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1. 发明公开

KR1020130124309A 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법 无效
标题翻译：屏幕打印设备和画面打印方法
公开(公告)号：KR1020130124309A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：KR1020137009983
申请日：2011-10-17
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 아베세이코우 , 야자와다카시
IPC分类号： B41F15/08 , B41F15/26 , B41M1/12 , H05K3/34
CPC分类号： G06K15/02 , B41F15/26 , B41M1/12 , H05K1/0269 , H05K3/1216 , H05K2201/09918 , H05K2203/166
摘要： 기판과 마스크 플레이트를 촬상 대상으로 하며 2개의 촬상 광축을 갖춘 촬상 유닛을 수평 이동시키는 구성에 있어서, 생산 개시전의 점검 시간이나 생산 계속 과정에서 기판 위치 결정 정밀도의 양부를 쉽게 확인할 수 있는 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 기판 및 마스크의 위치 결정을 위해 인식 마크의 위치를 검출하는 것을 목적으로 실행되는 마크 촬상 공정 이전에, 촬상 광축 사이의 수평 방향 상대 위치를 검출하는 광축 캘리브레이션 처리 공정과, 촬상 유닛의 이동에 기인하여 생기는 촬상 광축의 국지적인 위치 어긋남을 검출하는 면 보정 데이터 작성 처리 공정을 실행한다. 생산 개시 전에, 검증용 기판 및 검증용 마스크를 이용하여 기판 위치 결정 정밀도를 평가하기 위한 생산 개시전 정밀도 평가 공정을 실행하고, 생산 개시 후에, 실생산용 기판 및 실생산용 마스크를 이용하여, 생산 개시 후의 기판 위치 결정 정밀도를 평가하는 생산 개시후 정밀도 평가 공정을 실행한다.

2. 发明公开

KR1020140063505A 액제 도포 장치 및 액제 도포 방법 无效
标题翻译：液体应用器件和液体应用方法
公开(公告)号：KR1020140063505A
公开(公告)日：2014-05-27
申请号：KR1020137021508
申请日：2012-03-13
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 노노무라마사루 , 아베세이코우
IPC分类号： B05C13/00 , B05D3/00 , H01L21/677
CPC分类号： B05C13/00 , H01L21/6715 , H01L21/67178 , H01L21/67745 , H01L21/67769 , H01L21/67778 , B05D3/00 , H01L21/67703
摘要： 액제 도포 장치(1)는 액제(Q)가 도포되기 전의 기판(4)을 수용하는 기판 공급용 매거진(5)이 설치되는 기판 공급부(R1)와, 기판 공급부(R1)에 설치된 기판 공급용 매거진(5)으로부터 추출되어 작업 위치로 이송된 기판(4)에 액제(Q)를 도포하는 도포 헤드(14)와, 도포 헤드(14)에 의해 액제가 도포된 기판(4)을 수용하는 기판 회수용 매거진(5)이 설치되는 기판 회수부(R2)를 포함한다. 기판 공급부(R1)와 기판 회수부(R2)는 상하 방향으로 병렬로 배치된다.

3. 发明公开

KR1020080077108A 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법 有权
标题翻译：屏幕打印设备和画面打印方法
公开(公告)号：KR1020080077108A
公开(公告)日：2008-08-21
申请号：KR1020087011260
申请日：2006-11-10
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 아베세이코우 , 토키타쿠니히코 , 미야하라세이이치 , 이나바유주루
IPC分类号： B41F15/16 , B41F15/08 , B41F15/18 , B41F15/22
CPC分类号： H05K3/1216 , B41F15/22 , B41P2215/114 , H05K2203/0165
摘要： Movable claws 13 are formed in clampers 10 holding a substrate 3 so that the movable claws can be selectively moved to a position where they have projected above the substrate 3, and to a position where they have retreated from above the substrate 3. Thereby, the safety of operation is ensured by causing the movable claws 13 to retreat during maintenance. Moreover, printing with high precision can be performed in a state where the surface of the substrate 3 and the rear face of the mask 2 are brought into surface contact with each other without any clearance by causing the movable claws 13 to retreat.
摘要翻译：活动爪13形成在保持基板3的夹持器10中，使得可动爪可以选择性地移动到它们已经突出到基板3上方的位置，并且到达它们已经从基板3的上方退回的位置。因此，通过使可动爪13在维护期间退回来确保操作的安全性。此外，可以通过使可动爪13退回，在基板3的表面和面罩2的表面彼此表面接触而没有任何间隙的状态下，可以进行高精度的打印。

