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1. 发明公开

KR1020140002973A 습식 식각을 이용한 수직 구조물 제작 방법 有权
标题翻译：使用湿蚀刻制作垂直结构的方法
公开(公告)号：KR1020140002973A
公开(公告)日：2014-01-09
申请号：KR1020120070054
申请日：2012-06-28
申请人： 서울대학교산학협력단 , 전북대학교산학협력단 , 이화여자대학교 산학협력단
发明人： 김현석 , 김용권 , 방용승 , 김정무 , 지창현
IPC分类号： B81C1/00 , H01L21/027 , H01L21/306
CPC分类号： B81C1/00031 , H01L21/0273 , H01L21/30604
摘要： A method for fabricating vertical structures using a wet etching method is provided. The method comprises a step of forming identical patterns corresponding to the vertical through type structures on both sides of a base plate using a first mask; a step of etching the base plate after the patterning step using a first solution; and a step of stopping the etching of the base plate on the vertical through type structure. [Reference numerals] (AA) Vertical
摘要翻译：提供了使用湿式蚀刻方法制造垂直结构的方法。该方法包括使用第一掩模在基板的两侧上形成与垂直通孔型结构对应的相同图案的步骤; 在使用第一溶液的图案化步骤之后蚀刻所述基板的步骤; 以及在垂直贯通型结构上停止基板的蚀刻的步骤。（标号）（AA）垂直

2. 发明授权

KR102160857B1 광 프로브 有权
公开(公告)号：KR102160857B1
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：KR1020180085479
申请日：2018-07-23
申请人： 이화여자대학교 산학협력단 , 서울대학교산학협력단
发明人： 지창현 , 전상범 , 이용승 , 전새영 , 김용권
IPC分类号： A61B5/00

3. 发明授权

KR101844688B1 프레넬 마이크로렌즈 및 그 제조방법 有权
标题翻译：菲涅尔微透镜及其制造方法
公开(公告)号：KR101844688B1
公开(公告)日：2018-04-02
申请号：KR1020160182284
申请日：2016-12-29
申请人： 서울대학교산학협력단 , 이화여자대학교 산학협력단
发明人： 유승현 , 김용권 , 지창현
IPC分类号： G02B3/00
CPC分类号： G02B3/0031 , G02B3/0025 , G02B3/08
摘要： 본발명은프레넬마이크로렌즈및 그제조방법에관한것으로, 열재흐름공정으로용융된유리동심원(15)과실리콘기판(11)의일부가식각되어형성된실리콘동심원(17)이반복형성된평면구조를포함하고, 그제조방법은건식식각을통해제조한실리콘기판몰드(11)와두 번의열 재흐름공정을이용하여 3차원유리구조를제조함으로써프레넬마이크로렌즈(10)를완성한다. 본발명은프레넬마이크로렌즈를복잡한구조의소자로활용하고자할 때열 재흐름공정을통하여제작하는것이가능하게하고, 프레넬마이크로렌즈를광학 MEMS 소자에적용할수 있는발판을마련할수 있게하는이점이있다.
摘要翻译：本发明包括一个菲涅耳微透镜并且，yeoljae流动过程中玻璃同心15水果硅衬底11 uiil部分是蚀刻形成的硅同心圆（17）的平面结构伊凡服装形成熔体涉及制造相同的方法并且其制造方法是通过使用通过干蚀刻和热回流工艺制造两次的硅基板模具11制造三维玻璃结构来完成菲涅耳微透镜10。本发明是，可以设置阶段，这可以适用于它，和菲涅尔微透镜可以通过ttaeyeol回流工艺，以产生到要采取菲涅尔微透镜的优点的光学MEMS装置点的复杂结构的元件。

4. 发明授权

KR101753781B1 초소형 마이크로 빔 스플리터와 이의 제조방법 및 초소형 마이크로 빔 스플리터가 포함된 초소형 마이켈슨 간섭계 有权
标题翻译： Micromini分束器，其制造方法以及包括micromini分束器的微机械干涉仪
公开(公告)号：KR101753781B1
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：KR1020160028469
申请日：2016-03-09
申请人： 서울대학교산학협력단 , 이화여자대학교 산학협력단
发明人： 김대곤 , 유승현 , 김용권 , 지창현
IPC分类号： G02B6/293 , H05H1/26
摘要： 본발명은초소형마이크로빔 스플리터와이의제조방법및 초소형마이크로빔 스플리터가포함된초소형마이켈슨간섭계에관한것으로, 단결정실리콘기판의양면을 45도각도의경사면을가지도록구현하여단결정실리콘기판에수직한방향으로입사되는광을동일한방향의투과광과수직한방향의반사광으로분리할수 있어마이크로빔 스플리터와마이켈슨간섭계를더욱소형화할수 있도록한 것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种紧凑的迈克尔逊干涉仪包括一个微小的微分束器和制造和细小微分束器的方法，以实现单晶硅衬底的两侧，以便在单晶硅衬底为具有45°的斜坡dogak垂直的一个方向它可以将入射的光分离成透射光和反射在同一方向的一个方向垂直的光将是一个以进一步降低微分束器的尺寸和迈克尔逊干涉仪。

