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1. 发明授权

KR100146261B1 3차원측정용프로우브 失效
标题翻译：三维测量探头
公开(公告)号：KR100146261B1
公开(公告)日：1998-08-17
申请号：KR1019940004639
申请日：1994-03-10
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 요시즈미케이이치 , 쿠보케이시
IPC分类号： G01B5/03
CPC分类号： G01B11/00
摘要： 본 발명은 비구면렌즈등의 자유곡면의 형상측정, 면조도나 단차(段差)의 형상 측정등을 고정밀도로 저측정압(低測定壓)으로 측정할 수 있는 3차원측정용프로우브를 제공하는 것을 목적으로 한것이며, 그 구성에 있어서, 에이베어링으로 구성된 Z좌표방향으로 이동가능한 접동부를 가진 가동부의 Z방향끝부분에 스타일러스와 이 가동부의 Z좌표를 측정하는 수단을 가지므로서, 정밀도 좋게, 측정면의 Z좌표를 측정할 수 있는것을 특징으로 한 것이다.

2. 发明授权

KR100108839B1 복굴절측정장치 失效
标题翻译：双折射测量装置
公开(公告)号：KR100108839B1
公开(公告)日：1996-12-06
申请号：KR1019930003474
申请日：1993-03-09
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 요시즈미케이이찌 , 쿠보케이시
IPC分类号： G01N21/23

3. 发明公开

KR1019960018638A 원자간력현미경 失效
标题翻译：原子力显微镜
公开(公告)号：KR1019960018638A
公开(公告)日：1996-06-17
申请号：KR1019950044101
申请日：1995-11-28
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 한다코지 , 쿠보케이시 , 도이마사테루 , 요시즈미케이이찌
IPC分类号： G02B21/00
摘要： 본 발명은, 한쪽지지빔의 자유단부에 침이 장착되어서 이루어진 탐침의 선단부와, 시료표면과의 사이에 작용하는 원자간력에 의해 발생하는 탐침의 변위를 광학적으로 검출하는 원자간력현미경에 관하여, 특히 대형·대면적의 시료에 대응하는데 적합한 원자간력현미경에 관한 것으로서, 시료를 고정한 상태로, 탑침쪽을 주사해서, 원활하고 또한 정확하게 측정을 행할 수 있고, 종래에는 불가능했던 대형·대면적의 시료를 비파괴상태로 측정할 수 있는 원자간력현미경을 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 공초점렌즈(107) 및 탐침(110)을 구비한 Z방향주사블록(23)과, Z방향주사블록(23)을 시료(41)표면에 대해서 수직방향으로 이동시키는 Z방향스캐너(26)와, Z방향주사블록(23), Z방향스캐너(26) 및 미러(106)를 구비한 X방향주사블록(21)과, X 방향주사블록(21)을 시료(41)표면에 대해서 평행인 면내의 제1의 측방향으로 이동시키는 X방향스캐너(24)와, X방향주사블록(21), X방향스캐너(24), 검출광방사계(101),(102),(104),(105) 및 변위검출계(105),(104),(111),(112)를 구비한 Y방향주사블록(22)과, Y방향주사블록(22)을 시료(41)표면에 대해서 평행인 면내의 제1의 축방향으로 직교하는 제2의 축방향으로 이동시기는 Y방향스캐너(25)를 구비한 것을 특징으로 한 것이다.

4. 发明公开

KR1019910017164A 미소변위 검출장치 失效
公开(公告)号：KR1019910017164A
公开(公告)日：1991-11-05
申请号：KR1019910003676
申请日：1991-03-07
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 쿠보케이시 , 이또오타쯔오
IPC分类号： G01B11/02
摘要： 내용 없음

5. 发明授权

KR1019960013676B1 미소변위검출방법 失效
标题翻译：测量微小位移的方法
公开(公告)号：KR1019960013676B1
公开(公告)日：1996-10-10
申请号：KR1019920011358
申请日：1992-06-27
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 쿠보케이시 , 이케모토요시히로 , 이또타쯔오
IPC分类号： G01B11/16
CPC分类号： G01Q20/02 , G01B11/026 , G01B11/303
摘要： 내용 없음.

6. 发明授权

KR100077778B1 미소변위 검출장치 失效
公开(公告)号：KR100077778B1
公开(公告)日：1994-09-29
申请号：KR1019910003676
申请日：1991-03-07
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 쿠보케이시 , 이또오타쯔오
IPC分类号： G01B11/02

7. 发明公开

KR1019930020154A 복굴절측정장치 失效
公开(公告)号：KR1019930020154A
公开(公告)日：1993-10-19
申请号：KR1019930003474
申请日：1993-03-09
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 요시즈미케이이찌 , 쿠보케이시
IPC分类号： G01N21/23
摘要： 본 발명은, 피측정물을 회전시키지 않고 2m/sec 점이라고 하는 고속으로 큰 측정물의 복굴절분포를 측정할 수 있는 복굴절측장치를 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 2주파직교편광레이저광을 피측정물(5)에 투과시켜 서로 45°방향에 놓여진 제1의 검광자의 출력으로부터 연산하므로서, 복굴절량과 방향을 동시에 2m/sec로 측정할 수 있는 것을 특징으로 한다.

