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1. 发明公开

KR1020110064920A 반도체 공정용 히터 자켓 有权
标题翻译：加热器用于半导体加工
公开(公告)号：KR1020110064920A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：KR1020090121701
申请日：2009-12-09
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 남대근 , 장재호 , 강남현 , 홍정표 , 조형호
IPC分类号： H01L21/324 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67103 , H01L21/67248
摘要： PURPOSE: A heater jacket for semiconductor manufacturing processes is provided to secure a firm combination between the heater jacket and a gas pipe by adjacently arranging one end part and another end part of a rubber and respectively combining a pair of combining holes with a sliding cap. CONSTITUTION: A rubber(420) thermally insulates a gas pipe from the outside. A combining unit(200) is combined with the outer circumference of the rubber. The combining unit includes a pair of combining holes and a sliding cap. A hotwire pad(410) is attached to the inner circumference of the rubber. A temperature controller(430) is electrically connected with the hotwire(405) of the hotwire pad and controls a heating operation with respect to the hotwire.
摘要翻译：目的：提供一种用于半导体制造工艺的加热器护套，用于通过相邻地布置橡胶的一个端部和另一个端部，并分别组合一对组合孔和滑动盖来确保加热器套和气体管之间的牢固组合。构成：橡胶（420）将气体管与外部热绝缘。组合单元（200）与橡胶的外圆周组合。组合单元包括一对组合孔和滑盖。一个热线焊盘（410）附着在橡胶的内圆周上。温控器（430）与热线焊盘的热线（405）电连接，并控制相对于热丝的加热操作。

2. 发明授权

KR100751301B1 아연도금강판에 대한 레이저-아크 하이브리드 용접방법 및이의 용접장치 失效
标题翻译： ZANC GALVANIZING SHEET钢的激光弧混合焊接方法和系统
公开(公告)号：KR100751301B1
公开(公告)日：2007-08-23
申请号：KR1020050129633
申请日：2005-12-26
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 최웅용 , 김철희 , 강남현 , 이창우 , 김정한
IPC分类号： B23K26/04
摘要： 본 발명은 아연도금강판에 대한 레이저-아크 하이브리드 용접방법 및 이의 용접장치에 관한 것으로, 복수의 아연강판을 용접 위치로 정렬한 후 상기 아연강판의 용접부위에 대해 레이저-아크 하이브리드 용접장치를 이용하여 아크방전을 선행하고, 이에 연속하여 레이저 용접을 후행하는 것으로, 아크방전에 의해 아연을 증발시킨 후 레이저 용접을 수행함으로써 스패터의 발생 및 기공과 블로우 홀의 발생을 방지할 수 있게 된다.
레이저, 아크, 하이브리드, 용접

3. 发明授权

KR100656682B1 레이저-회전아크 하이브리드 용접장치 및 이를 이용한용접방법 有权
标题翻译： 레이저 - 회전아크하이브드드용접장치및이를이용한용접방
公开(公告)号：KR100656682B1
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：KR1020050129626
申请日：2005-12-26
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 김철희 , 강남현 , 김준기 , 이창우
IPC分类号： B23K26/04
摘要： A system for laser-rotary arc hybrid welding which can perform welding without controlling height of a torch relative to a gap of 1.5 mm to 2 mm or less during welding of a galvanized steel sheet, and can reduce welding defects such as undercut by improving fluidity of a weld pool according to rotation of an arc discharge part, and a method for laser-rotary arc hybrid welding using the same are provided. A system for laser-rotary arc hybrid welding comprises: an arc discharge part(2) for discharging an arc relative to a welding portion; a laser generation part(4) for irradiating a laser onto the welding portion; and a rotation unit(24) for rotating the arc discharge part. The rotation unit comprises a motor(244) installed within a prescribed case(242) and a bearing plate(248) connected to a shaft(246) of the motor, and the arc discharge part is installed such that the arc discharge part is deflected from the center of the bearing plate. The arc discharge part is an MIG(metal inert gas) torch for performing arc welding. The laser generation part comprises a laser irradiator(44) installed perpendicularly to a prescribed bracket(42). The rotation unit is installed such that a central point of rotation radius of the rotation unit is formed in front of the laser generation part and directed toward a welding proceeding direction.
摘要翻译：一种用于激光旋转电弧复合焊接的系统，其能够在镀锌钢板的焊接期间相对于1.5mm至2mm或更小的间隙控制焊炬的高度而不进行焊接高度，并且可以通过改善流动性来减少诸如底切之类的焊接缺陷根据电弧放电部件的旋转而产生的熔池的方法以及使用该方法的激光旋转电弧混合焊接的方法。一种用于激光 - 旋转电弧混合焊接的系统，包括：用于相对于焊接部分放电弧的电弧放电部分（2）激光产生部分（4），用于将激光照射到焊接部分上; 以及用于旋转电弧放电部件的旋转单元（24）。旋转单元包括安装在指定壳体（242）内的马达（244）和连接到马达的轴（246）的支承板（248），并且电弧放电部分被安装为使得电弧放电部分被偏转从轴承板的中心。电弧放电部件是用于执行电弧焊接的MIG（金属惰性气体）焊炬。激光产生部分包括垂直于预定支架（42）安装的激光照射器（44）。旋转单元被安装为使得旋转单元的旋转半径的中心点形成在激光产生部分的前方并指向焊接前进方向。

