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    • 4. 发明授权
    • 단분산 입자를 마스크로 이용하는 자성금속 점 정렬형성방법
    • 使用胶体光刻制作金属点阵的方法
    • KR100668642B1
    • 2007-01-16
    • KR1020050007276
    • 2005-01-26
    • 한국과학기술원
    • 양승만김사라최대근장세규신성철정종률
    • H01L21/306B82Y40/00
    • 본 발명은 단분산 입자를 마스크로 활용한 자성 금속 점 정렬 형성방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 패턴화를 요하는 금속박막 위에 구형의 단분산 입자를 배열하는 단계; 코팅된 단일막 또는 이중막을 반응성 이온 식각 조건을 조절하여 고분자 입자의 크기를 조절하는 단계; 고분자 마스크를 이용하여 아르곤 이온 식각 또는 금속을 증착하는 단계; 및 금속 패턴으로부터 마스크를 제거하는 단계를 포함하는 금속 점 정렬의 형성방법에 관한 것이다.
      본 발명은 종래 광식각 공정으로는 구현하기 어려운 100nm 이하의 미세패턴화가 가능하고, 간단한 공정에 의해 다양한 크기와 모양의 금속패턴을 형성할 수 있으며, 미리 원하는 성질의 자성금속을 증착하므로 자성금속의 선택이 자유롭고, 마스크의 크기 및 모양 조절함에 따라서 원하는 금속패턴의 제조가 가능하다.
      또한 본 발명에 의한 나노 패턴은 새로운 나노패턴의 형성을 위한 마스크, 반도체 메모리의 기억소자를 위한 마스크, 촉매의 패턴화된 기저 물질, 바이오센서 등의 생물소자, 반사 방지막 및 광소자 등으로 응용이 가능하다.
    • 7. 发明公开
    • 미세전자 및 광학소자제작에 유용한 규칙적인 양각 패턴의형성방법
    • 用于形成用于制造微电子器件和光学器件的常规成型图案的方法可选择可用的颗粒并且根据图案类型执行不同的功能
    • KR1020050001109A
    • 2005-01-06
    • KR1020030042674
    • 2003-06-27
    • 한국과학기술원
    • 양승만유형균최대근
    • H01L21/027
    • PURPOSE: A method for forming a regular embossed pattern useful for fabricating a microelectric device and an optical device is provided to freely select usable particles and perform different functions according to a pattern type by previously selecting and disposing particles of a desired property. CONSTITUTION: The first polymer layer of ductility is formed on the upper surface of a master patterned to be an embossed type and is hardened to form an intagliated pattern. The first polymer layer having the intagliated pattern is separated from the master to fill the pattern with the first particles. The second layer of viscosity is formed on the upper surface of the first polymer layer having the pattern and attaches the embossed pattern made of the predetermined particles to the surface of the second polymer layer. The second polymer layer is separated from the first polymer layer and a groove formed in the second polymer layer is filled with the second particles.
    • 目的:提供用于形成用于制造微电子器件和光学器件的规则压花图案的方法,以通过预先选择和处理所需性质的颗粒来根据图案类型自由选择可用的颗粒并执行不同的功能。 构成:延展性的第一聚合物层形成在图案化为压花类型的母版的上表面上,并被硬化以形成凹版图案。 将具有凹凸图案的第一聚合物层与母料分离以用第一颗粒填充图案。 第二层粘度形成在具有图案的第一聚合物层的上表面上,并将由预定颗粒制成的压花图案附着到第二聚合物层的表面。 第二聚合物层与第一聚合物层分离,并且在第二聚合物层中形成的凹槽填充有第二颗粒。