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1. 发明授权

KR102009348B1 배치식 플라즈마 기판처리장치 有权
公开(公告)号：KR102009348B1
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：KR1020170121352
申请日：2017-09-20
申请人： 주식회사 유진테크
发明人： 조정희 , 이홍원 , 강성호 , 김창돌 , 최규호
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/458 , C23C16/455 , C23C16/50

2. 发明授权

KR102255315B1 기판 처리장치 및 기판 처리방법 有权
公开(公告)号：KR102255315B1
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：KR1020190071561
申请日：2019-06-17
申请人： 주식회사 유진테크 , 에스케이하이닉스 주식회사
发明人： 강성호 , 박송환 , 김보선 , 이홍원 , 조주현 , 진용탁 , 정민진 , 김태환 , 강민웅 , 유현준
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/02 , C23C16/44
摘要： 본발명은기판처리장치및 기판처리방법에관한것으로서, 보다상세하게는반응튜브내부의냉각속도및 온도균일도를조절할수 있는기판처리장치및 기판처리방법에관한것이다. 본발명의일실시예에따른기판처리장치는기판이다단으로적재되는기판보트; 상기기판보트에적재된기판의처리공정이수행되는반응튜브; 상기반응튜브가수용되는내부공간을갖는측벽커버; 상기측벽커버의내측에상기반응튜브의둘레를따라제공되어, 상기반응튜브에열을공급하는히터부; 상기측벽커버의상부에제공되는커버덮개; 상기측벽커버의상단부에연결되어, 상기측벽커버와상기반응튜브의사이공간에냉각용가스를공급하는제1 가스공급부; 상기측벽커버의하단부에연결되어, 상기제1 가스공급부의공급량과상이한공급량으로상기측벽커버와상기반응튜브의사이공간에냉각용가스를공급하는제2 가스공급부; 및상기커버덮개에연결되어, 상기측벽커버내부의냉각용가스를배기시키는방열배기부;를포함할수 있다.

3. 发明授权

KR102034766B1 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 有权
公开(公告)号：KR102034766B1
公开(公告)日：2019-10-22
申请号：KR1020180042857
申请日：2018-04-12
申请人： 주식회사 유진테크
发明人： 강성호 , 김창돌 , 한성민 , 김석윤 , 최성하
IPC分类号： H01L21/02 , C23C16/44 , H01L21/67

4. 发明授权

KR101930456B1 기판 처리 시스템 有权
公开(公告)号：KR101930456B1
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：KR1020180051460
申请日：2018-05-03
申请人： 주식회사 유진테크
发明人： 강성호 , 김창돌 , 오상영 , 최규호
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67
摘要： 본 발명은 기판 처리 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복수의 공정 튜브를 포함하는 기판 처리 시스템에 관한 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 시스템은 제1 축 방향으로 이격되어 배치되며, 서로 독립적인 공정 공간을 제공하는 제1 및 제2 공정 튜브; 복수의 기판이 다단으로 적재되며, 상기 제1 및 제2 공정 튜브의 공정 공간에 각각 제공되는 기판 보트; 및 상기 제1 및 제2 공정 튜브에 각각 제공되며, 상기 기판 보트를 승강시키는 제1 및 제2 보트 승강기;를 포함하고, 상기 제1 및 제2 보트 승강기 각각은 상기 제1 및 제2 공정 튜브의 사이 공간에 배치되는 승강축부재를 포함할 수 있다.

5. 发明授权

KR101910085B1 기판처리장치 有权
公开(公告)号：KR101910085B1
公开(公告)日：2018-10-22
申请号：KR1020170071633
申请日：2017-06-08
申请人： 주식회사 유진테크
发明人： 강성호 , 김창돌 , 이상돈
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： C23C16/45546 , C23C16/4412 , H01L21/67017 , H01L21/67098
摘要： 본발명은기판처리장치에관한것으로서, 보다상세하게는기판상에서기판처리가스의흐름을원활하게할 수있는기판처리장치에관한것이다. 본발명의일실시예에따른기판처리장치는내부공간을갖는외부튜브; 상기외부튜브의내부공간에상기외부튜브의내측면으로부터이격되어배치되며, 그내부에수용공간을갖는내부반응튜브; 복수의기판이다단으로적재되며, 기판처리시에상기내부반응튜브의수용공간의상단부에수용되는기판보트; 상기기판보트를지지하며, 기판처리시에상기내부반응튜브의수용공간의하단부에수용되는페데스탈; 상기내부반응튜브의일측에배치되는가스공급부; 및상기내부반응튜브의타측에상하방향으로연장형성되어상기내부반응튜브의측벽에관통형성된배기구와연통되는내부유로를형성하며, 상기내부반응튜브와상기외부튜브사이의이격공간에상기가스공급부와대향하여배치되는배기덕트;를포함하고, 상기배기덕트는상기내부반응튜브의수용공간중 상기페데스탈의수용영역의외측까지연장될수 있다.

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