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1. 发明授权

KR101753075B1 자외선 레이저다이오드를 이용한 스캔형 노광장치 有权
标题翻译：使用紫外激光二极管的扫描型曝光装置
公开(公告)号：KR101753075B1
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：KR1020160058678
申请日：2016-05-13
申请人： 이원식 , 조진혁
发明人： 이원식 , 조진혁
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/2004 , G03F7/2053 , G03F7/70075 , G03F7/70275 , G03F7/704 , G03F7/70758
摘要： 본발명은자외선레이저다이오드를이용하여대면적기판에 1㎛이하선 폭의패턴을감광할수 있어서스캔광원을크게하고장비를크게구성하여대단히큰 면적도고도의미세패턴으로제품생산이가능한자외선레이저다이오드를이용한스캔형노광장치에관한것으로서, 본발명에따른자외선레이저다이오드를이용한스캔형노광장치는, 자외선레이저를발진하는레이저발진장치; 상기레이저발진장치의전방에설치되며, 상기자외선레이저를초점을형상하도록집속하는빔 집속부; 상기빔 집속부전방에회전가능하게설치되며, 상기자외선레이저를일정한범위내에조사되는선광원으로변환하는스캔모듈; 상기스캔모듈상측에설치되며, 상기스캔모듈에서선광원으로조사되는자외선레이저를하측으로조사되는평행광으로변환하는평행광변환부; 상기평행광변환부하측에설치되며, 노광이진행될기판과마스크가설치되는기판설치지그; 상기기판설치지그의하부에결합되어설치되며, 상기기판설치지그를상기평행광변환부에의하여조사되는선광원의길이방향과수직되는방향으로수평이동시키는수평이동부;를포함한다.
摘要翻译：本发明是一种紫外线激光二极管可以使用UV激光二极管光源是在感光腮腺宽度的1㎛到该大面积基板的图案和显著增加扫描配置非常大的面积，即使在高精细的图案用于制造在设备本发明涉及一种使用紫外激光二极管的扫描型曝光设备，更具体地涉及一种使用紫外激光二极管的扫描型曝光设备，光束聚焦单元安装在激光振荡器的前方并聚焦以聚焦紫外激光束; 扫描模块，可旋转地安装在光束聚焦子腔室中并将紫外激光转换成在预定范围内照射的线性光源; 平行光转换器，安装在扫描模块上并将从扫描模块照射的紫外激光转换为平行光以向下照射; 基板安装夹具，设置在所述平行光转换负载侧上并具有基板和待曝光的掩模; 所述衬底的所述水平运动seolchiji其下端安装并耦合到在方向的水平垂直于所述线光源的长度方向由一个平行光束转换单元，其中，所述基板安装夹具东方照射;包括。

2. 发明授权

KR102086116B1 전기톱 톱날 제조방법 有权
公开(公告)号：KR102086116B1
公开(公告)日：2020-05-04
申请号：KR1020190047029
申请日：2019-04-23
申请人： (주)에코 , 최계송 , 조진혁
发明人： 최계송 , 조진혁
IPC分类号： B23D63/16 , C21D1/18 , C21D9/24

3. 发明授权

KR101868417B1 청색 레이저다이오드와 형광체를 이용한 고휘도 써치라이트 有权
公开(公告)号：KR101868417B1
公开(公告)日：2018-06-20
申请号：KR1020160058666
申请日：2016-05-13
申请人： 전영범 , 조진혁
发明人： 전영범 , 조진혁
IPC分类号： F21K99/00 , F21V5/04 , F21W131/40 , F21Y101/02 , H05B33/08 , H05B37/02
CPC分类号： H01S5/4012 , H01S5/0071 , H01S5/32341
摘要： 본발명은청색레이저다이오드와결정형형광체를이용하여백색광을구현하고이 백색광을적절한광학적장치를통하여평행광또는확산각도조정이가능한청색레이저다이오드와형광체를이용한고휘도써치라이트에관한것으로서, 본발명에따른청색레이저다이오드와형광체를이용한고휘도서치라이트는청색레이저빔을발산하는하나또는다수개의레이저다이오드; 상기레이저다이오드전방에설치되며, 상기레이저다이오드에서발산하는청색레이저빔을평행광으로집속하는광 집속부; 상기광 집속부의전방에설치되며, 상기광 집속부에의하여집속된청색레이저빔을조사받아서백색광으로변환하는형광체부; 상기광 집속부와상기형광체부사이에설치되며, 상기광 집속부에의하여집속된하나또는다수개의청색레이저빔을하나의빔으로모아서상기형광체부로조사시키는집광광학계; 상기집광광학계와상기형광체부사이에중앙에광 통과공이형성되는포물경형상으로설치되며, 상기형광체에서변환된백색광을상기형광체부후방방향으로조사되는평행광으로변환시키는평행광변환부;를포함한다.