4. 发明公开

KR1020140063504A 액제 도포 장치 및 액제 도포 방법 无效
标题翻译：液体剂施用装置和液体剂施用方法
公开(公告)号：KR1020140063504A
公开(公告)日：2014-05-27
申请号：KR1020137021505
申请日：2012-03-13
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 노노무라마사루 , 아베세이코우
IPC分类号： B05C13/00 , B05D3/00 , H01L21/677 , B05D7/00
CPC分类号： B05C13/00 , H01L21/6715 , H01L21/67178 , H01L21/67745 , H01L21/67769 , H01L21/67778 , B05D3/00 , B05D7/00 , H01L21/67703
摘要： 액제 도포 장치(1)는 액제가 도포되기 전의 기판(4)을 수용하는 기판 공급용 매거진(5)이 설치되는 기판 공급부(R1)와, 작업 위치로 이송된 기판(4)에 액제(Q)를 도포하는 도포 헤드(14)와, 액제가 도포된 기판(4)을 수용하는 기판 회수용 매거진(5)이 설치되는 기판 회수부(R2)를 포함한다. 이 액제 도포 장치(1)에서는, 기판 공급부에 설치된 기판 공급용 매거진(5)을 새로운 기판 공급용 매거진(5)으로 교환할 경우에, 기판 회수부(R2)로부터 기판 회수용 매거진(5)이 제거되고, 이제껏 기판 공급부(R1)에 설치되어 있던 기판 공급용 매거진(5)이, 후속해서 사용하는 기판 회수용 매거진(5)으로서 기판 회수부(R2)로 이동한 다음에, 기판 공급부(R1)에 새로운 기판 공급용 매거진(5)이 설치된다.

5. 发明公开

KR1020130124313A 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법 无效
公开(公告)号：KR1020130124313A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：KR1020137010114
申请日：2011-10-17
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 아베세이코우 , 야자와다카시
IPC分类号： B41F15/08 , B41F15/26 , B41M1/12 , H05K3/34
CPC分类号： B41F15/08 , B41F15/0881 , B41F33/0081 , B41M1/12 , B41P2215/112 , B41P2215/114 , H05K3/0008 , H05K3/1216 , H05K3/3484 , Y10S101/36
摘要： 기판과 마스크 플레이트를 촬상 대상으로 하며 2개의 촬상 광축을 갖춘 촬상 유닛을 수평 이동시키는 구성에 있어서, 촬상 광축간의 상대 위치의 오차나 촬상 유닛의 이동에 기인하여 생기는 위치 오차를 적절하게 보정함으로써 기판 위치 결정 정밀도를 향상시킬 수 있는 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 기판 및 마스크의 위치 결정을 위해 인식 마크의 위치를 검출하는 것을 목적으로 실행되는 마크 촬상 공정 이전에, 촬상 광축 사이의 수평 방향 상대 위치를 검출하는 광축 캘리브레이션 처리 공정과, 촬상 유닛의 이동에 기인하여 생기는 촬상 광축의 국지적인 위치 어긋남을 검출하는 면 보정 데이터 작성 처리 공정을 실행한다. 생산 개시 전에, 검증용 기판 및 검증용 마스크를 이용하여 기판 위치 결정 정밀도를 평가하기 위한 생산 개시전 정밀도 평가 공정을 실행하고, 생산 개시 후에, 실생산용 기판 및 실생산용 마스크를 이용하여, 생산 개시 후의 기판 위치 결정 정밀도를 평가하는 생산 개시후 정밀도 평가 공정을 실행한다.