4. 发明授权

KR101094186B1 반도체 공정용 히터 자켓 有权
标题翻译：加热夹套半导体加工
公开(公告)号：KR101094186B1
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：KR1020090121701
申请日：2009-12-09
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 남대근 , 장재호 , 강남현 , 홍정표 , 조형호
IPC分类号： H01L21/324 , H01L21/02
摘要： 반도체 공정용 히터 자켓이 개시(disclosure)된다. 일 실시 예에 있어서, 반도체 공정용 가스 배관과 외부를 단열하는 러버(rubber), 상기 러버의 양단에 각각 부착되어 고정되고 날개, 몸체부, 머리를 각각 포함하는 1쌍의 체결구 및 상기 1쌍의 체결구의 머리끼리 밀착시켜 결합하는 슬라이딩 캡을 포함하는 적어도 하나의 체결장치를 포함하되, 상기 날개는 원주(圓周)형으로 구부러져 있고 상기 러버의 양단에 각각 부착되고, 상기 몸체부는 상기 날개를 고정하여 지지하고, 상기 머리는 상기 몸체부 위에 돌출되어 있고, 상기 1쌍의 체결구는 마주 보고 있고, 상기 슬라이딩 캡은 상기 1쌍의 체결구를 밀착시켜 상기 머리 위에 슬라이드 방식으로 끼워져 상기 1쌍의 체결구가 서로 떨어지지 않도록 하여 반도체 공정용 히터 자켓을 상기 배관에 밀착, 고정시킬 수 있다.

5. 发明公开

KR1020060044440A 초경합금 분말을 충진한 하드페이싱용 메탈코어드용접와이어 失效
标题翻译：用硬质合金粉末填充的硬面金属芯焊丝
公开(公告)号：KR1020060044440A
公开(公告)日：2006-05-16
申请号：KR1020050022825
申请日：2005-03-18
申请人： 한국생산기술연구원 , 세화엔지니어링 주식회사
发明人： 김정한 , 김준기 , 김철희 , 강남현
IPC分类号： B23K35/22 , C22C38/12
摘要： 본 발명은 텅스텐탄화물의 함량이 50~90 wt.%인 초경합금 분말과 철계 스트립을 사용하여 메탈코어드 용접와이어를 제조하는 것으로, 와이어에서 텅스텐탄화물의 유효함량이 22.5~33.3 wt.%인 것을 특징으로 한다.
상기의 용접와이어로 하드페이싱한 육성용접층은 10~30 vol.%의 텅스텐탄화물 분산상과 오스테나이트를 주성분으로 하는 기지상으로 이루어진 아공정 미세조직을 특징으로 하며, 45~55 HRC의 경도를 나타내지만 적정량의 고경도 분산상과 기지상의 변형유기상변태로 인해 내마모성이 뛰어나다.
육성용접, 하드페이싱, 용접와이어, 메탈코어드, 텅스텐탄화물, 내마모성
摘要翻译：本发明的特征在于，碳化钨的含量为50〜90％（重量）的是通过使用硬质合金粉末和用于制造金属芯焊丝，该碳化钨的有效含量22.5〜33.3％（重量）在该线的铁系条它应。

