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1. 发明授权

KR100488491B1 필름 벌크 탄성파 공진기 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：薄膜体积声谐振器及其制造方法
公开(公告)号：KR100488491B1
公开(公告)日：2005-05-11
申请号：KR1020020083537
申请日：2002-12-24
申请人： 주식회사 한국전자홀딩스
发明人： 이광진 , 안순홍
IPC分类号： H03H3/08
摘要： 이 발명은 필름 벌크 탄성파 공진기 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 상,하부전극으로 알루미늄을 사용할 수 있어 타겟 코스트(target cost)를 절감할 수 있고, 상,하부 전극 및 압전층을 동일한 챔버(chamber)에서 증착함은 물론, 동일한 에천트로 에칭할 수 있어 생산성을 극대화시킬 수 있도록, 판상의 반도체 서브스트레이트와, 상기 반도체 서브스트레이트의 상면에 증착된 알루미늄(Al) 재질의 하부전극과, 상기 하부전극의 상면에 일정 두께로 증착된 알루미늄나이트라이드(AlN) 재질의 압전층과, 상기 압전층의 상면에 증착된 알루미늄(Al) 재질의 상부전극을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 함.

2. 发明公开

KR1020040057089A 필름 벌크 탄성파 공진기 및 그 제조 방법 有权
标题翻译：电影大容量声学谐振器及其制作方法
公开(公告)号：KR1020040057089A
公开(公告)日：2004-07-02
申请号：KR1020020083537
申请日：2002-12-24
申请人： 주식회사 한국전자홀딩스
发明人： 이광진 , 안순홍
IPC分类号： H03H3/08
CPC分类号： H03H3/08 , H03H3/02 , H03H9/175 , H03H9/706 , H03H9/725
摘要： PURPOSE: A film bulk acoustic resonator and a fabricating method thereof are provided to reduce the target cost by using an aluminum target in a process for forming a bottom electrode and a top electrode. CONSTITUTION: A film bulk acoustic resonator includes a semiconductor substrate, a bottom electrode, a piezoelectric layer, and a top electrode. The semiconductor substrate(110) is formed with a shape of plate. The bottom electrode(130) is deposited on an upper surface of the semiconductor substrate. The bottom electrode is formed with aluminum. The piezoelectric layer(140) is formed by depositing aluminum nitride on an upper surface of the bottom electrode. The top electrode(150) is formed by depositing aluminum deposited on an upper surface of the piezoelectric layer.
摘要翻译：目的：提供一种薄膜体声波谐振器及其制造方法，用于在形成底部电极和顶部电极的工艺中使用铝靶来降低目标成本。构成：薄膜体声波谐振器包括半导体衬底，底电极，压电层和顶电极。半导体衬底（110）形成为板状。底部电极（130）沉积在半导体衬底的上表面上。底部电极由铝形成。压电层（140）通过在底部电极的上表面上沉积氮化铝而形成。顶部电极（150）通过沉积沉积在压电层的上表面上的铝形成。

3. 发明授权

KR100455699B1 표면 탄성파 필터 장치 失效
标题翻译： 표면탄성파필터장치
公开(公告)号：KR100455699B1
公开(公告)日：2004-11-06
申请号：KR1020020061520
申请日：2002-10-09
申请人： 주식회사 한국전자홀딩스
发明人： 안순홍
IPC分类号： H03H9/64
摘要： PURPOSE: A surface acoustic wave filter is provided to improve a characteristic of the surface acoustic wave filter by increasing an area of a filter pattern of a filter chip or lowering an inductance value. CONSTITUTION: A surface acoustic wave filter includes an insulating substrate(4) including a plurality of conductive wiring patterns, a filter chip including a plurality of electrode pads and a surface acoustic pattern, a plurality of conductive balls for connecting the electrode pads to the conductive wiring patterns, a cap for isolating the filter chip from the outside, and a plurality of conductive pads connected to the conductive wiring patterns through a conductive via hole. The conductive wiring patterns are formed with a couple of ground patterns(40) and a signal pattern(50). The ground patterns(40) are formed with projection patterns(41), straight patterns(42), and a plurality of ball lands(43) formed on the straight patterns. A ball land(53) is formed on the signal pattern(50).
摘要翻译：目的：提供表面声波滤波器以通过增加滤波器芯片的滤波器图案的面积或降低电感值来改善表面声波滤波器的特性。本发明的弹性表面波滤波器包括具有多个导电布线图案的绝缘基板（4），包括多个电极焊盘和表面声波图案的滤波器芯片，多个用于将电极焊盘连接到导电体布线图案，用于将滤波器芯片与外部隔离的帽，以及通过导电通孔连接到导电布线图案的多个导电焊盘。导电布线图案由一对接地图案（40）和信号图案（50）形成。接地图案（40）由形成在直线图案上的突起图案（41），直线图案（42）和多个球面（43）形成。球面（53）形成在信号图案（50）上。

