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1. 发明公开

KR1020150138679A 인라인 방식의 열증착 장치 有权
标题翻译：内部类型的热蒸发装置
公开(公告)号：KR1020150138679A
公开(公告)日：2015-12-10
申请号：KR1020140066918
申请日：2014-06-02
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 강병두 , 최창현 , 이동호 , 김정훈
IPC分类号： H01L51/56 , H01L21/447 , H01L21/677
摘要： 인라인방식의열증착장치가개시된다. 본발명의일 실시예에따른인라인방식의열증착장치는, 챔버의내부에마련되되, 유연기판을공급및 회수하는롤투롤모듈을구비하여유연기판을연속적으로이송하는기판이송유닛; 및챔버의내부에마련되되, 열증착방식으로유연기판에연속적으로증착물질을제공하도록인라인되게배치된복수의증발소스를포함하며, 롤투롤모듈은, 롤형태로권취된유연기판을공급하는언와인더(unwinder); 언와인더에이격되게배치되어, 증착공정이완료된유연기판을롤 형태로회수하는리와인더(rewinder); 및언와인더와리와인더사이에배치되되, 유연기판의증착물질이증착된증착영역이외의비증착영역에접촉되어유연기판의이송을안내하는복수의아이들롤러(idle roller)를포함한다.
摘要翻译：公开了一种在线式热沉设备。根据本发明的实施例的在线式热沉积装置包括：形成在室中的基板传送单元，通过设置用于供应和收集柔性基板的卷对卷模块来连续传送柔性基板; 形成在所述室中的退绕机，并且包括以线型设置的多个蒸发源，以通过热沉积方法将沉积材料连续地提供到所述柔性基板，其中所述卷对卷组件包括：退绕机，其提供柔性基材卷绕成卷状; 设置在所述退绕机上以分离的回卷器，以及在沉积处理完成之后将所述柔性基板收集成卷状; 以及设置在退绕机和重绕器之间的多个空转辊，并且与沉积区域之外的非沉积区域接触，其中沉积柔性基板的沉积材料以引导柔性基板的转移。

2. 发明授权

KR101595005B1 인라인 방식의 열증착 장치 有权
标题翻译：内部类型的热蒸发装置
公开(公告)号：KR101595005B1
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：KR1020140066918
申请日：2014-06-02
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 강병두 , 최창현 , 이동호 , 김정훈
IPC分类号： H01L51/56 , H01L21/447 , H01L21/677
摘要： 인라인방식의열증착장치가개시된다. 본발명의일 실시예에따른인라인방식의열증착장치는, 챔버의내부에마련되되, 유연기판을공급및 회수하는롤투롤모듈을구비하여유연기판을연속적으로이송하는기판이송유닛; 및챔버의내부에마련되되, 열증착방식으로유연기판에연속적으로증착물질을제공하도록인라인되게배치된복수의증발소스를포함하며, 롤투롤모듈은, 롤형태로권취된유연기판을공급하는언와인더(unwinder); 언와인더에이격되게배치되어, 증착공정이완료된유연기판을롤 형태로회수하는리와인더(rewinder); 및언와인더와리와인더사이에배치되되, 유연기판의증착물질이증착된증착영역이외의비증착영역에접촉되어유연기판의이송을안내하는복수의아이들롤러(idle roller)를포함한다.

3. 发明授权

KR101352930B1 역압대응형 게이트 밸브 및 그를 구비하는 진공처리장치 有权
标题翻译：反压对应闸阀及其相同的真空处理装置
公开(公告)号：KR101352930B1
公开(公告)日：2014-01-17
申请号：KR1020120021883
申请日：2012-03-02
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 김영민 , 전용배 , 강병두 , 남기훈 , 최창현 , 정병규
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 역압대응형 게이트 밸브 및 그를 구비하는 진공처리장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브는, 상호 이격 배치되는 제1 진공챔버와 제2 진공챔버 사이에 배치되는 밸브 챔버(valve chamber); 제1 진공챔버의 개구부와 연통되는 밸브 챔버의 제1 개구부 영역에 배치되어 제1 개구부를 개폐하는 제1 블레이드(blade); 제2 진공챔버의 개구부와 연통되는 밸브 챔버의 제2 개구부 영역에 배치되어 제2 개구부를 개폐하는 제2 블레이드(blade); 밸브 챔버의 제2 개구부 영역에 결합되고 제2 블레이드가 접촉 가압되는 피크 스토퍼(peek stopper); 및 피크 스토퍼에 마련되어 피크 스토퍼에 잔류 가능한 잔류 공기(air)를 제거하는 피크 스토퍼용 공기제거부를 포함한다.