6. 发明授权

KR100628831B1 초경합금 분말을 충진한 하드페이싱용 메탈코어드용접와이어 失效
标题翻译：金属硬化焊丝与硬金属粉末填充
公开(公告)号：KR100628831B1
公开(公告)日：2006-09-27
申请号：KR1020050022825
申请日：2005-03-18
申请人： 한국생산기술연구원 , 세화엔지니어링 주식회사
发明人： 김정한 , 김준기 , 김철희 , 강남현
IPC分类号： B23K35/22 , C22C38/12
摘要： 본 발명은 텅스텐탄화물을 18~30 wt%, Mo+Si를 5~10 wt%, 잔부가 Fe 및 기타 불가피한 불순물로 구성된 것을 특징으로 한다.
이와 같은 구성의 본원발명에 따르면, 제조단가가 저렴하면서 우수한 내마모성을 갖는 하드페이싱 용접재료의 제조가 가능하며, 또한 용접시 인체에 유해한 크롬 증기가 발생하지 않기 때문에 작업환경의 개선 효과가 뛰어나다.
육성용접, 하드페이싱, 용접와이어, 메탈코어드, 텅스텐탄화물, 내마모성

7. 发明授权

KR100628828B1 충격 마모저항성이 우수한 초경합금 코어드 용접와이어 失效
标题翻译：硬质金属硬化焊丝，改善耐冲击性
公开(公告)号：KR100628828B1
公开(公告)日：2006-09-27
申请号：KR1020050022823
申请日：2005-03-18
申请人： 한국생산기술연구원 , 세화엔지니어링 주식회사
发明人： 김정한 , 김준기 , 김철희 , 강남현
IPC分类号： B23K35/22 , C22C38/12
摘要： 본 발명은 텅스텐탄화물의 함량이 50~90 wt%인 초경합금 분말에 오스테나이트 안정화 원소를 첨가하여 혼합한 분말과 철계 스트립을 사용하여 메탈코어드 용접와이어를 제조하는 것으로, 와이어에서 텅스텐탄화물의 유효함량이 22.5~30.0 wt%이고 Mn, C 등과 같은 오스테나이트 안정화 원소의 함량이 Ni 당량으로 0.05~0.2 wt%인 것을 특징으로 한다.
상기의 용접와이어로 하드페이싱한 육성용접층은 10~25 vol%의 텅스텐탄화물 분산상과 오스테나이트를 주성분으로 하는 기지상으로 이루어진 아공정 미세조직을 특징으로 하며, 40~50 HRC의 경도를 나타내지만 적정량의 고경도 분산상과 기지상의 오스테나이트화로 인해 내마모성과 함께 뛰어난 내충격성을 나타낸다.
육성용접, 하드페이싱, 용접와이어, 메탈코어드, 텅스텐탄화물, 오스테나이트 안정화 원소, 내마모성, 내충격성

8. 发明公开

KR1020070068011A 아연도금강판에 대한 레이저-아크 하이브리드 용접방법 및이의 용접장치 失效
标题翻译： ZANC GALVANIZING SHEET钢的激光弧混合焊接方法和系统
公开(公告)号：KR1020070068011A
公开(公告)日：2007-06-29
申请号：KR1020050129633
申请日：2005-12-26
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 최웅용 , 김철희 , 강남현 , 이창우 , 김정한
IPC分类号： B23K26/04
摘要： A method and a system for laser-arc hybrid welding of galvanized sheet steels are provided to implement welding of high quality by suppressing the generation of spatter, thereby preventing pores or blow holes from being formed in welding portions of the galvanized sheet steels. A method for laser-arc hybrid welding of galvanized sheet steels comprises the steps of: aligning a plurality of galvanized steel sheets at a welding position; and performing arc discharge and then performing laser welding on welding portions of the galvanized sheet steels. A system(A) for laser-arc hybrid welding of galvanized sheet steels comprises: a laser generating part(2) comprising a laser irradiator(24) installed perpendicularly to a predetermined bracket(22) to irradiate a laser beam; a transfer roller(3) installed below the laser irradiator; and an arc discharge part(4) installed such that an irradiation point is formed at a more front side toward a welding proceeding direction than the laser generating part.
摘要翻译：提供镀锌钢板的激光 - 电弧复合焊接方法和系统，通过抑制飞溅物的产生来实现高质量的焊接，从而防止在镀锌钢板的焊接部分形成孔或吹孔。一种镀锌钢板的激光 - 电弧复合焊接方法，包括以下步骤：在焊接位置对准多个镀锌钢板; 并进行电弧放电，然后对镀锌钢板的焊接部进行激光焊接。一种用于镀锌钢板的激光 - 电弧复合焊接的系统（A）包括：激光产生部分（2），包括垂直于预定的支架（22）安装以照射激光束的激光照射器（24）安装在激光照射器下方的转印辊（3）; 以及电弧放电部件（4），其安装成使得照射点形成在比激光产生部件更靠前的焊接行进方向的前侧。

