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1. 发明授权

KR101692837B1 고 신호 전압 및 고 신호／잡음비를 갖는 적외선 센서 有权
标题翻译：具有高信号电压和高信噪比的红外光传感器
公开(公告)号：KR101692837B1
公开(公告)日：2017-01-05
申请号：KR1020117027420
申请日：2010-04-16
申请人： 파이레오스 엘티디.
发明人： 기베러,카르스텐 , 라이트,제프리 , 챔버라인,팀
IPC分类号： G01J5/08 , G01J5/34
CPC分类号： G01J5/34 , G01J5/08 , G01J5/0846
摘要： 본발명은적외선검출기(1)를위한적외선센서에관한것으로, 상기적외선센서는기판멤브레인섹션(2) 및적어도두 개의센서칩들(7 내지 10)을포함하고, 상기적어도두 개의센서칩들(7 내지 10)은기판멤브레인섹션(2) 상에서서로나란히놓여고정되고각각은층 엘리먼트(11)를가지며, 상기층 엘리먼트(11)는초전적으로민감한재료로부터생성되고베이스전극(12) 및헤드전극(13)에의해전기적으로접촉되며층 엘리먼트들(11)에적외선이조사될때 각각의층 엘리먼트(11)의헤드전극(13) 및베이스전극(12) 사이에각각의경우에전압차가존재하도록배열되고, 상기적외선센서는두 개의인접하게배열된센서칩들(7 내지 10)을위해각각의경우에커플링라인(14 내지 16)을포함하고, 상기커플링라인을통해, 하나의센서칩(7 내지 9)의헤드전극(13) 및다른센서칩(8 내지 10)의베이스전극(12)이전기전도적으로서로커플링되어, 센서칩들(7 내지 10)의층 엘리먼트들(11)이직렬회로로연결되며, 상기직렬회로는자신의한쪽단부에서베이스전극들중 하나(17) 그리고자신의다른한쪽단부에서헤드전극들중 하나(18)를갖고, 상기단부들에서상기직렬회로의총 전압차가층 엘리먼트들(11)의개별전압차들의합으로서탭핑될수 있다.
摘要翻译：一种用于红外光检测器（1）的红外光传感器，包括基板膜部分（2）和至少两个传感器芯片（7至10），它们在基板膜部分（2）上彼此紧固并且每个包括由热敏材料制成并与基底电极（12）和头部电极（13）电接触的层元件（11），并且被布置成使得在每个情况下在头部电极之间存在电压差（11）被红外线照射时，各层元件（11）的基极（13）和基极（12）和连接线（14〜16），用于两个相邻布置的传感器芯片（7至10），耦合线将一个传感器芯片（7至9）的头部电极（13）和基极（12））以使得传感器芯片（7至10）的层元件（11）连接在串联电路中，该串联电路具有一个基极电极（17）和其另一端的头电极（18）中的一个，串联电路的总电压差可以抽头作为层元件（11）的各个电压差之和，。

2. 发明公开

KR1020100080604A 고 해상도를 갖는 열 복사 탐지 장치 및 상기 장치 제조 방법 有权
标题翻译：用于检测高分辨率的热辐射的装置及其生产方法
公开(公告)号：KR1020100080604A
公开(公告)日：2010-07-09
申请号：KR1020107009339
申请日：2008-09-29
申请人： 파이레오스 엘티디.
发明人： 기베러,카르스텐 , 레티그,우베 , 슈라이터,마티아스
IPC分类号： G01J5/10 , H01L27/16 , H01L31/101 , G01J5/34
CPC分类号： H01L31/101 , G01J5/02 , G01J5/024 , G01J5/0245 , G01J5/04 , G01J5/046 , G01J5/06 , G01J5/34 , H01L37/02 , Y10T29/49007
摘要： The invention relates to a device (1) for detecting heat radiation, comprising a membrane (101) and at least two detector elements (11), both of which are configured to convert heat radiation to an electrical signal, said detector elements being attached to the membrane and located adjacent to one another, wherein at least one heat dissipation path (104) is provided on the side of the membrane facing the detector elements or the side of the membrane facing away from the detector elements, said heat dissipation path having a greater heat conducting capacity than the membrane and being connected to the detector elements in a heat-conductive manner via the membrane, such that heat from the detector elements may be dissipated by the heat dissipation path, whereby the response time of the detector elements is high, and wherein at least one heat barrier (105) is provided that is integrated into the membrane, said heat barrier having a lower level of heat conductivity than the membrane and extending between the detector elements, preventing the conduction of heat in the membrane from one detector element to the other detector element, whereby the crosstalk between the detector elements is low.
摘要翻译：本发明涉及一种用于检测热辐射的装置（1），包括膜（101）和至少两个检测器元件（11），它们均被配置为将热辐射转换成电信号，所述检测器元件附接到所述膜并且彼此相邻定位，其中至少一个散热路径（104）设置在所述膜的面向所述检测器元件或所述膜的远离所述检测器元件的一侧，所述散热路径具有比膜更大的导热能力并且通过膜以导热方式连接到检测器元件，使得来自检测器元件的热量可以被散热路径消散，由此检测器元件的响应时间高，并且其中提供集成到所述膜中的至少一个热障（105），所述热障具有比所述膜更低的热导率，并且ex 在检测器元件之间倾斜，防止膜中的热从一个检测器元件传导到另一个检测器元件，由此检测器元件之间的串扰低。