6. 发明公开

KR1020090103693A 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법 无效
标题翻译：屏幕打印设备和画面打印方法
公开(公告)号：KR1020090103693A
公开(公告)日：2009-10-01
申请号：KR1020087020069
申请日：2007-12-26
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 미야하라세이치 , 아베세이코우 , 토키타쿠니히코
IPC分类号： B41F15/42 , H05K3/12
CPC分类号： B41F15/423 , B41M1/12 , H05K3/1233 , H05K2203/0139 , H05K2203/0271
摘要： A screen printing apparatus and a screen printing method facilitating to adjust a state of filling a paste. By adjusting a pneumatic pressure of pressing a squeezee 9a formed with a flexible region at at least a portion thereof to a surface of a mask 2, the squeezee 9a is moved up and down to follow recesses and projections of a surface of the mask 2 substantially in real time and an attack angle Θ in sliding is maintained substantially constant. Thereby, a state of filling a paste can be stabilized without being influenced by recesses and projections of the surface of the mask 2 and promotion of a print quality can be expected. Further, bending is produced at the squeezee 9a by only adjusting the pneumatic pressure, and therefore, an attack angle Θ in correspondence with a change in a print condition of a kind or a property of the paste, a thickness of the mask and the like can easily be changed.
摘要翻译：丝网印刷装置和丝网印刷方法有助于调节填充糊状态。通过调节在其至少一部分上形成有柔性区域的挤压件9a将压力压到掩模2的表面上的气动压力，挤压器9a上下移动以跟随掩模2的表面的凹陷和突起基本上并且滑动中的攻角θ保持基本恒定。因此，可以稳定填充糊状的状态，而不会受到掩模2的表面的凹凸的影响，并且可以期望提高打印质量。此外，通过仅调节气动压力在挤压件9a处产生弯曲，因此，与糊状物的种类或性质，面罩厚度等的打印条件的变化相对应的冲击角θ 可以很容易地改变。

7. 发明公开

KR1020080075109A 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법 无效
标题翻译：屏幕打印设备和画面打印方法
公开(公告)号：KR1020080075109A
公开(公告)日：2008-08-14
申请号：KR1020087011278
申请日：2006-11-10
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 야마사키키미유키 , 아베세이코우 , 후카가와타카히로
IPC分类号： B41F15/00 , B41F15/08
CPC分类号： B41F15/0813 , H05K1/0269 , H05K3/0008 , H05K3/1216 , H05K2203/166 , Y10S101/36
摘要： The clearance (d) between a substrate (3) and a mask (2) can be reduced at the time of the position recognition by horizontally offsetting two recognition devices (53,54) for recognizing the substrate (3) and the mask (2). Therefore, since the ascending stroke of the substrate (3) can be shortened at the time of the position alignment to contact the rear face of the substrate (3) with the rear face of the mask (2), the position misalignment of the substrate in the horizontal direction caused by the raising is suppressed. Accordingly, it is possible to suppress the reduction of the position alignment accuracy with the mask (2).
摘要翻译：通过水平偏移用于识别基板（3）和掩模（2）的两个识别装置（53,54），在位置识别时可以减小基板（3）和掩模（2）之间的间隙（d））。因此，由于在基板（3）的后表面与掩模（2）的背面接触的位置对准时可以缩短基板（3）的上升行程，所以基板的位置偏移在水平方向引起的升高被抑制。因此，可以通过掩模（2）抑制位置对准精度的降低。

8. 发明授权

KR101339996B1 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법 有权
标题翻译：屏幕打印设备和画面打印方法
公开(公告)号：KR101339996B1
公开(公告)日：2013-12-10
申请号：KR1020087011260
申请日：2006-11-10
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 아베세이코우 , 토키타쿠니히코 , 미야하라세이이치 , 이나바유주루
IPC分类号： B41F15/16 , B41F15/08 , B41F15/18 , B41F15/22
CPC分类号： H05K3/1216 , B41F15/22 , B41P2215/114 , H05K2203/0165
摘要： 기판(3)을 유지하는 클램퍼(10)에 가동 갈고리(13)를 설치하고, 기판(3)의 상방으로 돌출한 위치와 기판(3)의 상방으로부터 후퇴한 위치로 선택적으로 이동 가능하게 했다. 이에 따라, 유지보수시에는 가동 갈고리(13)를 후퇴시킴에 따라 작업의 안전성이 확보된다. 또한 가동 갈고리(13)를 후퇴시킴에 따라, 기판(3)의 표면과 마스크(2)의 이면을 틈새 없이 접한 상태로 정밀도가 높은 인쇄를 행할 수 있다.
기판, 가동 갈고리