4. 发明公开

KR1020040003857A 표면 탄성파 필터 失效
标题翻译：表面声学滤波器
公开(公告)号：KR1020040003857A
公开(公告)日：2004-01-13
申请号：KR1020020038681
申请日：2002-07-04
申请人： 주식회사 한국전자홀딩스
发明人： 안순홍 , 이중호
IPC分类号： H03H9/64
CPC分类号： H03H9/64 , H03H9/1092 , H03H9/643 , H03H9/6483
摘要： PURPOSE: A surface acoustic filter is provided to improve the filtering frequency characteristics by forming simultaneously ladder-type and DMS(Doubled Mode coupled SAW)-type surface acoustic filters on one device. CONSTITUTION: A first surface acoustic filter(1) comprises reflectors(2) formed on an opposite place of a substrate surface at a constant distance, a plurality of IDT(Inter Digital metal Transducer) electrodes(4) formed between the reflectors(2), an input electrode(6) formed on a side of the IDT metal electrode(4), and an output electrode(8) formed on the other side of the IDT metal electrode(4). A second surface acoustic filter(11) comprises reflectors(12) formed on an opposite place of a side of the first acoustic filter(11), an IDT electrodes(14) formed between the reflectors(12), an input electrode(16) formed on a side of the IDT metal electrode(14) and connected to the output electrode(6) of the first surface acoustic filter(1), and an output electrode(18) formed on the other side of the IDT metal electrode(14). All the IDT metal electrodes(4,14) have 3000-4500Å in thickness and 4-5um in period.
摘要翻译：目的：提供表面声学滤波器，通过在一个器件上同时形成梯形和DMS（双重耦合SAW）型表面声学滤波器来提高滤波频率特性。构成：第一表面声学滤波器（1）包括以恒定距离形成在基板表面的相对位置处的反射器（2），形成在反射器（2）之间的多个IDT（Inter Digital Metal Transducer），形成在IDT金属电极（4）一侧的输入电极（6）和形成在IDT金属电极（4）的另一侧的输出电极（8）。第二表面声学滤波器（11）包括形成在第一声学滤波器（11）的一侧的相对位置处的反射器（12），形成在反射器（12）之间的IDT电极（14），输入电极（16）形成在IDT金属电极（14）的一侧，与第一声表面波滤波器（1）的输出电极（6）连接，形成在IDT金属电极（14）的另一侧的输出电极）。所有的IDT金属电极（4,14）的厚度为3000-4500，时间为4-5um。

