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1. 发明公开

KR1019960018638A 원자간력현미경 失效
标题翻译：原子力显微镜
公开(公告)号：KR1019960018638A
公开(公告)日：1996-06-17
申请号：KR1019950044101
申请日：1995-11-28
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 한다코지 , 쿠보케이시 , 도이마사테루 , 요시즈미케이이찌
IPC分类号： G02B21/00
摘要： 본 발명은, 한쪽지지빔의 자유단부에 침이 장착되어서 이루어진 탐침의 선단부와, 시료표면과의 사이에 작용하는 원자간력에 의해 발생하는 탐침의 변위를 광학적으로 검출하는 원자간력현미경에 관하여, 특히 대형·대면적의 시료에 대응하는데 적합한 원자간력현미경에 관한 것으로서, 시료를 고정한 상태로, 탑침쪽을 주사해서, 원활하고 또한 정확하게 측정을 행할 수 있고, 종래에는 불가능했던 대형·대면적의 시료를 비파괴상태로 측정할 수 있는 원자간력현미경을 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 공초점렌즈(107) 및 탐침(110)을 구비한 Z방향주사블록(23)과, Z방향주사블록(23)을 시료(41)표면에 대해서 수직방향으로 이동시키는 Z방향스캐너(26)와, Z방향주사블록(23), Z방향스캐너(26) 및 미러(106)를 구비한 X방향주사블록(21)과, X 방향주사블록(21)을 시료(41)표면에 대해서 평행인 면내의 제1의 측방향으로 이동시키는 X방향스캐너(24)와, X방향주사블록(21), X방향스캐너(24), 검출광방사계(101),(102),(104),(105) 및 변위검출계(105),(104),(111),(112)를 구비한 Y방향주사블록(22)과, Y방향주사블록(22)을 시료(41)표면에 대해서 평행인 면내의 제1의 축방향으로 직교하는 제2의 축방향으로 이동시기는 Y방향스캐너(25)를 구비한 것을 특징으로 한 것이다.

2. 发明授权

KR100192097B1 원자간력현미경 失效
标题翻译：配置测量方法和装置，用于光学检测原子力的探针位移
公开(公告)号：KR100192097B1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019950044101
申请日：1995-11-28
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 한다코지 , 쿠보케이시 , 도이마사테루 , 요시즈미케이이찌
IPC分类号： G02B21/00
CPC分类号： G01Q60/38 , G01H9/00 , G01Q10/04 , G01Q30/025 , G02B21/0004 , Y10S977/87
摘要： 본 발명은, 한쪽지지빔의 자유단부에 침이 장착되어서 이루어진 탐침의 선단부와, 시료표면과의 사이에 작용하는 원자간력에 의해 발생하는 탐침의 변위를 광학적으로 검출하는 원자간력현미경에 관하여, 특히 대형·대면적의 시료에 대응하는 데 적합한 원자간력현미경에 관한 것으로서, 시료를 고정한 상태로, 탐침쪽을 주사해서, 원활하고 또한 정확하게 측정을 행할 수 있고, 종래에는 불가능했던 대형·대면적의 시료를 비파괴상태로 측정할 수 있는 원자간력 현미경을 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 공초점렌즈(107) 및 탐침(110)을 구비한 Z방향주사블록(23)과, Z방향주사블록(23)을 시료(41)표면에 대해서 수직방향으로 이동시키는 Z방향스캐너(26)와, Z방향주사블록(23), Z방향스캐너(26) 및 미러(106)를 구비한 X방향주사블록(21)과, X방향주사블록(21)을 시료(41)표면에 대해서 평행인 면내의 제1의 축방향으로 이동시키는 X방향스캐너(24)와, X방향주사블록(21), X방향스캐너(24), 검출광방사계(101), (102), (104), (105) 및 변위검출계(105), (104), (111), (112)를 구비한 Y방향주사블록(22)과, Y방향주사블록(22)을 시료(41)표면에 대해서 평행인 면내의 제1의 축방향으로 직교하는 제2의 축방향으로 이동시키는 Y방향스캐너(25)를 구비한 것을 특징으로 한 것이다.

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