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1. 发明公开

KR1020170093542A 기판 지지체 审中-实审
标题翻译：衬底支撑
公开(公告)号：KR1020170093542A
公开(公告)日：2017-08-16
申请号：KR1020160015081
申请日：2016-02-05
申请人： 주식회사 테라세미콘
发明人： 강호영 , 김병섭 , 염현진
IPC分类号： H01L21/673
摘要： 기판지지체(200)가개시된다. 본발명에따른기판지지체(200)는, 기판처리장치(100)의챔버(110a)에투입되어처리되는기판(50)을지지하는지지체(200)로서, 지지체(200)는, 상호대향하는한 쌍의사이드지지부(210)를포함하고, 사이드지지부(210)는, 수평방향으로연장되고, 상호간격을이루며수직방향을따라배치되는복수개의제1 메인바(211) 및복수개의제1 메인바(211)를연결하는적어도하나의제1 연결바(215)를포함하는것을특징으로한다.
摘要翻译：衬底支撑件200打开。根据本发明的基板支撑件200是保持要在基板处理设备100的腔室110a中处理的基板50的支撑件200，侧支撑部分210包括一对侧支撑部分210和沿水平方向延伸且彼此间隔开并且沿着竖直方向布置的多个第一主杆211，以及连接第一连接杆（211）的至少一个第一连接杆（215）。

2. 发明公开

KR1020170091570A 히터 审中-实审
标题翻译：加热器
公开(公告)号：KR1020170091570A
公开(公告)日：2017-08-09
申请号：KR1020170097291
申请日：2017-07-31
申请人： 주식회사 테라세미콘
发明人： 강호영 , 김병섭
IPC分类号： H05B3/16 , H05B3/02 , H05B3/12 , H05B3/14 , H05B3/56
CPC分类号： H05B3/16 , H05B3/02 , H05B3/12 , H05B3/143 , H05B3/56
摘要： 히터가개시된다. 본발명에따른히터는, 내부에열선수용부(130)가형성된플레이트(100) 및열선수용부(130) 내에배치되는열선(200)을포함하고, 열선(200)과맞닿는열선수용부(130) 및플레이트(100)의적어도일부표면은절연물(150)을포함하는것을특징으로한다.
摘要翻译：加热器启动。根据本发明的加热器包括其中形成热前臂130的板100和设置在热敏头130中的热管线200，并且板（100）的至少一些表面包括绝缘体（150）。

3. 发明公开

KR1020170006986A 히터 无效
标题翻译：加热器
公开(公告)号：KR1020170006986A
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：KR1020150098515
申请日：2015-07-10
申请人： 주식회사 테라세미콘
发明人： 강호영 , 김병섭
IPC分类号： H05B3/16 , H05B3/02 , H05B3/12 , H05B3/14 , H05B3/56
摘要： 히터가개시된다. 본발명에따른히터는, 내부에열선수용부(130)가형성된플레이트(100) 및열선수용부(130) 내에배치되는열선(200)을포함하고, 열선(200)과맞닿는열선수용부(130) 및플레이트(100)의적어도일부표면은절연물(150)을포함하는것을특징으로한다.

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