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1. 发明授权

KR101094186B1 반도체 공정용 히터 자켓 有权
标题翻译：加热夹套半导体加工
公开(公告)号：KR101094186B1
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：KR1020090121701
申请日：2009-12-09
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 남대근 , 장재호 , 강남현 , 홍정표 , 조형호
IPC分类号： H01L21/324 , H01L21/02
摘要： 반도체 공정용 히터 자켓이 개시(disclosure)된다. 일 실시 예에 있어서, 반도체 공정용 가스 배관과 외부를 단열하는 러버(rubber), 상기 러버의 양단에 각각 부착되어 고정되고 날개, 몸체부, 머리를 각각 포함하는 1쌍의 체결구 및 상기 1쌍의 체결구의 머리끼리 밀착시켜 결합하는 슬라이딩 캡을 포함하는 적어도 하나의 체결장치를 포함하되, 상기 날개는 원주(圓周)형으로 구부러져 있고 상기 러버의 양단에 각각 부착되고, 상기 몸체부는 상기 날개를 고정하여 지지하고, 상기 머리는 상기 몸체부 위에 돌출되어 있고, 상기 1쌍의 체결구는 마주 보고 있고, 상기 슬라이딩 캡은 상기 1쌍의 체결구를 밀착시켜 상기 머리 위에 슬라이드 방식으로 끼워져 상기 1쌍의 체결구가 서로 떨어지지 않도록 하여 반도체 공정용 히터 자켓을 상기 배관에 밀착, 고정시킬 수 있다.

2. 发明授权

KR101849636B1 MSO코일의 제조방법 및 제조장치 有权
公开(公告)号：KR101849636B1
公开(公告)日：2018-05-31
申请号：KR1020160164319
申请日：2016-12-05
申请人： 한국생산기술연구원 , 한양대학교 산학협력단
发明人： 이의천 , 권순오 , 이호영 , 이수웅 , 이강원 , 조정우 , 안희경 , 홍정표
IPC分类号： H01F41/04 , H01F27/28
CPC分类号： H01F27/28 , H01F41/041 , H01F2027/2809
摘要： 본발명은동일한구조대비상대적으로높은점적율을가지며코일층을형성하는코일의각 턴당 전기저항이균일하여저발열및 고효율의성능을가질뿐만아니라, 로터및 스테이터에조립이용이하여생산력또한우수한 MSO코일의제조방법및 제조장치에관한것으로, 양단이서로마주보는고리형태의단위코일층의일부분에절곡면을형성시켜, 상기단위코일층의양단에고저차를주는프레싱단계와, 상기절곡면이형성된단위코일층의양단중 일단이상기절곡면이형성된다른단위코일층의양단중 타단과접촉되도록, 상기절곡면이형성된복수개의단위코일층을서로연결하여고정시키는고정단계및 서로연결되어고정된복수개의단위코일층각각의일단과타단이접촉되어있는연결부위를접합시키는접합단계를포함하는 MSO코일의제조방법이개시된다. 또한, 상기단위코일층이놓여지는일면중 상기절곡면이형성될상기단위코일층의일부분에대응되는부분이미리설정된기울기를갖고함몰형성되어, 외력에의해상기단위코일층에압력이가해지면상기단위코일층의일부분에상기절곡면을형성시키는프레스지그와, 상기절곡면이형성된복수개의단위코일층이상기절곡면의기울기만큼서로간격을두고연결될수 있도록, 상기복수개의단위코일층사이에각각삽입되어상기복수개의단위코일층을지지하는고정지그및 상기고정지그에의해서로연결되어고정된상기복수개의단위코일층의일단과타단이접촉되어있는연결부위를용접시키는용접기를포함하는 MSO코일의제조장치가개시된다.

3. 发明公开

KR1020110064920A 반도체 공정용 히터 자켓 有权
标题翻译：加热器用于半导体加工
公开(公告)号：KR1020110064920A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：KR1020090121701
申请日：2009-12-09
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 남대근 , 장재호 , 강남현 , 홍정표 , 조형호
IPC分类号： H01L21/324 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67103 , H01L21/67248
摘要： PURPOSE: A heater jacket for semiconductor manufacturing processes is provided to secure a firm combination between the heater jacket and a gas pipe by adjacently arranging one end part and another end part of a rubber and respectively combining a pair of combining holes with a sliding cap. CONSTITUTION: A rubber(420) thermally insulates a gas pipe from the outside. A combining unit(200) is combined with the outer circumference of the rubber. The combining unit includes a pair of combining holes and a sliding cap. A hotwire pad(410) is attached to the inner circumference of the rubber. A temperature controller(430) is electrically connected with the hotwire(405) of the hotwire pad and controls a heating operation with respect to the hotwire.
摘要翻译：目的：提供一种用于半导体制造工艺的加热器护套，用于通过相邻地布置橡胶的一个端部和另一个端部，并分别组合一对组合孔和滑动盖来确保加热器套和气体管之间的牢固组合。构成：橡胶（420）将气体管与外部热绝缘。组合单元（200）与橡胶的外圆周组合。组合单元包括一对组合孔和滑盖。一个热线焊盘（410）附着在橡胶的内圆周上。温控器（430）与热线焊盘的热线（405）电连接，并控制相对于热丝的加热操作。

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