3. 发明授权

KR101612400B1 막 구조물을 갖춘 열 복사 검출 장치, 그 장치의 제조 방법 및 용도 有权
标题翻译：具有用于检测热辐射方法的膜结构的装置和装置的使用
公开(公告)号：KR101612400B1
公开(公告)日：2016-04-14
申请号：KR1020097027210
申请日：2008-05-28
申请人： 파이레오스 엘티디.
发明人： 기베러,카르스텐 , 슈라이터,마티아스 , 파울러스,크리스티안
IPC分类号： G01J5/04 , G01J5/10 , G01J5/22
CPC分类号： G01J5/34 , G01J5/00 , G01J5/0205 , G01J5/0225 , G01J5/023 , G01J5/04 , G01J5/041 , G01J5/045 , G01J5/14 , G01J5/22 , G01J2005/0077 , G01J2005/204 , G01N2021/0106 , H01L27/14683 , H01L41/0973 , Y10T156/10
摘要： 본발명은상기열 복사를전기신호로변환하기위한하나이상의열 검출기소자가배열되는하나이상의막, 및상기막을지지하고상기전기신호를판독하는하나이상의판독회로를지지하여, 상기검출기소자와상기판독회로가전기도통접속에의해상기막을통해전기접속되는하나이상의회로지지대를포함하는열 복사검출장치에관한것이다. 또한, 본발명은 a) 상기검출기소자를갖춘막과하나이상의전기도통접속을제공하고상기회로지지대를준비하는단계와, b) 상기검출기소자와판독회로가상기막을통과하는전기접속에의해함께전기적으로연결되는방식으로상기막과회로지지대를결합하는단계를포함하는열 복사검출장치제조방법에관한것이다. 제조단계는바람직하게웨이퍼레벨에서수행되며, 기능화된실리콘기판이서로에대해적층되어서로단단히접합된후에개별소자로분할된다. 바람직하게, 검출기소자는파이로-전기검출기소자를포함한다. 상기장치는모션검출기, 프레전스검출기및 열영상카메라분야에적용될수 있다.

