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    • 1. 发明授权
    • 액정 배향막 표면 검사 장치 및 방법
    • 液晶对准层表面检测装置及方法
    • KR100974478B1
    • 2010-08-10
    • KR1020080055651
    • 2008-06-13
    • 청주대학교 산학협력단(주)그린광학
    • 정치섭이익희
    • G02F1/1337
    • 본 발명은 피검사물의 표면 상태를 조사하기 위한 광을 출사하는 광원부와, 상기 출사된 광이 입사되어 피검사물의 표면 상태를 검사하기 위한 피검사물 지지대 및 상기 입사된 광의 반사광을 검출하여 변환하는 카메라와 모니터로 이루어진 수광부를 구비하는 액정 배향막 표면 검사 장치에 있어서, 상기 광원부와 피검사물 사이에 위치하여 상기 출사된 광을 편광시킨 후 피조사 대상 표면에 편광된 빛을 내보내는 편광자; 및 상기 편광된 빛이 피조사물 표면에 사각으로 입사되어 반사한 광을 검출 및 제어하는 결상제어수단;을 더 구비하며, 상기 광원부는 상기 광원부에서 출사되고 상기 피검사물에 반사되어 상기 결상제어수단에 입사되는 각도의 범위가 상기 피검사물의 굴절율에 따른 브루스터각을 포함하도록 단색광이고 결맞음(Coherent) 특성이 없는 평행한 광을 출력하는 RC LED를 광원으로 사용하는 것을 특징으로 하는 액정 배향막 표면 검사 장치를 제공한다.
      배향막, 러빙홈, 검사
    • 2. 发明公开
    • 액정 배향막 표면 검사 장치 및 방법
    • 用于检查液晶对准层表面的装置和方法
    • KR1020090129631A
    • 2009-12-17
    • KR1020080055651
    • 2008-06-13
    • 청주대학교 산학협력단(주)그린광학
    • 정치섭이익희
    • G02F1/1337
    • G02F1/1309G01N21/95G01N2021/9513G02F1/1337
    • PURPOSE: A liquid crystal alignment film surface testing apparatus and a method thereof are provided to test a defect of a minute groove on a substrate with a minute groove like a rubbing groove formed on an alignment film of a liquid crystal display device. CONSTITUTION: A polarizer(12) is located between a light source part(10) and a to-be-tested object. The polarizer polarizes emitting light. The polarizer emits the polarized light on the surface of the to be tested object. A phase-contrast microscope detects and controls light incident on the surface of the to-be- tested object at a dead angle and reflected. A light source(11) of the light source unit is singular light and parallel light which does not have a coherent characteristic.
    • 目的:提供一种液晶取向膜表面试验装置及其方法,用于在液晶显示装置的取向膜上形成有诸如摩擦槽的微小凹槽来测试基板上的微小凹槽的缺陷。 构成:偏振器(12)位于光源部分(10)和待测物体之间。 偏振器偏振发光。 偏振器发射待测物体表面上的偏振光。 相位显微镜以死角检测并控制入射在待测试物体的表面上的光并反射。 光源单元的光源(11)是不具有相干特性的奇异光和平行光。
    • 4. 发明公开
    • 3차원 표면 형상 측정 장치 및 방법과 그 시스템
    • 用于测量三维表面形状的装置和方法及其系统
    • KR1020110060041A
    • 2011-06-08
    • KR1020090116509
    • 2009-11-30
    • (주)그린광학
    • 이익희이기훈안창준정호윤한명
    • G01B11/24G06T15/00
    • PURPOSE: Apparatus, method, and system for measuring a 3D surface shape are provided to enable vertical focusing on a target and same-interval linear scanning using a telecentric F-Theta lens as the lens of a device for measuring the 3D surface shape. CONSTITUTION: An apparatus for measuring a 3D surface shape comprises a light source(141), a rotating mirror(145), a telecentric F-Theta lens(147), a light sensor(149) and a half reflector(143). The light source radiates laser light to the surface of a target, of which 3D surface shape is measured. The rotating mirror rotates at a given speed and deflects laser lights, which are radiated from the light source and reflected from the target. The telecentric F-Theta lens makes the laser light deflected from the rotating mirror enter the surface of the target perpendicular. The telecentric F-Theta lens linearly moves the laser light along the surface of the target and scans the surface of the target.
    • 目的:提供用于测量3D表面形状的装置,方法和系统,以使得能够使用远心F-Theta透镜作为用于测量3D表面形状的装置的透镜的目标和相同间隔线性扫描上的垂直聚焦。 构成:用于测量3D表面形状的装置包括光源(141),旋转镜(145),远心F-Theta透镜(147),光传感器(149)和半反射器(143)。 光源将激光照射到目标的表面,其中测量3D表面形状。 旋转镜以给定的速度旋转,并使从光源辐射并从目标反射的激光偏转。 远心F-Theta镜头使从旋转镜反射的激光进入目标垂直的表面。 远心F-Theta透镜沿着目标表面直线移动激光并扫描目标表面。