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1. 发明公开

KR20180049120A 밀리세컨드 어닐 시스템을 위한 유체 누설 검출 审中-公开
公开(公告)号：KR20180049120A
公开(公告)日：2018-05-10
申请号：KR20187011209
申请日：2016-12-13
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/324
CPC分类号： G01M3/20 , G01N33/0036 , H01L21/6719 , H01L21/67288
摘要： 밀리세컨드어닐시스템내의유체냉각식구성요소와관련된유체누설을검출하기위한시스템및 방법이제공된다. 일예시적인실시예에서, 밀리세컨드어닐시스템은하나이상의유체냉각식구성요소를포함하는처리챔버를구비할수 있다. 상기시스템은상기처리챔버내에공정가스의흐름을제공하도록구성된가스흐름시스템을구비할수 있다. 상기시스템은상기하나이상의유체냉각식구성요소와관련된유체누설을검출하도록상기가스흐름시스템을통해흐르는공정가스내의증기를측정하도록구성된증기센서를구비할수 있다.

2. 发明授权

KR101717065B1 람다 센서 예열 제어 방법 및 람다 센서 구동 제어 장치 有权
标题翻译： λ传感器预热控制方法和λ传感器驱动控制装置
公开(公告)号：KR101717065B1
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：KR1020157023101
申请日：2014-02-13
申请人： 봇슈 가부시키가이샤
发明人： 미쓰타니히로유키
IPC分类号： G01N27/406 , F02D41/14
CPC分类号： G01N27/4163 , F02D41/1494 , F02D2041/2027 , F02D2200/503 , F02N2300/108 , G01N27/4067 , G01N27/409 , G01N27/419 , G01N33/0036
摘要： 예열제어에있어서소망되는실효전압을확실하게확보가능하게한다. 연산제어부(52)는미리기억된차량용배터리의배터리전압(Vb)과보정값(c)의상관관계에기초하여보정시의배터리전압(Vb)에대한보정값(c)을판독하고(S104, S106), 그보정값(c)을소정의연산식에의해산출된듀티비에가산함으로써펄스전압의실효값저하를보상하고, 예열제어에있어서소망되는실효전압을확실하게확보할수 있도록되어있다.
摘要翻译：从而可以可靠地确保预热控制中期望的有效电压。操作和控制部52是电池预电压（Vb）的和所存储的车载电池基于浓度在肝中读出用于在校正和时间的电池电压（Vb）中的校正值（c）中（c）中的校正值（S104， S106），并且是如此通过加入校正值（c）中，以通过规定的运算式计算出的占空比的可以补偿的脉冲电压的有效值降低，并且稳定地确保在预热控制到期望的有效电压。

3. 发明公开

KR1020160081826A 기체 작용제를 검출하기 위한 물질 및 센서 审中-实审
标题翻译：用于检测气体代理的材料和传感器
公开(公告)号：KR1020160081826A
公开(公告)日：2016-07-08
申请号：KR1020150187902
申请日：2015-12-28
申请人： 제네럴 일렉트릭 컴퍼니
发明人： 포티라일로라디슬라브알렉산드로비히 , 탕제시옹 , 바틀링브랜돈알란 , 나그래이난디니 , 브롬베르그바딤
IPC分类号： G01N27/00 , G01N27/12 , G01N27/22 , B82Y15/00
CPC分类号： G01N27/228 , G01N27/125 , G01N27/227 , G01N31/10 , G01N33/0036
摘要： 기체작용제를검출하기위한센서가, 안테나를형성하는전기공진회로를포함하는변환기를구비한다. 센서는, 변환기의적어도일부분상에배치되는감지물질을더 포함한다. 감지물질은, 기체작용제의존재시에, 커패시턴스응답및 저항응답을동시적으로나타내도록구성된다. 센서는, 가역적일수 있고, 배터리를갖지않을수 있으며, 그리고센서판독기와의전기적접촉을필요로하지않을수 있을것이다.
摘要翻译：用于检测气体试剂的传感器包括：具有形成天线的电谐振电路的转换器; 以及设置在转换器的至少一部分上的感测材料，同时指示当存在气体试剂时的电容响应和电阻响应。传感器是可逆的，不需要电池，不需要与传感器读数器进行电气接触。

