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1. 发明公开

KR1020160065945A 모놀리식 방식의 물리적 변위가능 광 도파관 审中-实审
标题翻译：单光子物理位移光学波长
公开(公告)号：KR1020160065945A
公开(公告)日：2016-06-09
申请号：KR1020167011602
申请日：2013-12-03
申请人： 인텔 코포레이션
发明人： 허치슨데이비드엔 , 롱하이쉥 , 헤크존
IPC分类号： G02B6/12
CPC分类号： G02B6/422 , G02B6/12002 , G02B6/12004 , G02B6/12016 , G02B6/1203 , G02B6/12033 , G02B6/122 , G02B6/14 , G02B6/4208 , G02B6/4266
摘要： 광집적회로(PIC) 칩내부에서측방향으로뻗어있는광 도파관의일부분이기판으로부터적어도부분적으로자유로워져서, 해제된도파관종단(a released waveguide end)은기판과이 기판에제조된인접한광 디바이스에대해물리적변위(physical displacement)가허용된다. 이해제된도파관종단은도파관에의해전파된광 모드(an optical mode)와광 디바이스사이의상호작용을변조하도록변위될수 있다. 예를들어에첼격자(Echelle grating) 또는배열도파관격자(AWG;Arrayed waveguide grating)를이용하는광 디바이스가광 결합기인일 실시예에서, 광결합기를통한모드전파(mode propagation)는해제된도파관종단의물리적변위를통해변조될수 있다. 이러한일 실시예에서, 집적된광 파장분할멀티플렉서(WDM)의온도민감성은광 결합기의온도의존성에대항하는방식으로해제된도파관종단을결합기에대해변위시킴으로써감소된다.

2. 发明授权

KR101835676B1 가속도 측정 및 자이로스코피를 위한 광학 기계 센서 有权
公开(公告)号：KR101835676B1
公开(公告)日：2018-04-19
申请号：KR1020167012564
申请日：2014-11-19
申请人： 인텔 코포레이션
发明人： 허치슨데이비드엔 , 헤크존
IPC分类号： G01P15/093 , G01C19/5712 , G01C19/5733 , G01C19/5776 , G01P15/14 , G01P15/08
CPC分类号： G01P15/093 , G01C19/5712 , G01C19/5733 , G01C19/5776 , G01P15/14 , G01P2015/0828 , G01P2015/084
摘要： 본개시의실시형태는, 디바이스에인가되는관성변화를결정하도록구성되는 MEMS에대한기술및 구성을대상으로한다. 하나의예에서, 디바이스는공진파장을갖는광 빔을생성하도록구성되는레이저장치, 광빔을수신및 출력하도록구성되는도파관, 및변형가능한폐루프를포함하며광 빔의한 부분을수신하기위해도파관에광학적으로커플링되는광학공진기를포함할수도있다. 광학공진기의변형은광학공진기를통해이동하는광 빔의한 부분의광학경로길이의변화로귀결되어, 도파관에의해출력되는광 빔의공진파장에서의변화를발생시킨다. 다른실시형태가설명되고/되거나청구될수도있다.

3. 发明授权

KR101967030B1 모놀리식 방식의 물리적 변위가능 광 도파관 有权
公开(公告)号：KR101967030B1
公开(公告)日：2019-04-08
申请号：KR1020167011602
申请日：2013-12-03
申请人： 인텔 코포레이션
发明人： 허치슨데이비드엔 , 롱하이쉥 , 헤크존
IPC分类号： G02B6/12

4. 发明授权

KR100485046B1 필름 벌크 음향 공진기 필터를 제조하는 방법 有权
标题翻译：制造薄膜大声道谐振器滤波器
公开(公告)号：KR100485046B1
公开(公告)日：2005-04-22
申请号：KR1020030046724
申请日：2003-07-10
申请人： 인텔 코포레이션
发明人： 왕리-펭 , 바르-사데얄 , 라오발루리 , 헤크존 , 마큉 , 트란콴 , 탈랄예브스키알렉산더 , 긴스버그얄
IPC分类号： H03H9/24
CPC分类号： H03H9/564 , H03H3/02 , Y10T29/42
摘要： 필름 벌크 음향 공진기 필터(10)는 동일막(35)상에 형성된 복수의 상호접속된 시리즈 및 션트 필름 벌크 음향 공진기(38)로 형성될 수 있다. 각각의 필름 벌크 음향 공진기(38)는 각각의 필름 벌크 음향 공진기(38)의 저부 전극(32)을 형성하도록 형성되어 있는 공통의 하위 도전층으로 형성될 수 있다. 공통의 상부 도전층은 각각의 필름 벌크 음향 공진기(38)의 각각의 상부 전극(36)을 형성하도록 형성될 수 있다. 패터닝되거나 패터닝되지 않을 수 있는 공통의 압전필름층(34)은 연속 또는 불연속 필름을 형성한다.

