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1. 发明授权

KR101595005B1 인라인 방식의 열증착 장치 有权
标题翻译：内部类型的热蒸发装置
公开(公告)号：KR101595005B1
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：KR1020140066918
申请日：2014-06-02
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 강병두 , 최창현 , 이동호 , 김정훈
IPC分类号： H01L51/56 , H01L21/447 , H01L21/677
摘要： 인라인방식의열증착장치가개시된다. 본발명의일 실시예에따른인라인방식의열증착장치는, 챔버의내부에마련되되, 유연기판을공급및 회수하는롤투롤모듈을구비하여유연기판을연속적으로이송하는기판이송유닛; 및챔버의내부에마련되되, 열증착방식으로유연기판에연속적으로증착물질을제공하도록인라인되게배치된복수의증발소스를포함하며, 롤투롤모듈은, 롤형태로권취된유연기판을공급하는언와인더(unwinder); 언와인더에이격되게배치되어, 증착공정이완료된유연기판을롤 형태로회수하는리와인더(rewinder); 및언와인더와리와인더사이에배치되되, 유연기판의증착물질이증착된증착영역이외의비증착영역에접촉되어유연기판의이송을안내하는복수의아이들롤러(idle roller)를포함한다.

2. 发明授权

KR101318171B1 ＯＬＥＤ 기판의 합착장치 有权
标题翻译：用于连接OLED基板的装置
公开(公告)号：KR101318171B1
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：KR1020110006529
申请日：2011-01-21
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 박민호 , 유우종 , 조찬희 , 김정훈 , 김영민 , 전용배
IPC分类号： H01L51/56
摘要： OLED 기판의 합착장치가 개시된다. 본 발명의 OLED 기판의 합착장치는, 제1 기판에 합착될 제2 기판을 흡착하는 흡착 플레이트; 흡착 플레이트의 상부에서 흡착 플레이트와 연결되며, 흡착 플레이트 방향으로 가압되는 합착 플레이트; 흡착 플레이트와 합착 플레이트를 연결하며, 합착 플레이트에 가해지는 가압력을 흡착 플레이트로 전달하는 복수의 스크류모듈; 및 합착 플레이트에 대한 흡착 플레이트의 상대 회전을 허용하면서 흡착 플레이트와 합착 플레이트의 연결을 지지하는 복수의 링크모듈을 포함한다. 본 발명에 의하면, 상호 합착될 제1 기판과 제2 기판 간의 상대적인 평형도를 정밀하게 조정하여 균일한 가압력을 제공할 수 있어 제1 기판과 제2 기판에 대한 합착 공정의 수율을 높일 수 있을 뿐만 아니라 품질 향상을 기대할 수 있다.

3. 发明公开

KR1020150138679A 인라인 방식의 열증착 장치 有权
标题翻译：内部类型的热蒸发装置
公开(公告)号：KR1020150138679A
公开(公告)日：2015-12-10
申请号：KR1020140066918
申请日：2014-06-02
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 강병두 , 최창현 , 이동호 , 김정훈
IPC分类号： H01L51/56 , H01L21/447 , H01L21/677
摘要： 인라인방식의열증착장치가개시된다. 본발명의일 실시예에따른인라인방식의열증착장치는, 챔버의내부에마련되되, 유연기판을공급및 회수하는롤투롤모듈을구비하여유연기판을연속적으로이송하는기판이송유닛; 및챔버의내부에마련되되, 열증착방식으로유연기판에연속적으로증착물질을제공하도록인라인되게배치된복수의증발소스를포함하며, 롤투롤모듈은, 롤형태로권취된유연기판을공급하는언와인더(unwinder); 언와인더에이격되게배치되어, 증착공정이완료된유연기판을롤 형태로회수하는리와인더(rewinder); 및언와인더와리와인더사이에배치되되, 유연기판의증착물질이증착된증착영역이외의비증착영역에접촉되어유연기판의이송을안내하는복수의아이들롤러(idle roller)를포함한다.
摘要翻译：公开了一种在线式热沉设备。根据本发明的实施例的在线式热沉积装置包括：形成在室中的基板传送单元，通过设置用于供应和收集柔性基板的卷对卷模块来连续传送柔性基板; 形成在所述室中的退绕机，并且包括以线型设置的多个蒸发源，以通过热沉积方法将沉积材料连续地提供到所述柔性基板，其中所述卷对卷组件包括：退绕机，其提供柔性基材卷绕成卷状; 设置在所述退绕机上以分离的回卷器，以及在沉积处理完成之后将所述柔性基板收集成卷状; 以及设置在退绕机和重绕器之间的多个空转辊，并且与沉积区域之外的非沉积区域接触，其中沉积柔性基板的沉积材料以引导柔性基板的转移。