5. 发明公开

KR1020030039505A 표면 탄성파 소자 无效
标题翻译：表面声波设备
公开(公告)号：KR1020030039505A
公开(公告)日：2003-05-22
申请号：KR1020010070444
申请日：2001-11-13
申请人： 주식회사 한국전자홀딩스
发明人： 안순홍 , 이중호 , 정용훈
IPC分类号： H03H9/00
CPC分类号： H03H9/25 , H03H3/08 , H03H9/02984 , H03H9/1092
摘要： PURPOSE: A surface acoustic wave device is provided to easily test an input block by densely forming an input pattern for test and a ground pattern for test electrically connected to an input pattern and a ground pattern of the input block on a scribe line and a region adjacent to the scribe line. CONSTITUTION: A surface acoustic wave device(100) includes a substrate(2) in the form of plate having a piezoelectric characteristics and provided with a plurality of scribe lines(4) and a plurality of columns and lows crossing each other, an input block(10) provided with a plurality of interdigital transducers(IDT)(11,21) formed on a predetermined region consisted by the plurality of scribe lines(4) and an input pattern(14) and a pair of ground patterns(15,25) electrically connected to the IDT(11,21) for converting the electrical signal into a surface acoustic signal, at least one output blocks(20) provided with a plurality of IDTs spaced from the input block(10) by a predetermined distance for converting the surface acoustic signal into an electrical signal by connecting the output pattern(24) and the ground patterns(15,25) to the IDT(11,21), an input test block(IT) provided with an input pattern(17) for test electrically connected to the input pattern(14) of the input block(10) and adjacent to the scribe lines(4), connected to the scribe line(4) through the outside ground line by the ground patterns(15,25) of the input block(10) and the ground patterns(28) for test connected to the scribe lines(4) adjacent to the input pattern(17) for test and an output test block(OT) provided with an output pattern(27) for test electrically connected to the output pattern(24) of the output block(20) and adjacent to the scribe lines(4), connected to the scribe line(4) through the outside ground line by the ground patterns(15,25) of the input block(10) and the ground patterns(28) for test connected to the scribe lines(4) adjacent to the output pattern(27) for test.
摘要翻译：目的：提供一种表面声波装置，用于通过密集形成用于测试的输入图案和用于测试的接地图案来容易地测试输入块，该接地图案电连接到在划线和区域上的输入块的输入图案和接地图案毗邻划线。构成：声表面波装置（100）包括具有压电特性的板状的基板（2），并且设置有多个划线（4）和彼此交叉的多个列和低位，输入块（10），其设置有形成在由所述多个划线（4）和输入图案（14）构成的预定区域上的多个叉指式换能器（IDT）（11,21）和一对接地图案（15,25））电连接到IDT（11,21），用于将电信号转换成表面声信号;至少一个输出块（20），其设置有与输入块（10）间隔预定距离的多个IDT，用于转换通过将输出图案（24）和接地图案（15,25）连接到IDT（11,21）而将表面声信号转换成电信号;输入测试块（IT），其具有输入模式（17），用于测试电连接到输入块（10）的输入模式（14）和通过输入块（10）的接地图案（15,25）和用于测试的接地图案（28）连接到划线（4）的与划线（4）相邻的划线（4）与用于测试的输入图案（17）相邻的划线（4）和输出测试块（OT），输出测试块（OT）具有电连接到输出块（20）的输出图案（24）的用于测试的输出模式（27）通过输入块（10）的接地图案（15,25）和用于测试的接地图案（28）连接到划线（4）的与划线（4）相邻的划线（4）与输出图案（27）相邻的划线（4）用于测试。

