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1. 发明公开

KR1020170137181A 스폿 주사 웨이퍼 검사 시스템의 런타임 정렬 시스템 및 방법 审中-实审
标题翻译：运行时对准系统和点扫描晶片检测系统的方法
公开(公告)号：KR1020170137181A
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：KR1020177032833
申请日：2016-04-20
申请人： 케이엘에이-텐코 코포레이션
发明人： 설리반제이미 , 카이웬지안 , 카오카이
IPC分类号： G01N21/95 , G01N21/88 , G01N21/956 , G02B13/00
CPC分类号： G02B13/0095 , G01N21/9501 , G01N21/95607 , G01N2201/106 , G01N2201/12
摘要： 런타임정렬기능이있는스폿주사이미징시스템은샘플을가로질러집속조명빔을선형으로주사하도록구성된빔 주사장치와, 샘플로부터광을수신하도록배치된하나이상의검출기와, 상기빔 주사장치, 상기샘플스테이지, 및상기하나이상의검출기에통신적으로결합된제어기를포함한다. 제어기는제1 이미지를저장하고, 구동신호집합을빔 주사장치, 샘플스테이지, 또는하나이상의검출기중의적어도하나에전송하고, 하나이상의오프셋오차를결정하기위해제2 샘플링그리드의적어도일부를제1 샘플링그리드의적어도일부와비교하고, 제2 샘플그리드가제1 샘플그리드에겹쳐지도록상기하나이상의오프셋오차에기초하여상기구동신호집합내의적어도하나의구동신호를조정하도록구성된다.
摘要翻译：具有运行时间对准功能的点扫描成像系统包括：射束扫描装置，其被配置为线性扫描穿过样本的聚焦照射束;一个或多个检测器，其被设置为接收来自样本的光; 以及通信地耦合到一个或多个检测器的控制器。所述控制器存储所述第一图像，所述驱动信号而设定的光束扫描设备，一个试样台，或至少花枝传输，和至少一部分所述第二采样网格的第一采样栅格，以确定一个或多个检测器中的至少一个偏移误差并且基于所述一个或多个偏移误差来调整所述一组驱动信号中的至少一个驱动信号，使得所述第二采样栅格与所述第一采样栅格重叠。

2. 发明公开

KR1020150132283A 광학 크로스토크의 억제를 위한 인터리빙된 음향-광학 디바이스 스캐닝 审中-实审
标题翻译：用于抑制光学CROSSTALK的交互式光学设备扫描
公开(公告)号：KR1020150132283A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：KR1020157028343
申请日：2014-03-13
申请人： 케이엘에이-텐코 코포레이션
发明人： 설리번제이미 , 카이원지엔 , 존슨랄프 , 브렌더마이어 , 왕마크에스. , 러년렉스 , 카오카이 , 츄린예프게니
IPC分类号： G01N29/24 , G01N29/04 , H01L21/66
CPC分类号： G01N29/2418 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2291/2697
摘要： 샘플을스캐닝하는방법은복수의동일선상의스캔들을동시에형성하는것을포함한다. 각스캔은음향-광학디바이스(AOD)에의한스팟의스위프에의해형성된다. 동일선상의스캔들은미리결정된간격에의해분리된다. 제 1 복수의스와스들은동일선상의스캔들에수직인방향으로복수의동일선상의스캔들의동시형성을반복함으로써형성된다. 제 1 복수의스와스들은미리결정된간격과동일한스와스간간격을갖는다. 제 2 복수의스와스들은제 1 복수의스와스들에인접하게형성될수 있다. 제 2 복수의스와스들의형성은제 1 복수의스와스들의방향과반대방향또는동일방향으로형성될수 있다. 검사시스템은배율변경기뒤에회절광학요소(DOE)를포함함으로써이 방법을구현할수 있다.

3. 发明公开

KR1020160072237A 바이어스 변형 광전자 증배관 审中-实审
标题翻译：偏光变色管
公开(公告)号：KR1020160072237A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：KR1020167013122
申请日：2014-10-20
申请人： 케이엘에이-텐코 코포레이션
发明人： 맥케이데릭 , 돈더스폴 , 카오카이 , 임정식
IPC分类号： H01J43/20 , H01J40/16 , H01J40/12 , H01J43/24
CPC分类号： H01J40/12 , H01J40/16 , H01J43/20 , H01J43/24
摘要： 바이어스변형광전자증배관(PMT)은동작시에광자를흡수하고흡수된광자에응답하여광전자를방사하는광음극을포함한다. 바이어스변형 PMT는또한상기광음극에의해방사된광전자를수신하는복수의다이노드를포함한다. 상기복수의다이노드는제1 바이어스차를가진제1쌍의다이노드와제2 바이어스차를가진적어도제2쌍의다이노드를포함한다. 제2 바이어스차는제1 바이어스차보다더 크다. 바이어스변형 PMT는상기복수의다이노드로부터지향된광전자를수신하는애노드를또한포함한다.