9. 发明授权

KR100732008B1 ＬＣＤ 유리기판의 박막 균일 증착을 위한 서셉터ＧＭＡ용접방법 失效
标题翻译： LCD유리기판의박막증착일증착위서셉터GMA용접방LCD
公开(公告)号：KR100732008B1
公开(公告)日：2007-06-25
申请号：KR1020060083054
申请日：2006-08-30
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 강남현 , 김준기 , 이창우 , 김정한 , 권용철
IPC分类号： B23K9/23 , B23K9/00
摘要： A GMA welding method of a susceptor for depositing an uniform thin film on an LCD glass substrate is provided to improve color consistency of the welding portion and the welded portion while satisfying mechanical strength of a welding portion and a welded portion during GMA(gas metal arc) welding for installing a heating element such that the heating element is buried in the susceptor. In a method for performing GMA(gas metal arc) welding for vacuum sealing the heating element on an upper portion of the aluminum cap after inserting a heating element into a pattern groove formed in a plate part of a susceptor prepared such that the susceptor is mounted on a PECVD equipment, and covering an aluminum cap on the heating element, a GMA welding method of a susceptor for depositing an uniform thin film on an LCD glass substrate comprises the steps of: forming a first welding layer portion(110) comprising at least two welding layers on the upper portion of the aluminum cap by using an Al5183 wire as a filler metal; and forming a second welding layer portion(120) comprising at least one welding layer on an upper portion of the first welding layer portion by using a wire made from the same material as the plate part as the filler metal.
摘要翻译：提供一种在LCD玻璃基板上沉积均匀薄膜的基座的GMA焊接方法，以改善焊接部分和焊接部分的颜色一致性，同时满足GMA（气体金属电弧）期间焊接部分和焊接部分的机械强度）用于安装加热元件的焊接，使得加热元件被埋置在基座中。在将加热元件插入到形成在基座的板部分中的图案凹槽中之后，执行用于真空密封铝盖的上部上的加热元件的GMA（气体金属电弧）焊接的方法，该基座准备为使得基座被安装在PECVD设备上并覆盖加热元件上的铝盖，用于在LCD玻璃基板上沉积均匀薄膜的基座的GMA焊接方法包括以下步骤：形成第一焊接层部分（110），所述第一焊接层部分（110）至少包括：通过使用Al5183线作为填充金属在铝盖的上部上形成两个焊接层; 以及通过使用由与所述板部分相同的材料制成的金属丝作为所述填充金属，在所述第一焊接层部分的上部上形成包括至少一个焊接层的第二焊接层部分（120）。

10. 发明授权

KR100649053B1 레이저-ＭＩＧ 하이브리드 용접방법 失效
标题翻译： 레이저-MIG하이브리드용접방법
公开(公告)号：KR100649053B1
公开(公告)日：2006-11-27
申请号：KR1020050122973
申请日：2005-12-14
申请人： 한국생산기술연구원
发明人： 채현병 , 김철희 , 김준기 , 강남현 , 김정한
IPC分类号： B23K28/02 , B23K26/08 , B23K9/08
摘要： A laser-MIG hybrid welding method that improves quality of a butt welded portion by diversely controlling variables used in welding according to various gaps of a butt joint, and improves workability by clearing an additional post-treatment process according to welding flaws is provided. In a laser-MIG hybrid welding method for welding a butt joint with a gap by a laser-MIG hybrid welding equipment having a laser unit and an MIG torch, the laser-MIG hybrid welding method comprises welding a welding wire of 1.2 mm using a welding voltage of 21 to 32 V when the gap is 1.0 mm or less. The method comprises welding a welding wire fed at a feeding rate of 10.5 m/min or less by the welding equipment with a torch height of 18 mm. The method comprises welding a welding wire fed at a feeding rate of 10.5 m/min or less at the gap of 1.0 mm or less using a welding current of 280 to 440 A.
摘要翻译：本发明提供一种激光 - MIG复合焊接方法，其通过根据对接接头的各种间隙对焊接中使用的变量进行各种控制，提高对接焊接部的品质，通过根据焊接缺陷清除追加的后处理工序而提高加工性。在通过具有激光单元和MIG焊炬的激光-MIG混合焊接设备来焊接具有间隙的对接接头的激光-MIG混合焊接方法中，激光 - MIG混合焊接方法包括使用间隙为1.0mm以下时的焊接电压为21〜32V。该方法包括将由焊接设备以10.5米/分钟或更小的进给速率进给的焊丝焊接到18毫米的焊炬高度。该方法包括使用280至440A的焊接电流焊接以1.0毫米或更小的间隙以10.5米/分钟或更小的馈送速率馈送的焊丝。

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