4. 发明公开

KR1020160037119A 센서 칩 审中-实审
标题翻译：传感器芯片
公开(公告)号：KR1020160037119A
公开(公告)日：2016-04-05
申请号：KR1020150137466
申请日：2015-09-30
申请人： 센시리온 에이지
发明人： 마이어,펠릭스 , 바르취,울리히 , 윈거,마틴 , 그라프,마르쿠스 , 거너,파스칼
IPC分类号： H01L25/11 , H01L25/07
CPC分类号： G01N27/048 , G01N27/128 , G01N27/14 , G01N27/225 , G01N33/0036 , H01L2224/18
摘要： 센서칩이전면측(11) 및후면측(12)을가진기판(1); 및그 후면(12) 측으로부터그 전면측(11)까지관통하여도달하는기판(1)에서의개구(13)를포함한다. 유전층과도전층의적층(2)은기판(1)의전면측(11)상에배열되고, 이적층(2)의일부분은기판(1)에서개구(13)의전 범위에걸쳐있다. 접촉패드들(32)이센서칩을전기적으로접촉시키기위해기판(1)의전면측(11)에배열된다. 감지소자(4)는적층(2)의일부분상에배열되고개구(13)와마주보는일부분의한 측상에서개구(13)의전 범위에걸쳐있다.
摘要翻译：传感器芯片包括：具有前侧（11）和后侧（12）的基板（1）; 和基板（1）的开口（13），通过后侧（12）朝向前侧（11）。电介质层和导电层的叠层（2）设置在基板（1）的前侧（11）上，并且堆叠层（2）的一部分在开口（13）的整个范围之上）在基板（1）上。接触焊盘（32）设置在基板（1）的前侧（11）上以与传感器芯片电接触。检测元件（4）部分地设置在堆叠层（2）上，并且在面向开口（13）的一个部分的一侧上的开口（13）的整个范围之上。

5. 发明公开

KR1020150086750A 칼코겐 기체 모니터링 장치 审中-实审
标题翻译： CHALCOGEN气体监测装置
公开(公告)号：KR1020150086750A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：KR1020140006791
申请日：2014-01-20
申请人： 한국전자통신연구원
发明人： 조대형 , 정용덕
IPC分类号： G01N27/12
CPC分类号： G01N33/0036 , G01N21/783 , G01N27/12 , G01N27/125 , G01N33/0062 , G01N2033/0068
摘要： 본발명은칼코겐기체모니터링장치에관한것이다. 칼코겐기체모니터링장치는금속포일에칼코겐기체가접촉함에의해생성되는반응에따라저항변화를일으키는반응부, 저항변화에따른저항값을측정하는측정부, 저항값에따라칼코겐기체의존재여부와농도중 적어도하나를측정하는연산부, 및측정된결과를출력하는표시부를포함하고, 금속포일은칼코겐기체와의반응결과에따라교체되는것을특징으로한다.
摘要翻译：本发明涉及一种硫属元素气体监测装置。硫属元素气体监测装置包括：反应单元，其根据由金属箔和硫属气体之间的接触产生的反应而引起电阻变化; 测量单元，其根据电阻变化测量电阻值; 计算单元，其根据所述电阻值测量所述硫族元素气体的存在与其浓度之间的至少一个; 以及输出测量结果的显示单元。此外，根据与硫属元素气体的反应结果来替换金属箔。

6. 发明公开

KR1020150066515A 기상 성장 장치의 오염량 측정 방법 및 에피택셜 웨이퍼의 제조 방법 审中-实审
标题翻译：用于蒸气相外观设备的污染量测量方法和外延波形的制造方法
公开(公告)号：KR1020150066515A
公开(公告)日：2015-06-16
申请号：KR1020157004828
申请日：2013-09-26
申请人： 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤
发明人： 아라이타케시 , 이나다사토시
IPC分类号： H01L21/66 , C23C16/44 , C30B23/02 , C30B29/64
CPC分类号： H01L22/10 , C23C16/4405 , C30B25/16 , C30B29/06 , G01N33/00 , G01N33/0036 , G01N2033/0095 , H01L21/02532 , H01L21/0262 , H01L21/02653 , H01L22/12
摘要： 기상성장장치의챔버내를 HCl 가스에의한베이퍼에칭에의해클리닝하는베이퍼에칭공정을행한다(S1). 다음에소정매수의실리콘웨이퍼를 1장씩차례로수소분위기에서열처리하는열처리공정을행한다(S2, S3). 이들베이퍼에칭공정및 열처리공정을소정횟수반복하여행한다. 즉, 소정횟수에아직도달하지않은경우에는(S4: No), 다시베이퍼에칭공정및 열처리공정을행한다(S1, S2). 열처리공정에서는각 회동일한웨이퍼를사용하여각 회에서열처리하는순서를바꾸지않도록한다. 베이퍼에칭공정및 열처리공정을소정횟수행한후에(S4: Yes), 각웨이퍼표면의오염을회수하여 ICP-MS에의해 Mo 농도를측정한다(S5). 각각의 Mo 농도의값이나 Mo 농도간의관계에기초하여기상성장장치의청정도를평가한다(S6). 이것에의해, 기상성장장치의오염량을고감도로측정할수 있는방법을제공한다.

