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1. 发明授权

KR101830617B1 기판 폴리싱 장치 및 방법 有权
标题翻译：基材抛光设备和方法
公开(公告)号：KR101830617B1
公开(公告)日：2018-02-22
申请号：KR1020160068735
申请日：2016-06-02
申请人： 주식회사 케이엔제이 , 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 배기환 , 홍준우
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/02 , B24B9/10
CPC分类号： B24B37/20
摘要： 본발명은에지를연마한후에기판을폴리싱하는장치및 방법에관한것으로서, 보다상세하게는기판의상부연마면(S1)과측면(S3)과하부연마면(S2)을동시에폴리싱할수 있고, 또한폴리싱휠을고르게사용하여전체적으로균일하게마모되는기판폴리싱장치및 방법에관한것이다. 본발명에의한폴리싱장치는상부에지와하부에지가연마된기판을폴리싱하는장치로서, 기판을안착하는테이블; 상기테이블의측면상부에설치되는스핀들; 원기둥형태로형성되고, 회전축이상기기판과직교하도록설치되며, 상기스핀들에의해회전하면서측면으로상기기판을폴리싱하는폴리싱휠; 및상기기판을폴리싱하는동안상기폴리싱휠을상하방향으로일정속도로이동시키는 Z축이동수단;을포함한다.
摘要翻译：本发明涉及用于抛光hanhue基板上抛光纸，并且更具体的装置和方法，并且可以在同一时间抛光该基板的上磨削表面（S1）与所述侧表面（S3）超过部分抛光表面（S2），也研磨本发明涉及一种使用车轮均匀地均匀地磨削晶片的基板抛光设备和方法。根据本发明的抛光装置包括一台安装在一基板作为用于抛光在杂志顶部边缘和底部的基板的研磨装置; 安装在桌子侧面的主轴; 从形成为圆筒状，它被布置成垂直于旋转轴的移相器基板，抛光轮，同时由主轴研磨基板至侧旋转; 以及Z轴移动装置，用于在抛光衬底的同时以恒定速度沿垂直方向移动抛光轮。

2. 发明公开

KR1020160144014A 기판 폴리싱 장치 및 방법 审中-实审
标题翻译：基板抛光装置及其使用方法
公开(公告)号：KR1020160144014A
公开(公告)日：2016-12-15
申请号：KR1020160068735
申请日：2016-06-02
申请人： 주식회사 케이엔제이 , 삼성디스플레이 주식회사
发明人： 배기환 , 홍준우
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/02 , B24B9/10
CPC分类号： B24B37/20 , H01L21/304 , B24B9/10 , H01L21/02024
摘要： 본발명은에지를연마한후에기판을폴리싱하는장치및 방법에관한것으로서, 보다상세하게는기판의상부연마면(S1)과측면(S3)과하부연마면(S2)을동시에폴리싱할수 있고, 또한폴리싱휠을고르게사용하여전체적으로균일하게마모되는기판폴리싱장치및 방법에관한것이다. 본발명에의한폴리싱장치는상부에지와하부에지가연마된기판을폴리싱하는장치로서, 기판을안착하는테이블; 상기테이블의측면상부에설치되는스핀들; 원기둥형태로형성되고, 회전축이상기기판과직교하도록설치되며, 상기스핀들에의해회전하면서측면으로상기기판을폴리싱하는폴리싱휠; 및상기기판을폴리싱하는동안상기폴리싱휠을상하방향으로일정속도로이동시키는 Z축이동수단;을포함한다.
摘要翻译：提供一种用于抛光衬底的装置和方法，其中可以同时抛光衬底的上表面，侧表面和下表面，并且可以将抛光轮整体上均匀地使用以均匀地磨损。基板抛光系统是对抛光上边缘和下边缘的基板进行抛光，并且包括：在其上固定基板的工作台; 设置在所述工作台的侧面的上部的主轴; 抛光轮，其形成为圆柱形，并且具有垂直于基板安装的旋转轴，以便在通过所述心轴旋转的同时抛光所述基板的侧面; 以及Z轴移动装置，用于在抛光基板期间沿垂直方向移动抛光轮。