6. 发明授权

KR100437495B1 표면 탄성파 필터 失效
标题翻译： 표면탄성파필터
公开(公告)号：KR100437495B1
公开(公告)日：2004-06-25
申请号：KR1020020038681
申请日：2002-07-04
申请人： 주식회사 한국전자홀딩스
发明人： 안순홍 , 이중호
IPC分类号： H03H9/64
摘要： PURPOSE: A surface acoustic filter is provided to improve the filtering frequency characteristics by forming simultaneously ladder-type and DMS(Doubled Mode coupled SAW)-type surface acoustic filters on one device. CONSTITUTION: A first surface acoustic filter(1) comprises reflectors(2) formed on an opposite place of a substrate surface at a constant distance, a plurality of IDT(Inter Digital metal Transducer) electrodes(4) formed between the reflectors(2), an input electrode(6) formed on a side of the IDT metal electrode(4), and an output electrode(8) formed on the other side of the IDT metal electrode(4). A second surface acoustic filter(11) comprises reflectors(12) formed on an opposite place of a side of the first acoustic filter(11), an IDT electrodes(14) formed between the reflectors(12), an input electrode(16) formed on a side of the IDT metal electrode(14) and connected to the output electrode(6) of the first surface acoustic filter(1), and an output electrode(18) formed on the other side of the IDT metal electrode(14). All the IDT metal electrodes(4,14) have 3000-4500Å in thickness and 4-5um in period.
摘要翻译：目的：提供表面声学滤波器，通过在一个器件上同时形成梯形和DMS（双模耦合SAW）型表面声波滤波器，改善滤波频率特性。构成：第一表面声波滤波器（1）包括以恒定距离形成在衬底表面的相对位置上的反射器（2），在反射器（2）之间形成的多个IDT（数字间金属换能器）电极（4），在IDT金属电极（4）一侧上形成的输入电极（6）以及在IDT金属电极（4）的另一侧上形成的输出电极（8）。第二表面声波滤波器（11）包括形成在第一声学滤波器（11）一侧的相对位置上的反射器（12），形成在反射器（12）之间的IDT电极（14），输入电极（16）形成在IDT金属电极（14）的一侧并与第一表面声波滤波器（1）的输出电极（6）连接的输出电极（18），以及形成在IDT金属电极（14）的另一侧上的输出电极）。所有IDT金属电极（4,14）具有3000-4500＆amp; Aring; 厚度和4-5um期间。

7. 实用新型

KR200227161Y1 대역 필터 측정용 고정구 失效
标题翻译：用于带通滤波器测量的夹具
公开(公告)号：KR200227161Y1
公开(公告)日：2001-06-15
申请号：KR2019990004427
申请日：1999-03-19
申请人： 주식회사 한국전자홀딩스
发明人： 안순홍 , 정이봉
IPC分类号： H01P1/04 , H01P1/205
摘要： 본 고안은 대역 필터 측정용 고정구에 관한 것으로서, 중공의 케이스와, 상기 케이스의 외측면에 삽입 결합되고, 합성 수지재의 피복부로 보호된 수평 및 수직 신호 단자핀과, 검사체인 대역 필터와 직접 접촉되는 접촉핀을 갖춘 커넥터를 포함하는 대역 필터 측정용 고정구에 있어서, 상기 수평 및 수직 신호 단자핀의 각 피복부 둘레에는 접지영역을 이룰 수 있도록 그 전체 부분이 상기 케이스로 커버되고, 상기 수평 및 수직 신호 단자핀의 접합부에는 상기 단자핀들과 동일한 임피던스 용량을 갖출 수 있는 부피를 가진 캐비티로 밀봉되는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 고안에 의하면 커넥터에서 임피던스 매칭이 이루어지지 않는 현상을 완벽하게 보상할 수 있으므로 필터 제품의 특성을 정확하게 검사할 수 있을 뿐만 아니라, 별도의 캘리브레이션 키트를 사용할 필요가 없으므로 측정비용 및 소요시간을 대폭적으로 줄일 수 있다.

8. 实用新型

KR2020000018440U 대역 필터 측정용 고정구 失效
标题翻译：用于测试带通滤波器的夹具
公开(公告)号：KR2020000018440U
公开(公告)日：2000-10-16
申请号：KR2019990004427
申请日：1999-03-19
申请人： 주식회사 한국전자홀딩스
发明人： 안순홍 , 정이봉
IPC分类号： H01P1/04 , H01P1/205
摘要： 본고안은대역필터측정용고정구에관한것으로서, 중공의케이스와, 상기케이스의외측면에삽입결합되고, 합성수지재의피복부로보호된수평및 수직신호단자핀과, 검사체인대역필터와직접접촉되는접촉핀을갖춘커넥터를포함하는대역필터측정용고정구에있어서, 상기수평및 수직신호단자핀의각 피복부둘레에는접지영역을이룰수 있도록그 전체부분이상기케이스로커버되고, 상기수평및 수직신호단자핀의접합부에는상기단자핀들과동일한임피던스용량을갖출수 있는부피를가진캐비티로밀봉되는것을특징으로한다. 따라서, 본고안에의하면커넥터에서임피던스매칭이이루어지지않는현상을완벽하게보상할수 있으므로필터제품의특성을정확하게검사할수 있을뿐만아니라, 별도의캘리브레이션키트를사용할필요가없으므로측정비용및 소요시간을대폭적으로줄일수 있다.