4. 发明公开

KR1020130100559A 게이트 밸브 및 그를 구비하는 진공처리장치 有权
标题翻译：门阀和真空加工设备
公开(公告)号：KR1020130100559A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：KR1020120021882
申请日：2012-03-02
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 김영민 , 전용배 , 강병두 , 남기훈 , 최창현 , 정병규
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67207 , F16K3/04 , F16K3/32 , F16K51/02
摘要： PURPOSE: A gate valve and a vacuum processing apparatus having the same are provided to prevent a vacuum hunting phenomenon by removing the air remaining in various inner components. CONSTITUTION: A valve chamber (133) is arranged on one side of a first vacuum chamber. A first blade (131) opens and closes a first opening part. A sealing member (139) is combined with a groove. The sealing member seals the first opening part. An air removing part removes the air remaining in the groove.
摘要翻译：目的：提供一种闸阀和具有该闸阀和真空处理装置的真空处理装置，以通过去除残留在各种内部部件中的空气来防止真空振荡现象。构成：阀室（133）布置在第一真空室的一侧。第一叶片（131）打开和关闭第一开口部分。密封构件（139）与槽组合。密封构件密封第一开口部。除气部去除残留在槽内的空气。

5. 发明授权

KR101365079B1 게이트 밸브 및 그를 구비하는 진공처리장치 有权
标题翻译：配备有闸门阀和真空处理装置
公开(公告)号：KR101365079B1
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：KR1020120057946
申请日：2012-05-31
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 김영민 , 전용배 , 강병두 , 남기훈 , 최창현 , 정병규
IPC分类号： H01L21/02 , H01L51/56
摘要： 게이트 밸브 및 그를 구비하는 진공처리장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브는, 제1 진공챔버의 일측에 배치되는 밸브 챔버(valve chamber); 제1 진공챔버의 개구부와 연통되는 밸브 챔버의 제1 개구부 영역에 배치되어 제1 개구부를 개폐하며, 제1 개구부를 향한 일면에 그루브가 형성되는 제1 블레이드(blade); 그루브에 부분적으로 삽입 결합되되 판 형상을 가지며, 제1 블레이드가 제1 개구부 영역에 배치될 때 제1 개구부를 밀폐시키는 판형 밀폐부재; 및 그루브에 잔류 가능한 잔류 공기(air)를 제거하면서 판형 밀폐부재를 그루브 영역에 체결시키는 다수의 잔류 공기 제거용 체결부재를 포함한다.
摘要翻译：公开了一种闸阀及具有该闸阀的真空处理装置。根据本发明实施例的闸阀包括：设置在第一真空室一侧的阀室; 这在一个表面上形成了槽部的第一刀片（刀片）被布置在所述开口并与所述真空腔室连通的阀室的第一开口区域，以及打开和关闭第一开口，朝向所述第一开口; 板状的密封构件，其一部分插入到所述槽中并且具有板状，并且当所述第一刀片布置在所述第一开口区域中时密封所述第一开口; 以及多个剩余的空气清除构件，用于在去除留在凹槽中的残余空气的同时将板形密封构件夹紧到凹槽区域。

6. 发明授权

KR101341431B1 게이트 밸브 및 그를 구비하는 진공처리장치 有权
标题翻译：闸阀及其真空处理装置
公开(公告)号：KR101341431B1
公开(公告)日：2014-01-02
申请号：KR1020120021882
申请日：2012-03-02
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 김영민 , 전용배 , 강병두 , 남기훈 , 최창현 , 정병규
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 게이트 밸브 및 그를 구비하는 진공처리장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브는, 제1 진공챔버의 일측에 배치되는 밸브 챔버(valve chamber); 제1 진공챔버의 개구부와 연통되는 밸브 챔버의 제1 개구부 영역에 배치되어 제1 개구부를 개폐하는 제1 블레이드(blade); 밸브 챔버의 벽면과 접촉되는 제1 블레이드의 벽체에 형성되는 그루브에 결합되며, 제1 블레이드가 제1 개구부 영역에 배치될 때 제1 개구부를 밀폐시키는 실링부재(sealing member); 및 제1 블레이드에 마련되어 그루브에 잔류 가능한 잔류 공기(air)를 제거하는 실링부재용 공기제거부를 포함한다.

