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热词
    • 5. 发明公开
    • 그래핀 필름 제조장치의 증착챔버
    • 石墨烯薄膜制造装置的沉积室
    • KR1020170029911A
    • 2017-03-16
    • KR1020150127075
    • 2015-09-08
    • 주식회사 참트론
    • 김용기
    • C01B31/04H01B1/04
    • 본발명은그래핀필름제조장치의증착챔버에관한것으로, 더상세하게는촉매금속필름에그래핀을보다효과적으로증착할수 있도록한 그래핀필름제조장치의증착챔버에관한것으로서, 상부롤 챔버와, 상기상부롤 챔버와연결되어촉매금속필름에그래핀이증착되는증착챔버와, 상기증착챔버와연결되어그래핀이증착된촉매금속필름이권취되는하부롤 챔버로구성된그래핀필름제조장치의증착챔버에있어서, 상기증착챔버는, 상기상부롤 챔버의하부에서상기상부롤 챔버와연결되는증착챔버바디; 상기증착챔버바디내측에장착되며, 상기상부롤 챔버에서공급되는촉매금속필름의전후방에서상기촉매금속필름에그래핀을증착하기위한히터부; 상기증착챔버의내측에장착되며, 상기히터부에서발생한열이챔버바디측으로열전달되는것을막기위한쉴드판; 상기증착챔버바디의외측에장착되어, 상기증착챔버바디의내측으로공정가스를주입하기위한공정가스공급관; 상기증착챔버바디의외측에장착되어, 상기증착챔버바디의내측에서공정가스를배출하기위한공정가스배기관; 및상기증착챔버바디의외측에장착되어, 상기챔버바디내측의진공도를유지하기위한진공펌프;로구성되는것을특징으로하는그래핀필름제조장치의증착챔버를제공한다.
    • 本发明的石墨烯涉及薄膜制造装置的沉积室中,并且更具体地涉及为yes,以得到有效的沉积比在该催化金属膜销石墨烯膜制造装置的沉积室,并且上辊室,所述 沉积室,其中石墨烯沉积在与上辊室相连的催化剂金属膜上;以及下辊室,其中沉积有石墨烯的催化剂金属膜与沉积室连接缠绕, 其中沉积室包括:在上辊室的下部连接到上辊室的沉积室主体; 加热器单元,安装在沉积室主体内,用于将石墨烯沉积在从上辊室供应的催化剂金属膜的前侧和后侧处的催化剂金属膜上; 安装在沉积室内的防护板,用于防止在加热器单元中产生的热传递到室体; 工艺气体供应管道,其安装在沉积室主体外部用于将工艺气体注入沉积室主体; 处理气体排气管,其安装在沉积室主体的外部,用于将沉积室主体内的处理气体排出; 真空泵安装在沉积室本体的外侧,用于维持室本体内的真空度。
    • 7. 发明公开
    • 필름 냉각용 냉각롤러
    • 冷却辊用于薄膜冷却
    • KR1020170052133A
    • 2017-05-12
    • KR1020150154202
    • 2015-11-04
    • 주식회사 참트론
    • 김용기
    • F28F5/02C23C14/56C23C14/58C23C16/54C23C16/56
    • 본발명의일 실시예에따른필름냉각용냉각롤러는, 일단부에개구가있으며, 개구에연결되는내부통로가중심부에있으며, 내부통로의단부가차단되어있는롤러축유닛; 롤러축유닛의타단부에회전가능하게결합되며, 필름이접촉되는롤러유닛; 롤러축유닛의내부통로에결합되며, 냉각용유체의유입구와배출구가마련되며, 내부통로와연결되는유입통로가마련되어있는유입배출유닛; 유입배출유닛의유입통로와롤러축유닛의내부통로에배치되며, 내부통로와유입통로의내벽부으로부터이격배치되어내부통로와유입통로에이중통로를형성하는내부파이프유닛; 및롤러축유닛과유입배출유닛중 어느하나이상이삽입배치되며, 롤러축유닛과유입배출유닛의위치를고정시키는지지고정유닛을포함한다. 이러한본 발명의일 실시예에따르면, 냉각롤러의내부로냉각유체를공급순환시킴으로써고온으로가열된필름에대한냉각성능을개선하여사용된필름의공정효율을향상시킬수 있다.