7. 发明授权

KR101491819B1 크롬이 도핑된 산화니켈 나노구조체를 이용한 메틸벤젠 가스 센서 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：使用Cr掺杂的氧化镍纳米结构的甲基苯传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR101491819B1
公开(公告)日：2015-02-12
申请号：KR1020130042633
申请日：2013-04-18
申请人： 고려대학교 산학협력단
发明人： 이종흔 , 김효중 , 윤지욱
IPC分类号： G01N27/12 , B82B3/00
CPC分类号： G01N33/0036 , G01N27/127
摘要： 메틸벤젠 가스의 선택적 감응이 가능하도록 크롬(Cr)이 도핑된 산화니켈(NiO)로 이루어진 가스 감응층을 포함하는 가스 센서 및 그 제조 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 가스 센서는 가스 감응층이 크롬이 도핑된 산화니켈로 이루어진다. 이러한 가스 센서는 여타 가스에 비해 메틸벤젠 가스에 대한 선택성이 매우 우수하다. 이러한 가스 센서는 본 발명 제조 방법에 따라 다량으로 쉽게 제조할 수 있으며 가스 감응층을 구성하는 물질의 미세구조에 영향을 받지 않는다. 본 발명에서는 가스 확산 및 반응에 유리한 계층 구조의 산화니켈 감응 물질에 크롬을 도핑할 경우, 벤젠, 포름알데히드, 알콜 등에 대한 감도가 무시할 수 있을 만큼 작으면서도, 자일렌, 톨루엔 등의 메틸벤젠 가스에 대해 매우 높은 선택성과 감도를 나타내는 가스 센서가 가능함을 제안한다.
摘要翻译：提供一种气体传感器，其包括由掺杂有铬（Cr）的氧化镍（NiO）组成的气敏层，以选择性地检测甲基苯气体。根据本发明的气体传感器具有由Cr掺杂的NiO组成的气敏层。与其他气体相比，气体传感器表现出对甲苯气体的优异选择性。气体传感器可以根据本发明的制造方法容易且大量地生产，并且不受形成气敏层的材料的微观结构的影响。气体传感器本发明涉及苯，甲醛和醇的灵敏度可忽略不计，并且当具有有利于气体分散和响应的分层结构的NiO传感器材料是具有显着高的甲苯气体如二甲苯和甲苯的选择性和灵敏度时掺杂Cr。

8. 发明公开

KR1020140125897A 크롬이 도핑된 산화니켈 나노구조체를 이용한 메틸벤젠 가스 센서 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：使用氯化镍氧化物纳米结构的甲基苯乙烯传感器及其制备方法
公开(公告)号：KR1020140125897A
公开(公告)日：2014-10-30
申请号：KR1020130042633
申请日：2013-04-18
申请人： 고려대학교 산학협력단
发明人： 이종흔 , 김효중 , 윤지욱
IPC分类号： G01N27/12 , B82B3/00
CPC分类号： G01N33/0036 , G01N27/127
摘要： Provided in the present invention are a gas sensor including a gas sensitive layer composed of chrome (Cr)-doped nickel oxide (NiO) in order to be selectively sensitive to methylbenzene gas, and a manufacturing method thereof. The gas sensor is composed of a gas sensitive layer which comprises Cr-doped NiO. The gas sensor has very excellent selectivity to methylbenzene gas compared with other gases. The gas sensor can be easily manufactured in quantity by the manufacturing method, and is not influenced by a microstructure of a material forming the gas sensitive layer. The suggested gas sensor can have very small sensitivity to benzene, formaldehyde, and alcohol and can have very high selectivity and sensitivity to methylbenzene gas such as xylene and toluene, by doping Cr in a NiO sensitive material with a structure advantageous to gas dispersion and reaction.
摘要翻译：本发明提供一种气体传感器及其制造方法，该气体传感器包括由铬（Cr）掺杂的氧化镍（NiO）构成的气敏层，以选择性地敏感甲基苯气体。气体传感器由包含Cr掺杂NiO的气敏层构成。与其他气体相比，气体传感器对甲苯气体的选择性非常好。气体传感器可以通过制造方法容易地制造，并且不受形成气敏层的材料的微观结构的影响。建议的气体传感器对苯，甲醛和醇具有非常小的灵敏度，并且可以通过在具有有利于气体分散和反应的结构的NiO敏感材料中掺入Cr而对甲苯等气体如二甲苯和甲苯具有非常高的选择性和灵敏度。

