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2. 发明公开

KR1020170115635A 스크라이빙 장치 审中-实审
标题翻译：划线装置
公开(公告)号：KR1020170115635A
公开(公告)日：2017-10-18
申请号：KR1020160042749
申请日：2016-04-07
申请人： 주식회사 탑 엔지니어링
发明人： 김흔 , 마석현 , 김효진 , 김학성 , 하완용 , 최한현
IPC分类号： C03B33/033 , C03B33/037 , H01L21/76 , H01L21/78 , H01L21/677 , H01L21/68
摘要： 본발명의실시예에따른스크라이빙장치는기판의이송및 위치결정에요구되는시간및 공간을줄이기위한것으로, 기판공급유닛에의해공급되는기판이지지되는기판지지유닛; 기판지지유닛의하부에배치되는로딩스테이지; 로딩스테이지의일측에배치되어기판에스크라이빙라인을형성하는스크라이빙유닛; 로딩스테이지에안착된기판을스크라이빙유닛으로이송하는기판이송유닛; 기판지지유닛에탑재된기판을로딩스테이지로전달하는기판전달유닛을포함하고, 기판전달유닛이기판을로딩스테이지로전달할수 있도록기판지지유닛은기판이통과하는개구를형성하며, 기판전달유닛은기판을로딩스테이지로전달하는과정에서로딩스테이지에위치될기판의정 위치에대해기판의위치를조절하는위치조절유닛을포함할수 있다.
摘要翻译：根据本发明实施例的刮刀装置是用于减少用于转移和定位基板所需的时间和空间的刮刀装置，包括：基板支撑单元，用于支撑由基板供应单元供应的基板; 装载台，设置在基板支撑单元的下部; 划线单元，设置在装载台的一侧以形成基板划线; 衬底传送单元，用于将放置在装载台上的衬底传送到划线单元; 以及基板传送单元，用于将安装在基板支撑单元上的基板传送到装载台，其中，基板支撑单元形成开口，基板穿过开口，使得基板传送单元可以将基板传送到装载台，以及位置调整单元，用于在将基板传送至装载台的过程中，调整基板相对于位于装载台上的基板的位置的位置。

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