5. 发明公开

KR1020160070128A 가속도 측정 및 자이로스코피를 위한 광학 기계 센서 审中-实审
标题翻译：用于加速度测量和陀螺仪的光电机械传感器
公开(公告)号：KR1020160070128A
公开(公告)日：2016-06-17
申请号：KR1020167012564
申请日：2014-11-19
申请人： 인텔 코포레이션
发明人： 허치슨데이비드엔 , 헤크존
IPC分类号： G01P15/093 , G01C19/5712 , G01C19/5733 , G01C19/5776 , G01P15/14 , G01P15/08
CPC分类号： G01P15/093 , G01C19/5712 , G01C19/5733 , G01C19/5776 , G01P15/14 , G01P2015/0828 , G01P2015/084
摘要： 본개시의실시형태는, 디바이스에인가되는관성변화를결정하도록구성되는 MEMS에대한기술및 구성을대상으로한다. 하나의예에서, 디바이스는공진파장을갖는광 빔을생성하도록구성되는레이저장치, 광빔을수신및 출력하도록구성되는도파관, 및변형가능한폐루프를포함하며광 빔의한 부분을수신하기위해도파관에광학적으로커플링되는광학공진기를포함할수도있다. 광학공진기의변형은광학공진기를통해이동하는광 빔의한 부분의광학경로길이의변화로귀결되어, 도파관에의해출력되는광 빔의공진파장에서의변화를발생시킨다. 다른실시형태가설명되고/되거나청구될수도있다.
摘要翻译：本公开的实施例涉及用于确定施加到装置的惯性变化的MEMS的技术和配置。在一个示例中，该装置包括被配置为产生具有谐振波长的光束的激光器装置，被配置为接收和输出光束的波导以及可变形的闭环，其中波导被配置为接收光束的一部分并且可以包括光学耦合的光学谐振器。光学共振器的变形导致光学部件在光学共振器中传播的一部分光程长度发生变化，并且引起由波导输出的光束的共振波长的变化。其他实施例可以被描述和/或要求保护。

6. 发明公开

KR1020040014200A 필름 벌크 음향 공진기 필터를 제조하는 방법 有权
标题翻译：制造膜片式声学谐振滤波器的方法
公开(公告)号：KR1020040014200A
公开(公告)日：2004-02-14
申请号：KR1020030046724
申请日：2003-07-10
申请人： 인텔 코포레이션
发明人： 왕리-펭 , 바르-사데얄 , 라오발루리 , 헤크존 , 마큉 , 트란콴 , 탈랄예브스키알렉산더 , 긴스버그얄
IPC分类号： H03H9/24
CPC分类号： H03H9/564 , H03H3/02 , Y10T29/42
摘要： PURPOSE: A method for manufacturing an FBAR(Film Bulk Acoustic Resonator) filter is provided to simplify the process and to miniaturize the size of the FBAR. CONSTITUTION: An FBAR filter(10) includes a plurality of film bulk acoustic resonators(38a-38e) having top electrodes(36). The FBARs(38c,38a) are shunt FBARs while the FBAR(38b) is a series FBAR coupled to the FBAR(38a) via an extension(36f) of the upper electrodes(36b,36e). An intermediate layer(35) in each FBAR includes a piezoelectric film. The same layer of piezoelectric film is positioned underneath each of the upper electrodes of the FBARs. Also, the intermediate layer(35) includes an interlayer dielectric that fills the area between FBARs while the region under each upper electrode is a piezoelectric film.
摘要翻译：目的：提供一种制造FBAR（Film Bulk Acoustic Resonator）滤光片的方法，以简化工艺过程并使FBAR的尺寸小型化。构成：FBAR滤波器（10）包括具有顶部电极（36）的多个薄膜体声波谐振器（38a-38e）。 FBAR（38c，38a）是分流FBAR，而FBAR（38b）是通过上电极（36b，36e）的延伸部（36f）耦合到FBAR（38a）的串联FBAR。每个FBAR中的中间层（35）包括压电膜。相同的压电膜层位于FBAR的每个上电极的下方。此外，中间层（35）包括填充FBAR之间的区域的层间电介质，而每个上电极的区域是压电膜。

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