4. 发明授权

KR101496673B1 샌드위치 구조물을 갖춘 열 복사 검출 장치, 그 장치의 제조 방법 및 용도 有权
标题翻译：具有用于检测热辐射的三维结构的装置，生产方法和装置的使用
公开(公告)号：KR101496673B1
公开(公告)日：2015-02-27
申请号：KR1020097027216
申请日：2008-05-28
申请人： 파이레오스 엘티디.
发明人： 기베러,카르스텐 , 슈라이터,마티아스 , 자프페,죄르그
IPC分类号： G01J5/10 , G01J5/34 , H01L27/16
CPC分类号： H01L27/16 , G01J5/04 , G01J5/045 , G01J5/10 , G01J5/34 , H01L27/14618 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 본 발명은 스택을 포함하는 열 복사 검출 장치에 관한 것이며, 상기 스택은 상기 열 복사를 전기 신호로 변환하기 위한 하나 이상의 검출기 소자와, 상기 전기 신호를 판독하기 위한 하나 이상의 판독 회로를 갖춘 하나 이상의 회로 지지대, 및 상기 검출기 소자를 차폐하기 위한 하나 이상의 커버를 포함하며, 상기 검출기 지지대가 상기 회로 지지대와 상기 커버 사이에 배열되며, 상기 검출기 지지대와 상기 커버에 의해 한정되어 있는 하나 이상의 제 1 스택 공동이 상기 검출기 지지대의 검출기 소자와 상기 커버 사이에 제공되도록 상기 검출기 지지대와 상기 커버가 서로 관련되어 배열되며, 상기 회로 지지대와 상기 검출기 지지대에 의해 한정되어 있는 하나 이상의 제 2 스택 공동이 상기 검출기 지지대와 상기 회로 지지대 사이에 제공되도록 상기 회로 지지대와 상기 검출기 지지대가 서로 관련되어 배열되며, 상기 제 1 스택 공동 및/또는 제 2 스택 공동이 배기되거나 배기될 수 있다. 또한, 상기 장치의 제조 방법이 제공된다. 바람직하게, 상기 검출기 지지대, 회로 지지대 및 커버는 실리콘으로 형성된다. 상기 제조 단계는 웨이퍼 레벨에서 수행된다. 기능화된 실리콘 기판이 서로에 대해 적층되어 서로 단단히 접합된 후에 개별 소자로 분할된다. 바람직하게, 검출기 소자는 파이로-전기 검출기 소자를 포함한다. 상기 장치는 모션 검출기, 프레전스 검출기 및 열 영상 카메라 분야에 적용될 수 있다.

5. 发明授权

KR101479915B1 고 해상도를 갖는 열 복사 탐지 장치 및 상기 장치 제조 방법 有权
标题翻译：用于检测高分辨率的热辐射的装置及其生产方法
公开(公告)号：KR101479915B1
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：KR1020107009339
申请日：2008-09-29
申请人： 파이레오스 엘티디.
发明人： 기베러,카르스텐 , 레티그,우베 , 슈라이터,마티아스
IPC分类号： G01J5/10 , H01L27/16 , H01L31/101 , G01J5/34
CPC分类号： H01L31/101 , G01J5/02 , G01J5/024 , G01J5/0245 , G01J5/04 , G01J5/046 , G01J5/06 , G01J5/34 , H01L37/02 , Y10T29/49007
摘要： 본 발명은 멤브레인 및 둘 이상의 탐지기 요소들을 구비하고, 상기 멤브레인 및 탐지기 요소들은 열 복사를 전기 신호로 변환하도록 각각 설정되며, 상기 멤브레인 상에 서로 나란히 놓여 장착되고, 상기 탐지기 요소 쪽으로 향하는 상기 멤브레인의 측면 및/또는 상기 탐지기 요소로부터 먼 쪽을 향하는 상기 멤브레인의 측면 상에 하나 이상의 열 발산 경로가 제공되며, 상기 열 발산 경로는 열이 상기 열 발산 경로를 이용하여 상기 탐지기 요소들로부터 방출될 수 있도록, 상기 멤브레인을 통하여 열전도식으로 상기 탐지기 요소들과 연결되며, 그에 따라 상기 탐지기 요소들의 응답 시간이 짧아지며, 상기 멤브레인보다 낮은 열 전도성을 가지며 상기 탐지기 요소들 사이에서 연장하는 하나 이상의 열 배리어가 상기 멤브레인에 통합되도록 제공되어, 하나의 탐지기 요소로부터 다른 탐지기 요소로의 상기 멤브레인 내의 열 전도가 상기 열 배리어에 의해 방지되며; 그에 따라 상기 탐지기 요소들의 누화가 낮아지는 열 복사 탐지 장치에 관한 것이다.