5. 发明公开

KR1020170058801A 신경 탐침부 및 그를 구비한 신경 탐침 인터페이스 有权
公开(公告)号：KR1020170058801A
公开(公告)日：2017-05-29
申请号：KR1020150162874
申请日：2015-11-19
申请人： 이화여자대학교 산학협력단 , 서울대학교산학협력단
发明人： 지창현 , 전상범 , 유승현 , 김대곤 , 김용권
IPC分类号： A61B5/00
CPC分类号： A61B5/00
摘要： 본발명의실시예에따른신경탐침인터페이스는, 광원; 및일단부는상기광원에연결되고타단부는신경에광 자극을가하기위해탐침대상인신경내부로삽입되는탐침부로마련되며, 코어및 상기코어를부분적으로감싸는클래드를갖는광도파관;을포함하며, 상기탐침부는상기신경으로의삽입을위한원뿔형상의코어부재로형성되며, 상기클래드는상기코어부재를제외한상기광도파관의나머지영역의적어도일부분을감쌀수 있다. 본발명의실시예에따르면, 탐침부의코어부재가클래드가제거된원뿔형상을가짐으로써신경탐침의용이성을확보할수 있으면서도코어부재와접촉되는물질간의굴절률차이에기초하여신경에대한탐침부의접촉유무를정확하게판별할수 있음은물론탐침부의삽입깊이도미세하게조정할수 있다.

6. 发明授权

KR102002234B1 광 신호를 전달하는 신경 프로브 인터페이스 장치 有权
公开(公告)号：KR102002234B1
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：KR1020170183162
申请日：2017-12-28
申请人： 이화여자대학교 산학협력단 , 서울대학교산학협력단
发明人： 지창현 , 전상범 , 이홍균 , 전새영 , 김용권
IPC分类号： A61B5/04 , A61B5/00

7. 发明授权

KR101741533B1 신경 탐침부 및 그를 구비한 신경 탐침 인터페이스 有权
标题翻译：神经刺激单元和神经刺激接口
公开(公告)号：KR101741533B1
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：KR1020150162874
申请日：2015-11-19
申请人： 이화여자대학교 산학협력단 , 서울대학교산학협력단
发明人： 지창현 , 전상범 , 유승현 , 김대곤 , 김용권
IPC分类号： A61B5/00
CPC分类号： A61B5/00
摘要： 본발명의실시예에따른신경탐침인터페이스는, 광원; 및일단부는상기광원에연결되고타단부는신경에광 자극을가하기위해탐침대상인신경내부로삽입되는탐침부로마련되며, 코어및 상기코어를부분적으로감싸는클래드를갖는광도파관;을포함하며, 상기탐침부는상기신경으로의삽입을위한원뿔형상의코어부재로형성되며, 상기클래드는상기코어부재를제외한상기광도파관의나머지영역의적어도일부분을감쌀수 있다. 본발명의실시예에따르면, 탐침부의코어부재가클래드가제거된원뿔형상을가짐으로써신경탐침의용이성을확보할수 있으면서도코어부재와접촉되는물질간의굴절률차이에기초하여신경에대한탐침부의접촉유무를정확하게판별할수 있음은물론탐침부의삽입깊이도미세하게조정할수 있다.
摘要翻译：根据本发明实施例的神经刺激接口包括光源; 和一端具有包层的光学波导被设置为一部分所述探针连接到所述光源和所述另一端被插入到目标探头内的神经对光刺激下降到神经，包围所述芯，并且部分的芯;其中所述探针并且，包层由用于插入神经的圆锥状的芯材构成，包层除了芯材以外，还可以覆盖光波导的剩余区域的至少一部分。根据本发明的一个实施例中，芯部构件的探针，还能够通过具有与所述芯构件接触的材料之间的折射率差的基础上被除去具有或不具有神经的探针部分接触包层的圆锥形状，以确保容易性神经探针的探头的插入深度可以精确调整。