4. 发明授权

KR101800634B1 청색 레이저다이오드와 형광체를 이용한 산업용 조명장치 有权
标题翻译：工业照明系统使用蓝色激光二极管和荧光粉
公开(公告)号：KR101800634B1
公开(公告)日：2017-11-22
申请号：KR1020160057515
申请日：2016-05-11
申请人： 김종우 , 전영범 , 조진혁
发明人： 김종우 , 전영범 , 조진혁
IPC分类号： F21K99/00 , F21V15/01 , F21W131/40 , F21Y101/02
摘要： 본발명은레이저빔의점 광원특성과형광체를이용한백색광으로변환, 광학계를이용한빔 손실의최소화등을구현하여원거리조사가가능하고, 장치내의미동나사를조정하여조사범위를가변할수 있으며기존조명전력소모량보다약 3배이상밝은조명장치로서작업장의천정이높은공장, 스테이지조명, 운동장조명에특히효율적인청색레이저다이오드와형광체를이용한산업용조명장치에관한것으로서, 본발명에따른청색레이저다이오드와형광체를이용한산업용조명장치는, 청색레이저빔을전방으로조사하는다수개의청색레이저다이오드가방사형으로배치되는청색레이저발생부; 상기청색레이저다이오드의전방에각각설치되며, 상기청색레이저다이오드에서조사되는레이저빔들을평행광으로집속하는광 집속부; 상기광 집속부의전방에설치되며, 상기광 집속부에의하여평행광으로집속된다수개의청색레이저빔들을전방의특정지점으로모으는광 경로변환부; 상기광 경로변화부에전방특정지점에설치되며, 상기광 경로변환부에의하여집광된청색레이저를백색광으로변환하는형광체부; 상기형광체부의후방에포물경으로설치되며, 상기형광체부에서변환된백색광을상기형광체부전방방향으로조사시키는백색광확산부;를포함한다.
摘要翻译：本发明是使用一个光源特性和实施的荧光体等，以尽量减少由光学系统中的光束损失是一个远照射转换为白色光的激光束，并且通过在该装置中调节正切螺丝，以改变照射范围和常规照明比使用根据本发明的特别有效的蓝色激光二极管和用于高天花板车间植物的荧光体，舞台照明，灯光球场，蓝色激光二极管和荧光体的工业照明装置的电力消耗为至少约3倍更亮的照明装置所使用的工业照明设备包括：蓝色激光产生单元，其中放射状地排列用于向前照射蓝色激光束的多个蓝色激光二极管; 光聚焦单元，安装在蓝色激光二极管的前方，并将蓝色激光二极管发射的激光聚集成平行光; 光路改变单元，所述光路改变单元安装在所述光聚焦单元的前方并且通过所述光聚焦单元在前方的预定点收集由平行光聚焦的多个蓝色激光束; 荧光体单元，安装在所述光路改变单元的前方的特定点处，并将由所述光路转换单元会聚的所述蓝色激光转换成白光; 以及设置在荧光体单元的后部并且将由荧光体单元转换的白光沿荧光体单元的正向照射的白色光扩散单元。