3. 发明授权

KR102137058B1 오염물질의 비산이 방지되는 기판 연마장치 有权
公开(公告)号：KR102137058B1
公开(公告)日：2020-07-23
申请号：KR1020190150299
申请日：2019-11-21
申请人： 주식회사 케이엔제이
发明人： 배기환
IPC分类号： B24B9/10 , B24B55/06

4. 发明公开

KR1020170135615A 기판 가공장치 审中-实审
标题翻译：基板处理设备
公开(公告)号：KR1020170135615A
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：KR1020160070968
申请日：2016-06-08
申请人： 주식회사 케이엔제이
发明人： 배기환
IPC分类号： C03B33/023 , C03B33/03 , B24B9/10
摘要： 본발명은기판가공장치에관한것으로서, 보다상세하게는기판의측면가공용팁과코너가공용팁을일체화하여기판의측면수직가공과, 코너의필렛가공을하나의설비에서순차적으로가공할수 있는기판가공장치에관한것이다. 본발명에의한기판가공장치는기판이수평으로안착되는테이블; 상기테이블의측면에구비되는스핀들; 상기스핀들에연결되어회전하며, 회전축방향이상기기판과평행하게배치되는회전디스크; 상기회전디스크의앞면에전방으로돌출형성되어상기기판의측면을수직으로가공하는링형태의측면가공용팁; 및상기회전디스크에구비되어상기기판의코너를필렛(fillet) 형상으로가공하도록단면이라운드진필렛가공연마면을갖는코너가공용팁;을포함한다.
摘要翻译：本发明中，更具体地说，涉及的衬底可以加工侧加工尖端和角部加工尖端整合到所述衬底的所述侧垂直处理，并在植物中处理装置按顺序在基板的角部的圆角处理涉及一种基板处理装置 Lt。根据本发明的基板处理设备包括：其上水平放置基板的台; 设置在工作台的侧面的主轴; 旋转盘，其连接到所述主轴并旋转并与所述旋转底板平行设置; 从旋转盘的前表面向前突出以对基板的侧表面进行垂直加工的环形侧加工尖端; 并且，在转盘上设置角部加工用刀片，该角部加工用刀片具有圆角加工面，该圆角加工面形成为圆角，从而将基板的角部形成为圆角状。

5. 发明授权

KR101800250B1 기판 가공장치 有权
标题翻译：基板处理设备
公开(公告)号：KR101800250B1
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：KR1020160031774
申请日：2016-03-17
申请人： 주식회사 케이엔제이
发明人： 배기환
IPC分类号： B24B9/06 , B24B9/10 , B24B47/10 , B24D7/14
摘要： 본발명은기판가공장치에관한것으로서, 보다상세하게는지석을고르게사용할수 있어지석교체주기를늘려교체비용을줄이고, 상판과하판의접합으로이루어진기판을가공하는경우에도상판과하판의접합면에서칩핑(CHIPPING)현상이발생되지않는기판코너가공장치에관한것이다. 본발명에의한기판가공장치는기판이수평으로안착되는테이블; 상기테이블의측면에구비되며, 회전축이수평하게배치되는스핀들; 상기스핀들의회전축에연결되어회전하는회전디스크; 상기회전디스크의앞면에원주방향으로돌출형성되어상기기판의측면을수직으로가공하는링형태의측면가공용지석; 및상기회전디스크의중심에원통형태로돌출형성되어상기기판의코너를소정형태로가공하는코너가공용지석;을포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种基板处理装置，更具体地讲，有可能即使是砂轮增加了砂轮的更换周期，以减少更换成本，即使在加工由上面板的接合的基板并且在上面板的接合表面的下面板的情况下和下面板在不发生碎裂现象的基板拐角处理装置中。