8. 发明授权

KR101361610B1 습식 식각을 이용한 수직 구조물 제작 방법 有权
标题翻译：使用湿法蚀刻制造垂直结构的方法
公开(公告)号：KR101361610B1
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：KR1020120070054
申请日：2012-06-28
申请人： 서울대학교산학협력단 , 전북대학교산학협력단 , 이화여자대학교 산학협력단
发明人： 김현석 , 김용권 , 방용승 , 김정무 , 지창현
IPC分类号： B81C1/00 , H01L21/027 , H01L21/306
摘要： 습식 식각을 이용한 수직 구조물 제작 방법이 제공된다. 수직 관통형 구조물을 제작하기 위한 제1마스크를 이용하여 수직 관통형 구조물에 해당하는 패턴을 기판의 양면에 동일하게 패터닝하는 단계와, 제1마스크에 의해 패터닝된 기판을 제1용액을 이용하여 식각하는 단계와, 수직 관통형 구조물에 포함된 기판의 식각을 중지하는 단계를 포함한다.

9. 发明授权

KR100921434B1 피디엠에스를 이용한 경사진 바닥 전극을 갖는 마이크로미러 제작 방법 失效
标题翻译：使用PDMS制造具有滑动电极的微型计算机的方法
公开(公告)号：KR100921434B1
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：KR1020080127049
申请日：2008-12-15
申请人： 이화여자대학교 산학협력단
发明人： 박일흥 , 박재형 , 김용권 , 유병욱 , 진주영
IPC分类号： G02B26/08 , B81C1/00
CPC分类号： G02B26/0841 , B81C1/00166 , B81C1/00269 , B81C1/00547 , G02B26/105
摘要： PURPOSE: A method for manufacturing a micromirror having inclined electrode using PDMS is provided to increase a driving angle which is available by forming a bottom electrode to be inclined. CONSTITUTION: A method for manufacturing a micromirror having inclined electrode using PDMS is comprised of the steps: forming a bottom electrode to be inclined as a triangle and patterning a mold so that the top of the tangle is split(S110); injecting PDMS(polydimethylsiloxane stamp) into the patterned mold and hardening it(S120); separating hardened PDMS from the patterned mold in order to form the inclined bottom electrode(S130); and depositing the metal layer on the surface of PDMS in order to supply a voltage to the inclined bottom electrode(S140).
摘要翻译：目的：提供一种使用PDMS制造具有倾斜电极的微镜的方法，以增加通过形成倾斜的底部电极可获得的驱动角度。构成：使用PDMS制造具有倾斜电极的微镜的方法包括以下步骤：形成倾斜为三角形的底部电极，并且使模具图案化，使得缠结的顶部被分裂（S110）; 将PDMS（聚二甲基硅氧烷印模）注入图案化模具中并使其硬化（S120）; 将硬化的PDMS与图案化的模具分离以形成倾斜的底部电极（S130）; 以及在PDMS的表面上沉积金属层以便向倾斜底部电极提供电压（S140）。

10. 发明授权

KR100888076B1 자가 정렬 전극을 이용한 마이크로미러 제작 방법 有权
标题翻译：使用自对准电极制造微镜的方法
公开(公告)号：KR100888076B1
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：KR1020080041189
申请日：2008-05-02
申请人： 이화여자대학교 산학협력단
发明人： 박일흥 , 박재형 , 김용권 , 유병욱 , 진주영
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0841 , B81C1/00134 , B81C1/00531 , G02B6/3584 , G02B26/105 , H01L2924/1461
摘要： A method for manufacturing a micro-mirror using a self-aligned electrode is provided to etch a mirror and a bottom electrode after bonding a micromirror and the bottom electrode. A micromirror manufacturing method utilizing the self-aligned electrode is comprised of a forming a micromirror(S10), a forming the bottom electrode formation(S20), jointing(S30), etching at the same time(S40). A micromirror is formed on the first wafer, and while forming a support. The support is connection member in jointing, and the bottom electrode is formed on the second wafer. The first and the second wafer are jointed in the jointing step, and the mirror and the bottom electrode are etched at the same time.
摘要翻译：提供了使用自对准电极制造微镜的方法，用于在结合微反射镜和底电极之后蚀刻反射镜和底电极。利用自对准电极的微镜制造方法包括形成微镜（S10），形成底电极形成（S20），接合（S30），同时蚀刻（S40）。在第一晶片上形成微镜，同时形成支撑体。支撑体是接合处的连接构件，底部电极形成在第二晶片上。第一和第二晶片在接合步骤中接合，同时对反射镜和底部电极进行蚀刻。

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