4. 发明公开

KR1020150130543A 스캐닝 웨이퍼 검사 시스템의 이미지 동기화 审中-实审
标题翻译：扫描波形检测系统的图像同步
公开(公告)号：KR1020150130543A
公开(公告)日：2015-11-23
申请号：KR1020157029454
申请日：2014-03-13
申请人： 케이엘에이-텐코 코포레이션
发明人： 카오카이 , 엠지데니스 , 왕지킨 , 설리번제이미 , 카이웬지안 , 니엘센헨릭
IPC分类号： G01N21/95 , G06T7/00 , H01L21/66
CPC分类号： G06T7/0004 , G01N21/9501
摘要： 검사시스템은견본의스캔부분들을가로질러스팟들을편향하기위한빔 생성기모듈을포함한다. 시스템은또한그러한견본쪽으로향하는입사빔에응답하여견본으로부터나오는광을감지하고, 각스캔부분에대한검출된이미지를생성하기위한검출채널들을또한포함한다. 시스템은규정된주파수에서스캔부분들을가로질러스팟들을스캐닝하기위해빔 생성기모듈의편향기들에대한타이밍신호들을생성하기위한클록생성기모듈들과, 규정된샘플링율에서대응하는검출된이미지를생성하기위해각 검출채널들을포함하는동기화시스템을포함한다. 타이밍신호는공통시스템클록에기초하여생성되고, 편향기들이응답이미지에서스캔부분들사이의지터를최소화하기위해동기화된이미지에서검출된이미지를생성하도록스팟및 검출채널을스캐닝하도록한다.

5. 发明公开

KR1020140093295A 스폿 스캐닝 시스템에 대한 강화된 고속 대수 광검출기 审中-实审
标题翻译：用于点扫描系统的增强型高速对称光电探测器
公开(公告)号：KR1020140093295A
公开(公告)日：2014-07-25
申请号：KR1020147019761
申请日：2012-12-14
申请人： 케이엘에이-텐코 코포레이션
发明人： 울프랄프 , 첸그레이스 , 카오카이 , 설리번제이미 , 돈더스폴 , 맥케이데릭
IPC分类号： G01N21/956 , G01B11/24 , H01L21/66
CPC分类号： G01N21/00 , G01B11/24 , G01N21/8851 , G01N21/9501 , G01N21/956
摘要： 견본을 검사 또는 측정하기 위한 장치 및 방법이 개시된다. 각각의 스캔 부분으로부터의 출력 빔 프로파일이 광전자 증배관(PMT)에 의해 연속하여 집광되도록, 견본의 복수의 연속 스캔 부분들에 걸쳐 입사 빔이 지향되고, 스캔 부분들은 적어도 하나 이상의 제1 스캔 부분들 및 하나 이상의 제1 스캔 부분들 후에 스캔되는 다음 스캔 부분을 포함한다. 입사 빔이 견본의 하나 이상의 제1 스캔 부분들로 지향된 후에 또는 그 동안, 각각의 제1 스캔 부분에 대하여 PMT에 의해 집광된 출력 빔 프로파일에 기초하여 각각의 제1 스캔 부분에 대한 출력 신호가 획득된다. 각각의 하나 이상의 제1 스캔 부분들에 대하여 획득되는 출력 신호에 기초하여 다음 스캔 부분에 대한 예상 출력 빔 프로파일이 결정된다. 입사 빔이 다음 스캔 부분을 향해 지향될 때, 예상 출력 빔 프로파일에 기초하여 다음 스캔 부분에 대한 PMT에의 이득 입력이 설정되며, 그리하여 이러한 다음 스캔 부분에 대한 이득의 결과로서 PMT에서의 측정 신호가 PMT 또는 PMT로부터 측정 신호를 수신하는 다른 하드웨어 컴포넌트의 미리 정의된 사양 내에 속하게 된다.

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