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    • 5. 发明公开
    • 실리콘계 용융 조성물 및 이를 이용한 SiC 단결정의 제조 방법
    • 硅基熔融组合物和使用其的SiC单晶的制造方法
    • KR1020170048215A
    • 2017-05-08
    • KR1020160139261
    • 2016-10-25
    • 주식회사 엘지화학
    • 정찬엽이호림고정민김대성이성수은창선
    • H01L21/02C30B29/36
    • C30B29/36C30B9/06C30B9/10C30B19/04H01L21/02
    • 본발명은실리콘, 탄소및 하기식 (1)으로정의되는용해도파라미터(C)에대해 0.70≤ C≤ 1.510을만족시키는금속을포함하고, 용액법에의해 SiC 단결정을형성하기위한실리콘계용융조성물이다. C= A - B + μ-μ식 (1) 상기식에서, A는상기금속및 탄소를포함하는실리콘결정격자에서, 실리콘원자, 탄소원자및 금속원자를포함하는제1 평가격자가갖는제1 에너지(A)이고, B는상기금속을포함하는실리콘결정격자에서, 실리콘원자및 금속원자를포함하는제2 평가격자가갖는제2 에너지(B)이고, μ은다이아몬드결정구조의실리콘의총 에너지를단위격자내 존재하는실리콘원자수로나눈화학포텐셜로써 -5.422의상수이고, μ는다이아몬드결정구조의탄소의총 에너지를단위격자내 존재하는탄소원자수로나눈화학포텐셜로써 -9.097의상수이다.
    • 本发明是一种用于通过溶液法形成SiC单晶的硅基熔融组合物,其包含相对于由硅,碳和下式(1)定义的溶解度参数(C)满足0.70≤≤1.510的金属。 C = A - B +μ-μ式(1),其中,A是第一评价在含有硅晶格光栅的第一能量,所述金属和碳,其包括硅原子,碳原子和金属原子 (a)一种,B是在硅晶格,其中包括金属,和具有第二评价格栅,包括一个硅原子和金属原子的第二能量(B),μ是硅的金刚石晶体结构的总能量 单元,并且可以-5.422服装如化学势通过在晶格硅原子的数目除以,μ是化学势可-9.097服装由存在于单元电池的碳的金刚石晶体结构的总能量的碳原子数为划分。