5. 发明公开

KR1020170127880A 청색 레이저다이오드와 형광체를 이용한 고휘도 써치라이트 审中-实审
标题翻译：采用蓝色激光二极管和荧光粉的高亮度探照灯
公开(公告)号：KR1020170127880A
公开(公告)日：2017-11-22
申请号：KR1020160058666
申请日：2016-05-13
申请人： 전영범 , 조진혁
发明人： 전영범 , 조진혁
IPC分类号： F21K99/00 , F21V5/04 , F21W131/40 , F21Y101/02 , H05B33/08 , H05B37/02
CPC分类号： H01S5/005
摘要： 본발명은청색레이저다이오드와결정형형광체를이용하여백색광을구현하고이 백색광을적절한광학적장치를통하여평행광또는확산각도조정이가능한청색레이저다이오드와형광체를이용한고휘도써치라이트에관한것으로서, 본발명에따른청색레이저다이오드와형광체를이용한고휘도서치라이트는청색레이저빔을발산하는하나또는다수개의레이저다이오드; 상기레이저다이오드전방에설치되며, 상기레이저다이오드에서발산하는청색레이저빔을평행광으로집속하는광 집속부; 상기광 집속부의전방에설치되며, 상기광 집속부에의하여집속된청색레이저빔을조사받아서백색광으로변환하는형광체부; 상기광 집속부와상기형광체부사이에설치되며, 상기광 집속부에의하여집속된하나또는다수개의청색레이저빔을하나의빔으로모아서상기형광체부로조사시키는집광광학계; 상기집광광학계와상기형광체부사이에중앙에광 통과공이형성되는포물경형상으로설치되며, 상기형광체에서변환된백색광을상기형광체부후방방향으로조사되는평행광으로변환시키는평행광변환부;를포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种高强度的使用蓝色激光二极管和平行光或漫射角度调整可用的蓝色激光二极管和用于白色光的荧光体和该实现白色光的通过经由适当的光学装置使用结晶磷光体的搜索是光，根据本发明的蓝色激光使用二极管和磷光体的高亮度探照灯包括发射蓝色激光束的一个或多个激光二极管; 安装在激光二极管前面的光聚焦单元，用于将从激光二极管发射的蓝色激光束聚焦成平行光; 安装在前方的光聚焦部分，用于通过聚焦的蓝色激光束转换的荧光体，所述光聚焦单元，用于接收的白色光照射; 安装冷凝器部分和荧光体副，收集一个或多个蓝色激光束的被光学聚焦单元聚焦到光束会聚照射部和所述荧光体的光学系统; 是由四个安装mulgyeong成形为形成球聚光光学系统和所述荧光体的副中间的光透射，平行于所述光转换单元，用于从所述荧光体的转换的白色光转换成平行光束照射到荧光体部向后方向;以及。

6. 发明公开

KR1020170127194A 청색 레이저다이오드와 형광체를 이용한 산업용 조명장치 有权
标题翻译：工业照明系统使用蓝色激光二极管和荧光粉
公开(公告)号：KR1020170127194A
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：KR1020160057516
申请日：2016-05-11
申请人： 김종우 , 전영범 , 조진혁
发明人： 김종우 , 전영범 , 조진혁
IPC分类号： F21K99/00 , F21V14/02 , F21V3/00 , F21Y101/02 , F21W131/10 , F21W131/40
摘要： 본발명은레이저빔의점 광원특성과형광체를이용한백색광으로변환, 광학계를이용한빔 손실의최소화등을구현하여원거리조사가가능하고, 기존조명전력소모량보다약 3배이상밝은청색레이저다이오드와형광체를이용한산업용조명장치에관한것으로서, 본발명에따른청색레이저다이오드와형광체를이용한산업용조명장치는, 청색레이저빔을전방으로조사하는다수개의청색레이저다이오드가방사형으로배치되는청색레이저발생부; 상기다수개의청색레이저다이오드에서조사되는다수개의레이저빔이전방특정지점에모이도록상기다수개의청색레이저다이오드의설치공간을제공하는설치본체; 상기설치본체의후방에결합되어백열전구가결합이가능한전구설치장치에결합가능한구조를가지며, 상기전구설치장치에결합되어전원을상기청색레이저발생부로공급하는전원소켓; 상기청색레이저다이오드의전방에각각설치되며, 상기청색레이저다이오드에서조사되는레이저빔들을평행광으로집속하여특정지점에집광하는광 집속부; 상기광 경로변화부에전방특정지점에설치되며, 상기광 집속부에의하여집광된청색레이저를백색광으로변환하는형광체부; 상기형광체부의후방에포물경으로설치되며, 상기형광체부에서변환된백색광을상기형광체부전방방향으로조사시키는백색광확산부;를포함한다.
摘要翻译：远调查可能的，且至少约3倍于常规的照明功率消耗的发明中，有荧光体的光的蓝色激光二极管来实现和激光束光斑的最小化使用光源特性和波束损失的通过光学系统的磷光体转换成白光使用涉及工业照明装置中，使用蓝色激光二极管和根据本发明，一个蓝色激光束，蓝色部分是用于照射径向设置激光发生器前部的多个蓝色激光二极管的荧光体工业照明装置; 安装单元，用于从所述多个蓝色激光二极管，以提供所述多个蓝色激光二极管的安装空间聚集在前面的某个点的发射的多个激光束; 联接到所述安装主体的后部侧上的电源插座有一个灯泡被耦合能够结合可用的灯泡安装装置，耦接于所述灯泡安装设备连接到电源的蓝色激光发生部分的结构; 蓝色分别安装在激光二极管的前面，聚焦部用于聚焦于特定点通过聚焦从蓝色激光二极管成平行光射出的激光光; 荧光体单元，其安装在所述光路改变单元的前方的特定点处，并将由所述聚光单元聚集的所述蓝色激光转换成白光; 以及设置在荧光体单元的后侧上并且将由荧光体单元转换的白光朝荧光体去耦方向照射的白色光扩散单元。

