • 2011-11-02
    • KR1020100039145
    • 2010-04-27
    • 한국전기연구원주식회사 엘에스텍
    • 김종욱최해영조은주윤면근김종배
    • G01B9/04G01N23/04G21K7/00G01B11/24
    • PURPOSE: A hybrid microscope, which enables a user to simultaneously monitor an inside and surface of a object material, is provided to supply the images, which are taken in all different methods, in a display screen. CONSTITUTION: A hybrid microscope comprises a radiation light source(120), a confocal microscope(130), a specimen support(121) and a radiation detector(122). A radiation light source installed at the end of each arm which is combined in each combining member mounted on a fixed axis(111). The radiation detector detects a video signal and to rotate each arm. The radiation light source and specimen support are located on the location of the radiation detector. The radiation is radiated to an object on the specimen support from the radiation light source.
    • 目的:提供使用户能够同时监视对象材料的内部和表面的混合显微镜,以将所有不同方法中的图像以显示屏提供。 构成:混合显微镜包括辐射光源(120),共焦显微镜(130),样本支架(121)和辐射探测器(122)。 安装在每个臂的端部处的辐射光源,其组合在安装在固定轴线(111)上的每个组合构件中。 辐射检测器检测视频信号并旋转每个臂。 辐射光源和样品支架位于辐射探测器的位置。 辐射从辐射光源照射到样品支架上的物体上。
    • 10. 发明授权
    • 대상체의 표면과 내부 구조를 동시에 관찰 가능한 하이브리드 현미경
    • 混合显微镜同时观察目标样品的表面和内部结构
    • KR101202977B1
    • 2012-11-20
    • KR1020100039145
    • 2010-04-27
    • 한국전기연구원주식회사 엘에스텍
    • 김종욱최해영조은주윤면근김종배
    • G01B9/04G01N23/04G21K7/00G01B11/24
    • 본 발명은 스케일이 서로 다른 두 가지 영상 획득 방식(방사선 모드와 공초점 현미경 이용 모드)을 조합하여 방사선 영상으로부터의 대상체의 내부 구조에 이상이 있는 부분을 즉시 공초점 현미경으로 확대하여 표면 관찰이 용이하게 이루어질 수 있는 하이브리드 현미경에 관한 것이다. 본 발명의 일면에 따른 하이브리드 현미경은, 고정축에 장착된 각각의 결합수단에 결합되고 회전되는 각각의 암의 끝에 설치된 방사선 광원, 공초점 현미경 및 시편 지지대를 포함하고, 방사선을 감지하여 영상 신호를 생성하는 방사선 검출기를 포함하며, 제1 모드(방사선 모드)에서, 상기 고정축을 중심으로 상기 각각의 암을 회전시켜 상기 방사선 검출기의 위치로 상기 방사선 광원 및 상기 시편 지지대를 정렬하여, 상기 방사선 광원에서 발생한 방사선을 상기 시편 지지대 상의 대상체로 조사하고 상기 방사선 검출기를 이용해 상기 대상체를 투과한 투과 방사선을 감지하여 상기 대상체의 내부 구조에 대한 영상 신호를 획득하고, 제2 모드(공초점 현미경 이용 모드)에서, 상기 고정축을 중심으로 상기 각각의 암을 회전시켜 상기 시편 지지대의 위치 로 상기 공초점 현미경을 정렬하여, 상기 공초점 현미경에서 발생한 레이저 광을 상기 시편 지지대 상의 대상체로 조사하고 상기 대상체에서 반사되는 레이저 광을 상기 공초점 현미경에서 검출하여 상기 대상체의 표면 상태에 대한 영상 신호를 획득할 수 있다.