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    • 3. 发明公开
    • 반도체 장비의 로드포트 웨이퍼 카세트 도어 개폐장치
    • 用于开关和切割半导体滤波器的门的装置
    • KR1020140015075A
    • 2014-02-06
    • KR1020120082780
    • 2012-07-27
    • 방민규
    • 방민규
    • H01L21/673H01L21/02
    • H01L21/67373E05C3/14E05D15/06
    • The present invention relates to an apparatus for opening and closing a load port semiconductor wafer cassette door in a semiconductor apparatus. The present invention, though a latch lever fixing screw comes loose according as a door repeatedly is opened and closed, maintains a state that a latch lever is inserted into a latch lever support hole forming a latch lever coupling unit, prevents the latch lever from moving in an axial direction of a latch axis with respect to a latch axis, and accordingly, precisely opens and closes the door by correctly realizing a rotating operation of the latch lever with respect to the latch axis. The present invention, in the case that an external force such as a vibration is applied to a bracket, a cylinder fixing screw and a looseness preventing plate forming a cylinder fixing unit in a process that repeated door opening and closing operations affect a main body of a cylinder, inserts a square shaped head part of the cylinder fixing screw into a square shaped looseness preventing hole of the looseness preventing plate, and unless the fixing screw for fixing the looseness preventing plate at the bracket is completely unfastened and the looseness preventing plate is separated from the bracket, prevents the cylinder fixing screw from arbitrarily coming loose. Though the door opening and closing operations repeat for a long time, the present invention prevents a fixing state of a pneumatic cylinder and a coupling state of the latch lever with respect to the latch axis from being changed, and correctly opens and closes the door, thereby capable of definitely preventing accidents such as shutdown of a semiconductor manufacturing facility and a damage to a wafer.
    • 本发明涉及一种在半导体装置中打开和关闭负载端口半导体晶片盒门的装置。 本发明虽然通过锁门固定螺钉随着门的重复地打开和关闭而松动,但是保持闩锁杆插入到形成闩锁杆联接单元的闩锁杆支撑孔中的状态,防止闩锁杆移动 在闩锁轴线相对于闩锁轴线的轴向上,并且因此通过正确地实现闩锁杆相对于闩锁轴线的旋转操作来精确地打开和关闭门。 在本发明中,在反复打开和关闭操作的过程中,在支架上施加振动等外力的情况下,气缸固定螺钉和形成气缸固定单元的松动防止板影响主体 圆筒,将圆筒固定螺丝的方形头部插入松动防止板的方形防松孔中,除非用于将松动防止板固定在托架上的固定螺钉完全松开,并且防松板是 与支架分离,防止气缸固定螺丝松动。 虽然门打开和关闭操作重复了很长时间,但是本发明防止气动缸的固定状态和闩锁杆相对于闩锁轴线的联接状态被改变,并且正确地打开和关闭门, 从而能够确实地防止诸如关闭半导体制造设备和对晶片的损坏的事故。
    • 8. 发明授权
    • 반도체 장비의 로드포트 웨이퍼 카세트 도어 개폐장치
    • 负载端口半导体晶片盒开门关闭装置
    • KR101388444B1
    • 2014-04-23
    • KR1020120082780
    • 2012-07-27
    • 방민규
    • 방민규
    • H01L21/673H01L21/02
    • 본 발명은 반도체 장비의 로드포트 웨이퍼 카세트 도어 개폐장치에 관한 것으로, 도어의 개폐 작동이 반복됨에 따라 래치레버 고정나사가 이완되더라도 래치레버가 래치레버 결합수단을 구성하는 래치레버 지지공에 삽입된 상태로 유지되어 래치레버가 래치축에 대하여 래치축의 축선 방향으로 상대 이동될 수 없는 상태로 되며, 이에 따라 래치축에 대한 래치레버의 회동 작동이 항상 정확하게 이루어지게 되어 도어의 개폐가 정확하게 이루어지게 되며, 도어의 개폐 작동이 반복되어 실린더 본체에 작용하는 과정에서 실린더 본체에 가해지는 진동 등의 외력이 실린더 고정수단을 구성하는 브래킷, 실린더 고정나사, 이완방지판 등에 가해지는 경우 실린더 고정나사의 각형 머리부가 이완방지판의 각형 이완방지공에 삽입되어 있으므로 이완방지판을 브래킷에 고정하는 고정나사가 완전히 해체되어 이완방지판이 브래킷으로부터 탈락되지 않는 한 실린더 고정나사가 임의로 이완될 수 없게 되어 도어의 개폐 작동이 장기간에 걸쳐서 반복적으로 이루어지더라도 공압실린더의 고정 상태와 래치축에 대한 래치레버의 결합 상태에 변동이 생기지 않게 되어 도어의 개폐 작동이 항상 정확하게 이루어지게 되며, 이에 따라 반도체 제조설비의 다운 및 웨이퍼 손상 등의 사고를 확실하게 방지할 수 있도록 한 것이다.