8. 发明授权

KR100126250B1 미소갭폭측정방법 失效
标题翻译：测量微细孔隙宽度的方法
公开(公告)号：KR100126250B1
公开(公告)日：1997-12-24
申请号：KR1019940000275
申请日：1994-01-10
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 쿠보케이시 , 요시즈미케이이치
IPC分类号： G01B7/14
CPC分类号： G01B7/14 , G01B7/06 , G01B11/02
摘要： 본 발명은, 자기기록장치등의 자기헤드갭의 갭폭측정방법에 관한 것으로서, 자기헤드 등의 0.2μm 이하의 종래의 광학적수법에서는 계측불가능한 미소한 갭폭을 고정밀도로 측정할 수 있는 미소갭폭정방법을 제공하는 것을 목적으로 하며, 그 구성에 있어서, 끝이 예리하게 뾰족한 탐침(1)과 샘플(5)과, 탐침(1)과 샘플(5) 사이에 가해지는 압력을 일정하게 하는 피드백기능과, 탐침(1)과 샘플(5)의 위치를 상대이동시키는 스테이지(6)와, 탐침(1)과 샘플(5) 사이에 바이어스전압을 인가하는 전원(3)과, 탐침(1)과 샘플(5) 사이에 흐르는 전류를 검출하는 앰프(4)와, 신호처리하는 컴퓨터(10)에 의해 구성하고, 상기 바이어스전압인가수단에 교류전원을 사용하고, 앰프의 출력중 교류전원에 동기한 신호를 검출하여 샘플링하므로써 주사방향의 도전성재료와 비도전성 재료로 형성된 샘플(5)의 미세한 갭폭을 계측하는 것을 특징으로 한 것이다.

9. 发明公开

KR1019940022054A 3차원측정용프로우브 失效
标题翻译：探测三维测量
公开(公告)号：KR1019940022054A
公开(公告)日：1994-10-20
申请号：KR1019940004639
申请日：1994-03-10
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 요시즈미케이이치 , 쿠보케이시
IPC分类号： G01B5/03
摘要： 본 발명은 비구면렌즈등의 자유곡면의 형상측정,면조도나 단차(段差)의 형상 측정등을 고정밀도로 저측정압(低測定壓)으로 측정할 수 있는 3차원측정용프로우브를 제공하는 것을 목적으로 한것이며, 그 구성에 있어서, 에어베어링으로 구성된 Z좌표 방향으로 이동가능한 접동부를 가진 가동부의 Z방향끝부분에 장착된 스타일러스와 이 가동부의 Z좌표를 측정하는 수단을르 가지므로서, 정밀도좋게, 측정면의 Z좌표를 측정할 수 있는 것을 특징으로 한 것이다.

10. 发明公开

KR1019940018647A 미소갭폭측정방법 失效
标题翻译：测量微小间隙宽度的方法
公开(公告)号：KR1019940018647A
公开(公告)日：1994-08-18
申请号：KR1019940000275
申请日：1994-01-10
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 쿠보케이시 , 요시즈미케이이치
IPC分类号： G01B7/14
摘要： 본 발명은, 자기기록장치등의 자기헤드갭의 갭폭측정방법에 관한 것으로서, 자기헤드등의 0.2㎛ 이하의 종래의 광학적수법에서는 계측불가능한 미소한 갭폭을 고정밀도로 측정할 수 있는 미소갭폭측정방법을 제공하는 것을 목적으로 하며, 그 구성에 있어서, 끝이 예리하게 뾰족한 탐침(1)과 샘플(5)과, 탐침(1)과 샘플(5)사이에 가해지는 압력을 일정하게 하는 피드백기능과, 탐침(1)과 샘플(5)의 위치를 상대이동시키는 스테이지(6)와, 탐침(1)과 샘플(5)사이에 바이어스전압을 인가하는 전원(3)과, 탐침(1)과 샘플(5)사이에 흐르는 전류를 검출하는 앰프(4)와, 신호처리하는 컴퓨터(10)에 의해 구성하고, 상기 바이어스전압 인가수단에 교류전원을 사용하고, 앰프의 출력중 교류전원에 동기한 신호를 검출하여 샘플링하므로써 주사방향의 도전성 재료와 비도전 재료로 형성된 샘플(5)의 미세한 갭폭을 계측하는 것을 특징으로 한다.

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