    • 冷却辊进行冷却的膜,根据本发明的一个实施例中,一个端部和在一开口,并连接到所述中央开口的内部通道,所述辊轴部,其被切断只内部通道的一部分; 辊单元,其可旋转地联接到辊轴单元的另一端并且接触膜; 与所述辊轴单元的内部通道连接的入口/出口单元,所述入口/出口单元具有用于所述冷却流体的入口和出口,并且设置有连接到所述内部通道的入口通道; 设置在进气通道和进气单元放电单元的辊轴的内部通道中,从内部通道的内壁部分和所述入口通道内管部,形成在所述内部通道和所述入口通道中的双通道间隔开; 并且辊轴单元和流入/流出单元中的至少一个被插入并且包括用于固定辊轴单元和流入/流出单元的位置的支撑固定单元。 根据本发明的这个实施例中,它可以提高使用在高温下通过循环供应到冷却辊的内部中的冷却流体,以改善加热的薄膜的冷却性能的膜的工艺效率。
    • 10. 发明公开
    • 고품질 그래핀 합성을 위한 열처리 장비
    • 石墨烯薄膜的制造装置
    • KR20180010085A
    • 2018-01-30
    • KR20160092236
    • 2016-07-20
    • 주식회사 참트론
    • 김용기
    • B01J35/06B65H23/26B65H37/00C23C16/26C23C16/46C23C16/54
    • B01J35/06B65H18/08B65H23/26B65H37/00C01B32/182C23C16/26C23C16/46C23C16/54
    • 본발명은그래핀필름제조장치에관한것으로, 더상세하게는촉매금속필름에그래핀을보다효과적으로증착할수 있도록한 그래핀필름제조장치에관한것으로서, 상부롤 챔버와, 상기상부롤 챔버와연결되어촉매금속필름에그래핀이증착되는증착챔버와, 상기증착챔버의하부에장착되는하부롤 챔버로구성된그래핀필름제조장치에있어서, 상기상부롤 챔버에는, 촉매금속필름이공급되는공급롤러와, 그래핀이증착된촉매금속필름이권취되는권취롤러가구비되고; 상기하부롤 챔버에는, 상기공급롤러에서공급되고상기증착챔버에서그래핀이증착되며상기권취롤러에서권취되도록상기촉매금속필름의방향을전환하는하부방향전환롤러가구비되며; 상기증착챔버에는, 상기공급롤러에서상기하부방향전환롤러로이송되는공급측의촉매금속필름과상기하부방향전환롤러에서상기권취롤러로이송되는배출측의촉매금속필름이통과되고, 상기공급측촉매금속필름과상기배출측촉매금속필름주위에는히터부가장착되는것을특징으로하는그래핀필름제조장치를제공한다.
    • 本发明涉及用于高质量石墨烯合成的热处理设备,并且更具体地涉及用于高质量石墨烯合成的热处理设备,其能够更有效地在催化金属膜上沉积石墨烯。 用于高质量石墨烯合成的热处理设备具有:上辊室; 沉积室,其连接到上辊室并且其中石墨烯沉积在催化金属膜上; 和安装在沉积室下方的下辊室。 上辊室具有供应催化金属膜的供应辊和用于卷绕其上沉积有石墨烯的催化金属膜的卷绕辊。 下辊室具有用于转换催化金属膜的方向的下方转换辊,使得催化金属膜从供应辊供应,在沉积室中具有沉积在其上的石墨烯,并且借助卷绕辊 。 从供给辊向下方转换辊转送的供给催化剂金属膜和从下方转换辊向卷取辊转送的排出催化剂金属膜通过成膜室, 单元安装在所提供的催化金属膜和放电的催化金属膜周围。