4. 发明授权

KR101329761B1 캐리어 평탄도 측정장치 및 측정방법 有权
标题翻译：平面度测量装置及方法
公开(公告)号：KR101329761B1
公开(公告)日：2013-11-15
申请号：KR1020110080987
申请日：2011-08-16
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 박민호 , 이재승 , 김정훈
IPC分类号： H01L51/56 , G01B11/30
摘要： 캐리어 평탄도 측정장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 평탄도 측정장치는, 기판이 부착되는 캐리어를 거치하는 거치대; 캐리어의 기판이 부착되는 면이 지면을 향하도록 거치대를 회전시키는 회전유닛; 및 거치대 하부에서 거치대에 대하여 상대 이동 가능하게 마련되어 캐리어의 기판이 부착되는 면의 평탄도를 측정하는 센싱유닛을 포함한다.

5. 发明授权

KR101310762B1 기판 이송장치 有权
公开(公告)号：KR101310762B1
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：KR1020110065153
申请日：2011-06-30
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 정홍기 , 김기찬 , 한경록 , 김정훈 , 이춘수 , 오기용 , 서상훈 , 은희관 , 김영민
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , B65G54/02 , G02F1/13
摘要： 기판 이송장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판 이송장치는, 진공챔버; 진공챔버의 내부에서 기판을 이송하는 캐리어; 캐리어의 상단부와 비접촉된 상태에서 캐리어의 상부에 추력을 전달하는 상부이송유닛; 캐리어의 하단부에 캐리어에 대하여 상대적으로 유동가능하게 결합되는 상대유동허용유닛; 및 상대유동허용유닛에 접촉되어 캐리어의 이동을 가이드하는 복수의 가이드 유닛을 포함한다.

6. 发明公开

KR1020130019063A 캐리어 평탄도 측정장치 및 측정방법 有权
标题翻译：平面测量装置和载体的方法
公开(公告)号：KR1020130019063A
公开(公告)日：2013-02-26
申请号：KR1020110080987
申请日：2011-08-16
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 박민호 , 이재승 , 김정훈
IPC分类号： H01L51/56 , G01B11/30
摘要： PURPOSE: An apparatus and method for measuring the flatness of a carrier are provided to improve the accuracy of measurement by including a sensing unit which measures the flatness of a substrate attaching surface. CONSTITUTION: A carrier(20) is loaded on a holder. A substrate is attached to the carrier. A rotating unit(200) rotates the holder. A sensing unit(300) is relatively moved on the lower side of the holder and measures the flatness of the substrate attaching surface.
摘要翻译：目的：提供一种用于测量载体的平坦度的装置和方法，以通过包括测量基板安装表面的平坦度的感测单元来提高测量精度。构成：载体（20）装载在支架上。衬底附着到载体上。旋转单元（200）使支架旋转。感测单元（300）在保持器的下侧相对移动并且测量基板安装表面的平坦度。

7. 发明公开

KR1020120085107A ＯＬＥＤ 기판의 합착장치 有权
标题翻译：用于连接OLED基板的装置
公开(公告)号：KR1020120085107A
公开(公告)日：2012-07-31
申请号：KR1020110006529
申请日：2011-01-21
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 박민호 , 유우종 , 조찬희 , 김정훈 , 김영민 , 전용배
IPC分类号： H01L51/56
CPC分类号： H01L51/0024 , H01L51/56
摘要： PURPOSE: A bonding apparatus of an OLED substrate is provided to improve of a sealing yield of a first substrate and a second substrate by providing uniform pressure by precisely controlling relative balance between the second substrate and the first substrate. CONSTITUTION: An absorption plate(110) adsorbs a second substrate which is bonded with a first substrate. A bonding plate(120) is connected to the absorption plate on the top of the absorption plate. A plurality of screw modules(130) connects the absorption plate and the bonding plate. The plurality of screw modules transfers pressure applied to the bonding plate to the absorption plate. A plurality of link modules(140) supports the connection of the absorption plate and the bonding plate.
摘要翻译：目的：提供OLED基板的接合装置，以通过精确控制第二基板和第一基板之间的相对平衡来提供均匀的压力来提高第一基板和第二基板的密封收率。构成：吸收板（110）吸附与第一基板结合的第二基板。接合板（120）连接到吸收板顶部的吸收板。多个螺钉模块（130）连接吸收板和接合板。多个螺杆模块将施加到粘合板的压力传递到吸收板。多个连杆模块（140）支撑吸收板和接合板的连接。