9. 发明公开

KR1020130124312A 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법 无效
标题翻译：屏幕打印设备和画面打印方法
公开(公告)号：KR1020130124312A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：KR1020137010065
申请日：2011-10-17
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 아베세이코우 , 야자와다카시
IPC分类号： B41F15/08 , B41F15/26 , B41M1/12 , H05K3/34
CPC分类号： G06T7/004 , B41F15/26 , B41M1/12 , B41P2233/52 , G06T7/70 , H05K3/0008
摘要： 기판과 마스크 플레이트를 촬상 대상으로 하며 2개의 촬상 광축을 갖춘 촬상 유닛을 수평 이동시키는 구성에 있어서, 생산 개시전의 점검 시간에 기판 위치 결정 정밀도의 양부를 쉽게 확인할 수 있는 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 기판 및 마스크의 위치 결정을 위해 인식 마크의 위치를 검출하는 것을 목적으로 실행되는 마크 촬상 공정 이전에, 촬상 광축 사이의 수평 방향 상대 위치를 검출하는 광축 캘리브레이션 처리 공정과, 촬상 유닛의 이동에 기인하여 생기는 촬상 광축의 국지적인 위치 어긋남을 검출하는 면 보정 데이터 작성 처리 공정을 실행한다. 생산 개시 전에, 검증용 기판 및 검증용 마스크를 이용하여 기판 위치 결정 정밀도를 평가하기 위한 생산 개시전 정밀도 평가 공정을 실행하고, 생산 개시 후에, 실생산용 기판 및 실생산용 마스크를 이용하여, 생산 개시 후의 기판 위치 결정 정밀도를 평가하는 생산 개시후 정밀도 평가 공정을 실행한다.
摘要翻译：在为了检测用于定位基板和掩模的识别标记的位置而执行的标记成像处理之前，检测成像光轴之间的水平相对位置的光轴校准处理处理和表面校正数据创建处理处理检测由成像单元的移动引起的成像光轴的局部位置偏差。在开始生产之前，通过使用验证基板和验证掩模执行用于评估基板定位精度的生产预启动精度评估处理，并且在开始生产之后，用于评估基板定位精度的生产后启动精度评估处理开始生产后，通过使用商业生产基材和商业生产掩模来执行生产。

10. 发明公开

KR1020130124310A 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법 无效
公开(公告)号：KR1020130124310A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：KR1020137010039
申请日：2011-10-17
申请人： 파나소닉 주식회사
发明人： 아베세이코우 , 야자와다카시
IPC分类号： B41F15/08 , B41F15/26 , B41M1/12 , H05K3/34
CPC分类号： B41F15/08 , B41F15/26 , B41M1/12 , H05K1/0269 , H05K3/1216 , H05K2201/09918 , H05K2203/166
摘要： 기판과 마스크 플레이트를 촬상 대상으로 하며 2개의 촬상 광축을 갖춘 촬상 유닛을 수평 이동시키는 구성에 있어서, 생산 계속 과정에서 기판 위치 결정 정밀도의 양부를 쉽게 확인할 수 있는 스크린 인쇄 장치 및 스크린 인쇄 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 기판 및 마스크의 위치 결정을 위해 인식 마크의 위치를 검출하는 것을 목적으로 실행되는 마크 촬상 공정 이전에, 촬상 광축 사이의 수평 방향 상대 위치를 검출하는 광축 캘리브레이션 처리 공정과, 촬상 유닛의 이동에 기인하여 생기는 촬상 광축의 국지적인 위치 어긋남을 검출하는 면 보정 데이터 작성 처리 공정을 실행한다. 생산 개시 전에, 검증용 기판 및 검증용 마스크를 이용하여 기판 위치 결정 정밀도를 평가하기 위한 생산 개시전 정밀도 평가 공정을 실행하고, 생산 개시 후에, 실생산용 기판 및 실생산용 마스크를 이용하여, 생산 개시 후의 기판 위치 결정 정밀도를 평가하는 생산 개시후 정밀도 평가 공정을 실행한다.

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