基本信息:
- 专利标题: 기판 처리 시스템
- 专利标题(英):KR101930456B1 - System for processing substrate
- 申请号:KR1020180051460 申请日:2018-05-03
- 公开(公告)号:KR101930456B1 公开(公告)日:2018-12-18
- 发明人: 강성호 , 김창돌 , 오상영 , 최규호
- 申请人: 주식회사 유진테크
- 申请人地址: 경기도 용인시 처인구 양지면 추계로 **
- 专利权人: 주식회사 유진테크
- 当前专利权人: 주식회사 유진테크
- 当前专利权人地址: 경기도 용인시 처인구 양지면 추계로 **
- 代理人: 안준형; 이강민; 남승희
- 主分类号: H01L21/677
- IPC分类号: H01L21/677 ; H01L21/67
본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리 시스템은 제1 축 방향으로 이격되어 배치되며, 서로 독립적인 공정 공간을 제공하는 제1 및 제2 공정 튜브; 복수의 기판이 다단으로 적재되며, 상기 제1 및 제2 공정 튜브의 공정 공간에 각각 제공되는 기판 보트; 및 상기 제1 및 제2 공정 튜브에 각각 제공되며, 상기 기판 보트를 승강시키는 제1 및 제2 보트 승강기;를 포함하고, 상기 제1 및 제2 보트 승강기 각각은 상기 제1 및 제2 공정 튜브의 사이 공간에 배치되는 승강축부재를 포함할 수 있다.
The present invention relates to a substrate processing system including, more specifically, the plurality of process tubes relates to a substrate processing system.
And a substrate processing system according to an embodiment of the present invention is arranged separately from the first axial direction, the first and second process tubes to each other, the independent process space; The plurality of substrates is stacked in multiple stages, wherein the first and second substrates each provided to the process space of the second process tube boat; And the first and second step is provided respectively on the tube, the first and second boat elevator for lifting the substrate boat; includes the first and second boat lift each of the first and second process tube a vertical moving shaft may include a member disposed between the space.