8. 发明授权

KR101125556B1 유기물 증착 장치 有权
标题翻译：有机物蒸发装置
公开(公告)号：KR101125556B1
公开(公告)日：2012-03-22
申请号：KR1020090102828
申请日：2009-10-28
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 김정훈 , 김영민
IPC分类号： H01L21/312
摘要： 유기물 증착 장치가 개시된다. 본 발명의 유기물 증착 장치는, 기판에 모노머(monomer)를 증착할 수 있는 공간이 형성된 챔버; 챔버 내부에 배치되어 기판에 모노머를 분사하는 모노머 증착유닛; 챔버 외부에서 모노머 증착유닛과 연결되어 모노머 증착유닛을 진공 상태로 조성하는 데포 진공 펌프; 데포 진공 펌프의 후방에서 데포 진공 펌프에 연결되어 데포 진공 펌프의 진공압 발생을 보조하는 데포 건식 펌프; 및 데포 진공 펌프와 데포 건식 펌프 사이에 배치되어 데포 진공 펌프의 진공도를 미리 설정된 기준 진공도 이하로 유지시키는 펌프진공유지펌프를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 기판에 증착되지 않은 물질을 배기하는 과정에서 데포 진공 펌프 후단부의 진공도를 유지할 수 있도록 함으로써 모노머 증기가 데포 진공 펌프를 통과할 시 데포 진공 펌프의 후단부에 마련된 블레이드 및 베어링 등의 구동부에 모노머가 축적되는 것을 방지할 수 있어 결과적으로 데포 진공 펌프의 고장을 종래 보다 현저히 감소시킬 수 있다.
OLED, 유기물, 박막 봉지, 증착

9. 发明授权

KR101084333B1 유기전계발광 디스플레이 패널 제조용 증발원 및 이를 포함하는 증착장치 失效
标题翻译：用于制造有机电致发光显示面板和沉积物的沉积源
公开(公告)号：KR101084333B1
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：KR1020100002723
申请日：2010-01-12
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 김정훈
IPC分类号： H01L51/56 , C23C14/26
摘要： 본 발명에 따른 유기전계발광 디스플레이 패널 제조용 증발원은 유기물이 수용된 도가니; 상기 도가니에서 가열되어 증발된 유기물을 기판을 향해 배출하며, 유도 전류에 의해 가열되는 유도가열물질로 형성된 노즐부; 및 상기 노즐부에 상기 유도 전류를 유도시킬 수 있도록 상기 노즐부에 권선되는 유도가열선을 포함한다.

10. 发明授权

KR101224122B1 비접촉식 기판 이송장치 有权
标题翻译：非接触式玻璃转移装置
公开(公告)号：KR101224122B1
公开(公告)日：2013-01-21
申请号：KR1020100121087
申请日：2010-12-01
申请人： 주식회사 에스에프에이
发明人： 전종진 , 김정훈 , 신상호 , 양휘찬
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , F16C32/04 , F16C29/00
摘要： 비접촉식 기판 이송장치가 개시된다. 본 발명의 비접촉식 기판 이송장치는, 기판이 지지되는 캐리어(carrier)의 하부를 이송 가능하게 지지하며, 캐리어를 중력방향에 대해 일정각도의 기립 상태로 이송시키는 하부 이송모듈; 및 캐리어의 상부 영역에 마련되어 하부 이송모듈에 의해 이송되는 캐리어를 비접촉식으로 가이드하는 가이드모듈을 포함하며, 가이드모듈은, 캐리어가 이송되는 경로 상에 마련되는 제1 마그네트 가이드; 및 캐리어의 상단부에 마련되며, 제1 마그네트 가이드와의 상호작용에 따른 자기력에 기초하여 캐리어를 가이드하는 제2 마그네트 가이드를 포함한다.

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