9. 发明公开

KR1020030039502A 듀얼 표면 탄성파 소자 无效
标题翻译：双面声波设备
公开(公告)号：KR1020030039502A
公开(公告)日：2003-05-22
申请号：KR1020010070441
申请日：2001-11-13
申请人： 주식회사 한국전자홀딩스
发明人： 안순홍
IPC分类号： H03H9/00
CPC分类号： H03H9/00 , H03H3/08 , H03H9/1092 , H03H9/25
摘要： PURPOSE: A dual surface acoustic wave device is provided to protecting the deterioration of each of the cavities by preventing the resonance frequency generated from a first and a second resonant part from interfering each other. CONSTITUTION: A dual surface acoustic wave device(100) includes a substrate(19) in the form of plate having a piezoelectric characteristics, a plurality of interdigital transducer(IDT)(12) formed on top of the substrate(19), a first resonant part(10) formed thereon a pair of reflectors(15) at both end sides of the IDT(12), a plurality of IDTs(12) formed on a sound track similar to the first resonant part(10) and a second resonant part(20) provided with a pair of reflectors(15) formed both side ends of the IDT(12). The dual surface acoustic wave device further includes an elastic wave traveling prevention groove(17) formed on top of the substrate(19) between the first resonant part(10) and the second resonant part(20) at a predetermined depth.
摘要翻译：目的：通过防止由第一和第二共振部分产生的共振频率相互干扰，提供双声表面波装置以保护每个空腔的劣化。构成：双声表面波装置（100）包括具有压电特性的板形式的基板（19），形成在基板（19）的顶部上的多个叉指换能器（IDT）（12），第一在所述IDT（12）的两端侧形成有一对反射器（15）的谐振部件（10），形成在与所述第一谐振部件（10）类似的声轨上的多个IDT（12）设置有形成IDT（12）的两个侧端的一对反射器（15）的部分（20）。双声表面波装置还包括在预定深度处形成在第一谐振部件（10）和第二谐振部件（20）之间的基板（19）的顶部上的弹性波阻止槽（17）。

10. 实用新型

KR200246480Y1 가변형 듀플렉서 고정구 失效
标题翻译：可变双工器夹具
公开(公告)号：KR200246480Y1
公开(公告)日：2001-10-27
申请号：KR2019990004426
申请日：1999-03-19
申请人： 주식회사 한국전자홀딩스
发明人： 안순홍 , 정이봉 , 정진영
IPC分类号： G01R1/06
摘要： 본 고안은 가변형 듀플렉서 고정구에 관한 것으로서, 복수의 요홈부와 고정용 접촉핀을 갖춘 본체와, 상기 본체의 요홈부 내에 검사 제품(듀플렉서)의 크기 변화에 따라 좌, 우로 대응 이동될 수 있도록 삽입 결합되고, 신호 접속용 접촉핀을 갖춘 이동 부재와, 상기 본체와 이동 부재를 수평 방향으로 받쳐 주는 가아드 부재와, 상기 본체, 이동 부재 및 가아드 부재의 저면을 받쳐 주는 베이스 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 고안에 의하면 하나의 고정구를 이용하여 검사 제품(디플렉서)의 크기와 관계없이 특성 검사가 가능할 뿐만 아니라, 고정구의 제조에 따른 경비의 감은 물론 소요 시간도 대폭 단축시킬 수 있다.

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