7. 发明公开

KR1020130003674A 수정 크리스탈 센서장치 有权
标题翻译： QUARTZ水晶传感器设备
公开(公告)号：KR1020130003674A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：KR1020110065152
申请日：2011-06-30
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 강창호 , 김태환 , 이광철 , 최창현 , 이동호 , 김영민 , 전용배
IPC分类号： C23C14/24
摘要： PURPOSE: A quartz crystal sensor device is provided to facilitate bolt fastening without disassembling and assembling tools, and to prevent the alignment of other components from being scattered when a bolt is fastened and unfastened. CONSTITUTION: A quartz crystal sensor device comprises a sensor body(100) and a chopper unit(200). The sensor body(100) includes plural quartz sensors(110) and voltage supplying units(120,130). The plural quartz sensors(110) rotate inside the vacuum chamber(1), and are sequentially exposed to a deposition source(30) in order to measure the thickness of a deposition film. The voltage supplying units(120,130) apply an alternating voltage to the plural quartz sensor(110) which are exposed to the deposition source(30). The chopper unit(200) is detachably coupled to the upper portion of the sensor body(100). The voltage supplying units(120,130) include a first contact module(120) and a second contact module(130). The first contact module(120) is rotated by an actuating motor. One side of the second contact module(130) is electrically connected to the first contact module(120), and the other side of the same is connected to an alternating voltage source.
摘要翻译：目的：提供石英晶体传感器装置，以便在不拆卸和组装工具的情况下进行螺栓紧固，并且在螺栓固定和松开时防止其它部件的对准分散。构成：石英晶体传感器装置包括传感器本体（100）和斩波器单元（200）。传感器主体（100）包括多个石英传感器（110）和电压供给单元（120,130）。多个石英传感器（110）在真空室（1）内旋转，并且依次暴露于沉积源（30）以便测量沉积膜的厚度。电压供给单元（120,130）对暴露于沉积源（30）的多个石英传感器（110）施加交流电压。斩波器单元（200）可拆卸地联接到传感器主体（100）的上部。电压供应单元（120,130）包括第一接触模块（120）和第二接触模块（130）。第一接触模块（120）由致动马达旋转。第二接触模块（130）的一侧电连接到第一接触模块（120），并且其另一侧连接到交流电压源。

8. 发明公开

KR1020130134439A 게이트 밸브 및 그를 구비하는 진공처리장치 有权
标题翻译：门阀和真空加工设备
公开(公告)号：KR1020130134439A
公开(公告)日：2013-12-10
申请号：KR1020120057946
申请日：2012-05-31
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 김영민 , 전용배 , 강병두 , 남기훈 , 최창현 , 정병규
IPC分类号： H01L21/02 , H01L51/56
摘要： A gate valve and a vacuum processing device having the same are disclosed. The gate valve according to an embodiment of the present invention includes a valve chamber placed on one side of a first vacuum chamber; a first blade placed on a first opening unit, which is connected to an opening unit of the first vacuum chamber, of the valve chamber, opening the first opening unit, and having a groove one side facing the fist opening; a plate-shaped sealing member having a plate shape, partially inserted into the groove, and closing the first opening unit when the first blade is placed on the first opening unit, and multiple residual air removing locking members for removing residual air in the groove and locking the plate-shaped sealing member to the groove area.
摘要翻译：公开了一种闸阀和具有该闸阀的真空处理装置。根据本发明实施例的闸阀包括设置在第一真空室一侧的阀室; 第一叶片，其设置在阀室的与第一真空室的开口单元连接的第一开口单元上，打开第一开口单元，并且具有面向第一开口的凹槽一侧; 板状密封构件，其具有板状，部分地插入所述槽中，并且当所述第一叶片被放置在所述第一开口单元上时封闭所述第一开口单元;以及多个剩余空气去除锁定构件，用于去除所述凹槽中的残留空气;以及将板状密封构件锁定到凹槽区域。

9. 发明公开

KR1020130100560A 역압대응형 게이트 밸브 및 그를 구비하는 진공처리장치 有权
标题翻译：计数器相对门阀和真空加工装置
公开(公告)号：KR1020130100560A
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：KR1020120021883
申请日：2012-03-02
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 김영민 , 전용배 , 강병두 , 남기훈 , 최창현 , 정병규
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67207 , F16K3/04 , F16K3/32 , F16K51/02
摘要： PURPOSE: A counter pressure correspondence gate valve and a vacuum processing apparatus having the same are provided to improve manufacturing yield by using a vacuum chamber for maintaining a high vacuum state. CONSTITUTION: A valve chamber is arranged between a first vacuum chamber and a second vacuum chamber. A first blade (131) opens or closes the first opening part. A second blade (132) opens or closes a second opening part. A peak stopper (135) is in contact with the second blade and pressurizes the second blade. An air removing part removes the air remaining in the peak stopper.
摘要翻译：目的：提供一种反压对应闸阀及其真空处理装置，以通过使用用于保持高真空状态的真空室来提高制造成品率。构成：阀室布置在第一真空室和第二真空室之间。第一叶片（131）打开或关闭第一开口部分。第二刀片（132）打开或关闭第二开口部分。峰值止动件（135）与第二刀片接触并对第二刀片加压。除气部去除残留在峰值停止部中的空气。

10. 发明授权

KR101289704B1 수정 크리스탈 센서장치 有权
标题翻译：石英晶体传感器装置
公开(公告)号：KR101289704B1
公开(公告)日：2013-07-26
申请号：KR1020110065152
申请日：2011-06-30
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 강창호 , 김태환 , 이광철 , 최창현 , 이동호 , 김영민 , 전용배
IPC分类号： C23C14/24
摘要： 수정 크리스탈 센서장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 수정 크리스탈 센서장치는, 진공챔버 내에서 회전 구동하며 순차적으로 증착원에 노출되어 증착막의 두께를 측정하는 복수의 수정원판과, 증착원에 노출되는 수정원판에 교류전압을 인가하는 전압공급유닛을 포함하는 센서본체; 및 센서본체의 상부에 탈착 가능하게 결합하는 쵸퍼유닛을 포함한다.

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