6. 发明公开

KR1020120022975A 고 신호 전압 및 고 신호／잡음비를 갖는 적외선 센서 有权
标题翻译：具有高信号电压和高信号/噪声比的红外光传感器
公开(公告)号：KR1020120022975A
公开(公告)日：2012-03-12
申请号：KR1020117027420
申请日：2010-04-16
申请人： 파이레오스 엘티디.
发明人： 기베러,카르스텐 , 라이트,제프리 , 챔버라인,팀
IPC分类号： G01J5/08 , G01J5/34
CPC分类号： G01J5/34 , G01J5/08 , G01J5/0846
摘要： 본 발명은 적외선 검출기(1)를 위한 적외선 센서에 관한 것으로, 상기 적외선 센서는 기판 멤브레인 섹션(2) 및 적어도 두 개의 센서 칩들(7 내지 10)을 포함하고, 상기 적어도 두 개의 센서 칩들(7 내지 10)은 기판 멤브레인 섹션(2) 상에서 서로 나란히 놓여 고정되고 각각은 층 엘리먼트(11)를 가지며, 상기 층 엘리먼트(11)는 초전적으로 민감한 재료로부터 생성되고 베이스 전극(12) 및 헤드 전극(13)에 의해 전기적으로 접촉되며 층 엘리먼트들(11)에 적외선이 조사될 때 각각의 층 엘리먼트(11)의 헤드 전극(13) 및 베이스 전극(12) 사이에 각각의 경우에 전압차가 존재하도록 배열되고, 상기 적외선 센서는 두 개의 인접하게 배열된 센서 칩들(7 내지 10)을 위해 각각의 경우에 커플링 라인(14 내지 16)을 포함하고, 상기 커플링 라인을 통해, 하나의 센서 칩(7 내지 9)의 헤드 전극(13) 및 다른 센서 칩(8 내지 10)의 베이스 전극(12)이 전기 전도적으로 서로 커플링되어, 센서 칩들(7 내지 10)의 층 엘리먼트들(11)이 직렬 회로로 연결되며, 상기 직렬 회로는 자신의 한쪽 단부에서 베이스 전극들 중 하나(17) 그리고 자신의 다른 한쪽 단부에서 헤드 전극들 중 하나(18)를 갖고, 상기 단부들에서 상기 직렬 회로의 총 전압차가 층 엘리먼트들(11)의 개별 전압차들의 합으로서 탭핑될 수 있다.
摘要翻译：一种用于红外光检测器（1）的红外光传感器，包括基板膜部分（2）和至少两个传感器芯片（7至10），它们在基板膜部分（2）上彼此紧固并且每个包括由热敏材料制成并与基底电极（12）和头部电极（13）电接触的层元件（11），并且被布置成使得在每个情况下在头部电极之间存在电压差（11）被红外线照射时，各层元件（11）的基极（13）和基极（12）和连接线（14〜16），用于两个相邻布置的传感器芯片（7至10），耦合线将一个传感器芯片（7至9）的头部电极（13）和基极（12））以使得传感器芯片（7至10）的层元件（11）连接在串联电路中，该串联电路具有一个基极电极（17）和其另一端的头电极（18）中的一个，串联电路的总电压差可以抽头作为层元件（11）的各个电压差之和，。