9. 发明公开

KR1020140090258A 가스 센서 无效
标题翻译：气体传感器
公开(公告)号：KR1020140090258A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：KR1020147015736
申请日：2012-12-27
申请人： 도꾜 다이가꾸 , 오므론 가부시키가이샤
发明人： 시모야마,이사오 , 마쯔모또,기요시 , 간,데쯔오 , 다께이,유스께 , 다까하시,히데또시 , 이시즈,고우따로 , 혼다,마사히또
IPC分类号： G01N21/27
CPC分类号： G01N21/27 , G01N21/553 , G01N33/0036 , G01N33/004 , G01N2201/0612 , G01N2201/067
摘要： 소형화를 도모하면서, 신규한 구성에 의해 가스의 검출을 행할 수 있는 가스 센서를 제안한다. 이 가스 센서(1)에서는, 종래 기술과 같은 광 흡수 경로를 필요로 하지 않으므로, 그만큼, 소형화를 도모할 수 있고, 또한 이온 액체(IL)로 가스를 흡수하고, 또한 가스를 흡수함으로써 변화하는 이온 액체(IL)의 유전율을, 금속층(7)에서의 표면 프라즈몬 공명 현상에 의해 발생하는 광 강도 변화에 의해 측정할 수 있어, 이와 같은 방식으로, 광 강도의 변화를 기초로 가스를 검출할 수 있는 신규한 구성을 포함하는 가스 센서(1)를 실현할 수 있다.
摘要翻译：提出了一种气体传感器，其可以通过新颖的构造来检测气体，同时实现尺寸的减小。气体传感器（1）不像现有技术那样需要光吸收路径，从而可以相应地减小尺寸。此外，在气体传感器（1）中，气体被吸收在离子液体（IL）中，并且可以根据光强度的变化来测量通过吸收气体而变化的离子液体（IL）的介电常数，通过金属层（7）中的表面等离子体共振现象发生。因此，可以实现包括基于光强度的变化来检测气体的新颖构造的气体传感器（1）。

10. 发明授权

KR101358245B1 수소 센서 및 수소 센서 제조 방법 有权
标题翻译：氢传感器及其制造方法
公开(公告)号：KR101358245B1
公开(公告)日：2014-02-07
申请号：KR1020120027626
申请日：2012-03-19
申请人： 연세대학교 산학협력단
发明人： 이우영 , 이헌 , 장병진 , 이승현 , 이준민
IPC分类号： G01N27/12
CPC分类号： G01N33/0036 , C23C14/205 , C23C30/00 , G01N27/128 , G01N33/005
摘要： 본 발명에 따라서 수소 센서 제조 방법이 제공되는데, 상기 방법은 수소 센서 기판에 형성하고자 하는 수소 검지부 패턴과 나노 갭 패턴 및 베이스를 갖는 몰드를 준비하는 단계와; 상기 몰드의 패턴이 전사 가능한 재료를 준비하는 단계와; 상기 몰드를 상기 재료에 접촉시켜, 상기 몰드의 패턴을 상기 재료에 전사시킨 후, 상기 몰드를 떼어내어, 상기 패턴을 갖는 수소 센서 기판을 형성하는 단계로서, 상기 수소 센서 기판은 상기 베이스에 대응되는 베이스부와, 상기 베이스부로부터 수직하게 돌출하며 상기 나노 갭 패턴에 대응되는 복수 개의 수소 검지부와, 이들 수소 검지부 사이에 형성되며 상기 수소 검지부 패턴에 대응되는 복수 개의 나노 갭을 갖는 것인, 상기 수소 센서 기판을 형성하는 단계와; 상기 수소 센서 기판에 수소에 의해 팽창 가능한 전이금속 또는 그 합금 박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

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