6. 发明授权

KR101493363B1 셀 자투리 제거장치 有权
标题翻译：用于移除设备的单元标签
公开(公告)号：KR101493363B1
公开(公告)日：2015-02-13
申请号：KR1020130097587
申请日：2013-08-19
申请人： 주식회사 케이엔제이
发明人： 배기환
IPC分类号： B26D7/18 , B26D1/04
CPC分类号： B26D7/015 , B26D7/018
摘要： 본 발명의 얇은 두께의 셀에서 자투리를 분리하는 자투리 제거장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 얇은 두께를 갖는 셀에서 자투리를 분리시에 파손 등에 의한 불량이 발생하지 않도록 자투리를 제거하고, 자투리를 분리하기 이전에 셀의 틀어짐을 감지 및 정렬하여 불량의 요인을 방지하며, 자투리를 분리시에 셀에 발생하는 분력부분을 지지하여 불량을 방지할 수 있는 자투리 제거장치에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명에 따른 자투리 제거장치는 셀의 틀어짐을 감지 및 정렬하는 얼라인부와, 상기 얼라인부가 이동가능하게 구비되며, 상기 얼라인부와 함께 정렬된 상기 셀의 하면을 흡착하여 상기 셀의 자투리를 분리시에 발생하는 분력을 지지하는 베이스부와, 상기 베이스부에 구비되어 승강에 의해 상기 자투리를 분리하고, 상기 자투리의 지름 폭에 따라 X축 또는 Y축 방향으로 이동하며, 승강 속도를 제어하여 상기 자투리를 분리하는 분리부 및 상기 분리부 상부에 구비되며, 상기 자투리 폭에 따라 이동하여 상기 셀의 상면을 가압하는 푸셔부를 포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于去除残留物的装置，其将残余物与细胞分离。更具体地说，用于去除残留物的装置可以通过在将残留物从薄细胞分离时由于由于损伤等而导致的故障来去除残留物，可以通过感测细胞的扭转并在细胞之前对准细胞来防止故障的原因残留物的分离，并且可以通过在残留物分离期间支撑在电池中产生的组分力部分来防止失效。用于去除残留物的装置包括：对准单元，其感测细胞的扭曲并对准细胞; 基座单元，其中所述对准单元可以移动，并且其支撑通过吸收与所述对准单元对准的所述单元的底部来分离所述单元的残余物时产生的分力; 分离单元，其放置在基座单元中以便通过高度分离残余物，根据残留物的直径沿着X轴或Y轴移动，并且可以控制升高速度以分离剩余物 ; 以及推动器单元，其被放置在分离单元的上部，并且通过沿着残余物的直径移动来对单元的顶表面加压。

7. 发明授权

KR101428563B1 셀 자투리 제거장치 有权
标题翻译：用于移除设备的单元标签
公开(公告)号：KR101428563B1
公开(公告)日：2014-08-11
申请号：KR1020130097586
申请日：2013-08-19
申请人： 주식회사 케이엔제이
发明人： 배기환
IPC分类号： B28D5/00 , B28D1/28 , B28D5/04
CPC分类号： B28D5/04 , B28D5/0058
摘要： The present invention relates to a cell tag removing apparatus and, more specifically, to a cell tag removing apparatus which removes a tag from a cell in such a way that a defect due to damages does not occur when separating a tag from a thin cell, detects misalignment of a cell before removing a tag and corrects the misalignment to prevent a cause of a defect, and supports a separation force part generated at the cell when separating a tag to prevent a defect. The cell removing apparatus comprises an alignment unit which detects a misalignment of a cell and corrects the misalignment; a base unit at which the alignment unit is movably provided, and which absorbs a bottom surface of the aligned cell together with the alignment unit to support the separation force generated when separating a tag from the cell; a separation unit which is provided at the base unit to separate the tag by lifting, moves in an x-axis or a y-axis direction along the width of the diameter of the tag, and controls the lifting speed to separate the tag; and a pusher unit which is provided at an upper portion of the separation unit, and moves along the width of the tag to press an upper surface of the cell.
摘要翻译：细胞标签去除装置技术领域本发明涉及一种细胞标签去除装置，更具体地说，涉及一种从细胞中去除标签的方法，当从薄细胞分离标签时，不会发生由损伤引起的缺陷，在移除标签之前检测单元的未对准并校正未对准以防止缺陷的原因，并且在分离标签时支持在单元处产生的分离力部分以防止缺陷。细胞去除装置包括对准单元，其检测单元的未对准并校正未对准; 基座单元，其中可移动地设置对准单元，并且与对准单元一起吸收对准的单元的底表面，以支撑当将标签与单元分离时产生的分离力; 分离单元，其设置在所述基座单元处，以通过提升分离所述标签，沿着所述标签的直径的宽度沿x轴或y轴方向移动，并且控制所述提升速度以分离所述标签; 以及推动器单元，其设置在分离单元的上部，并且沿着标签的宽度移动以按压单元的上表面。