7. 发明公开

KR1020100023008A 샌드위치 구조물을 갖춘 열 복사 검출 장치, 그 장치의 제조 방법 및 용도 有权
标题翻译：具有用于检测热辐射的三维结构的装置，生产方法和装置的使用
公开(公告)号：KR1020100023008A
公开(公告)日：2010-03-03
申请号：KR1020097027216
申请日：2008-05-28
申请人： 파이레오스 엘티디.
发明人： 기베러,카르스텐 , 슈라이터,마티아스 , 자프페,죄르그
IPC分类号： G01J5/10 , G01J5/34 , H01L27/16
CPC分类号： H01L27/16 , G01J5/04 , G01J5/045 , G01J5/10 , G01J5/34 , H01L27/14618 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： The invention relates to a device (1) for detecting thermal radiation, comprising at least one stack (10) having at least one detector carrier (11) with at least one thermal detector element (111) for converting the thermal radiation to an electrical signal, at least one circuit carrier (12) having at least one readout circuit (121, 122) for reading out the electrical signal, and at least one cover (13) for covering the detector element. The detector carrier and the cover are arranged on each other in such a manner that at least one first stack cavity (14) of the stack is produced between the detector element of the detector carrier and the cover, said cavity being delimited by the detector carrier and the cover. The circuit carrier and the detector carrier are arranged on each other in such a manner that at least one second stack cavity (15) of the stack is produced between the detector carrier and the circuit carrier, said cavity being delimited by the circuit carrier and the detector carrier. The first stack cavity and/or the second stack cavity are or can be evacuated. The invention also relates to a method for producing said device. The detector carrier, circuit carrier and the cover are preferably produced from silicon. The production is preferably carried out on the wafer level: Functionalized silicon substrates are stacked, firmly interconnected and then subdivided. The detector elements are preferably pyroelectric detector elements. The device according to the invention is used in motion detectors, presence detectors and thermal imaging cameras.
摘要翻译：本发明涉及一种用于检测热辐射的装置（1），其包括至少一个具有至少一个具有至少一个热探测元件（111）的检测器载体（11）的堆叠（10），用于将热辐射转换成电信号至少一个电路载体（12）具有用于读出电信号的至少一个读出电路（121,122），以及用于覆盖检测器元件的至少一个盖子（13）。检测器载体和盖子以这样的方式彼此布置，使得在检测器载体的检测器元件和盖之间产生堆叠的至少一个第一堆叠空腔（14），所述空腔由检测器载体限定和封面。电路载体和检测器载体彼此布置成使得在检测器载体和电路载体之间产生堆叠的至少一个第二堆叠腔（15），所述空腔由电路载体限定，并且检测器载体。第一堆叠腔和/或第二堆叠空腔是或可以被抽真空的。本发明还涉及一种用于生产所述装置的方法。检测器载体，电路载体和盖优选由硅制成。生产优选在晶片级上进行：功能化的硅衬底被堆叠，牢固地互相连接然后细分。检测器元件优选是热电探测元件。根据本发明的装置用于运动检测器，存在检测器和热成像相机中。

8. 发明公开

KR1020100023007A 막 구조물을 갖춘 열 복사 검출 장치, 그 장치의 제조 방법 및 용도 有权
标题翻译：具有用于检测热辐射的膜结构的装置，生产方法和装置的使用
公开(公告)号：KR1020100023007A
公开(公告)日：2010-03-03
申请号：KR1020097027210
申请日：2008-05-28
申请人： 파이레오스 엘티디.
发明人： 기베러,카르스텐 , 슈라이터,마티아스 , 파울러스,크리스티안
IPC分类号： G01J5/04 , G01J5/10 , G01J5/22
CPC分类号： G01J5/34 , G01J5/00 , G01J5/0205 , G01J5/0225 , G01J5/023 , G01J5/04 , G01J5/041 , G01J5/045 , G01J5/14 , G01J5/22 , G01J2005/0077 , G01J2005/204 , G01N2021/0106 , H01L27/14683 , H01L41/0973 , Y10T156/10
摘要： The invention relates to a device for detecting thermal radiation, comprising at least one membrane on which at least one thermal detector element for converting the thermal radiation to an electrical signal is arranged, and at least one circuit carrier for carrying the membrane and for carrying at least one readout circuit for reading out the electrical signal, the detector element and the readout circuit being electrically interconnected through the membrane through an electrical via. The invention also relates to a method for producing said device by way of the following process steps: a) providing the membrane having the detector element and at least one electrical via and providing the circuit carrier, and b) uniting the membrane and the circuit carrier in such a manner that the detector element and the readout circuit are electrically interconnected through the membrane through an electrical via. The production is preferably carried out on the wafer level: Functionalized silicon substrates are stacked, firmly interconnected and then subdivided. The detector elements are preferably pyroelectric detector elements. The device according to the invention is used in motion detectors, presence detectors and thermal imaging cameras.
摘要翻译：本发明涉及一种用于检测热辐射的装置，该装置包括至少一个薄膜，至少一个用于将热辐射转换成电信号的热检测器元件布置在其上，以及至少一个用于承载膜并用于携带用于读出电信号的至少一个读出电路，检测器元件和读出电路通过电通孔通过膜电互连。本发明还涉及通过以下工艺步骤生产所述装置的方法：a）提供具有检测器元件和至少一个电通孔的膜，并提供电路载体，以及b）将膜和电路载体以使得检测器元件和读出电路通过电通孔通过膜电互连。生产优选在晶片级上进行：功能化的硅衬底被堆叠，牢固地互相连接然后细分。检测器元件优选是热电探测元件。根据本发明的装置用于运动检测器，存在检测器和热成像相机中。

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