8. 发明授权

KR101264406B1 기판 연마장치 및 방법 有权
标题翻译：工作边缘研磨装置和使用该方法的方法
公开(公告)号：KR101264406B1
公开(公告)日：2013-05-14
申请号：KR1020110026115
申请日：2011-03-24
申请人： 주식회사 케이엔제이
发明人： 배기환
IPC分类号： B24B9/10 , B24B47/10 , H01L21/304
摘要： 본발명은기판연마장치및 방법에관한것으로서, 보다상세하게는장변용연마모듈과단변용연마모듈을별개로구비할필요없이하나의모듈로장변및 단변을순차적으로연마할수 있고, 기판의상하반전없이각 모서리를연마할수 있는기판연마장치및 방법에관한것이다. 본발명에의한기판연마장치는기판을하부에서흡착하는제1테이블; 상기기판의제1상부모서리를연마하는제1상부연마수단; 상기기판을상부에서흡착하는제1피커; 상기기판의제1하부모서리를연마하는제1하부연마수단; 상기기판을하부에서흡착하는제2테이블; 상기기판의제2상부모서리를연마하는제2상부연마수단; 상기기판을상부에서흡착하는제2피커; 상기기판의제2하부모서리를연마하는제2하부연마수단; 및상기기판을수평방향으로 90°회전시키는회전수단;을포함한다.

9. 发明授权

KR101218970B1 기판 연마장치 및 방법 有权
标题翻译：基材抛光设备和方法
公开(公告)号：KR101218970B1
公开(公告)日：2013-01-18
申请号：KR1020100074761
申请日：2010-08-02
申请人： 주식회사 케이엔제이
发明人： 배기환
IPC分类号： B24B9/06 , B24B7/22 , H01L21/304 , G02F1/13
摘要： 본 발명은 기판 연마장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판을 수평방향으로의 회전 또는 상하방향으로의 반전없이 각 모서리를 연마할 수 있는 기판 연마장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명에 의한 기판 연마장치는 기판을 하부에서 지지하는 테이블; 상기 기판의 상부모서리를 연마하는 상부연마수단; 상기 기판을 상부에서 흡착하는 피커; 및 상기 기판의 하부모서리를 연마하는 하부연마수단;을 포함한다.
摘要翻译：基板研磨装置及方法技术领域本发明涉及一种基板研磨装置及方法，尤其涉及一种基板研磨装置及方法，其能够在不使水平方向旋转或使上下方向反转的状态下对各边进行研磨。

10. 发明授权

KR101075954B1 기판 연마장치 및 방법 有权
标题翻译：物质研磨装置及其使用方法
公开(公告)号：KR101075954B1
公开(公告)日：2011-10-21
申请号：KR1020080106374
申请日：2008-10-29
申请人： 주식회사 케이엔제이
发明人： 배기환
IPC分类号： B24B9/10 , B24B13/00
摘要： 본발명에의한기판연마장치는기판을이동시키는이송수단; 상기이송수단의측면에설치되는연마부; 및연마구간에서상기기판을평탄하게하는지지테이블;을포함한다.

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