7. 发明授权

KR101770637B1 자외선 레이저다이오드를 이용한 스캔형 노광장치 有权
标题翻译：使用紫外激光二极管的扫描型曝光装置
公开(公告)号：KR101770637B1
公开(公告)日：2017-08-23
申请号：KR1020160058676
申请日：2016-05-13
申请人： 전영범 , 조진혁
发明人： 전영범 , 조진혁
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/2004 , G03F7/2053 , G03F7/70275 , G03F7/704 , G03F7/70758
摘要： 본발명은자외선레이저다이오드를이용하여대면적기판에 1㎛이하선 폭의패턴을감광할수 있어서스캔광원을크게하고장비를크게구성하여대단히큰 면적도고도의미세패턴으로제품생산이가능한자외선레이저다이오드를이용한스캔형노광장치에관한것으로서, 본발명에따른자외선레이저다이오드를이용한스캔형노광장치는, 자외선레이저를발진하는레이저발진장치; 상기레이저발진장치의하측에설치되며, 상기자외선레이저를초점을형성하도록집속하는빔 집속부; 상기빔 집속부의하측에설치되며, 집속된자외선레이저를종축으로비대칭확장시키는빔 종축확장부; 상기빔 종축확장부하측에회전가능하게설치되며, 종축으로확장된자외선레이저를상측으로반사하되, 상기자외선레이저를일정한범위내에조사되는선광원으로변환하는스캔모듈; 상기스캔모듈상측에설치되며, 상기스캔모듈에서반사되는자외선레이저를하측으로조사되는평행광으로변환하는평행광변환부; 상기평행광변환부하측에설치되며, 노광이진행될기판과마스크가설치되는기판설치지그; 상기기판설치지그의하부에결합되어설치되며, 상기기판설치지그를상기평행광변환부에의하여조사되는선광원의길이방향과수직되는방향으로수평이동시키는수평이동부;를포함한다.
摘要翻译：本发明是一种紫外线激光二极管可以使用UV激光二极管光源是在感光腮腺宽度的1㎛到该大面积基板的图案和显著增加扫描配置非常大的面积，即使在高精细的图案用于制造在设备本发明涉及一种使用紫外激光二极管的扫描型曝光设备，更具体地涉及一种使用紫外激光二极管的扫描型曝光设备，光束聚焦单元，安装在激光振荡器的下侧并被聚焦以形成紫外激光的焦点; 光束垂直轴扩展器，安装在光束聚焦单元下方，用于在垂直轴上不对称地扩展聚焦的紫外激光束; 扫描模块，可旋转地安装在光束纵向延伸负载侧上，用于将在纵轴上延伸的紫外激光向上反射并将紫外激光转换成在预定范围内照射的线性光源; 平行光转换单元，安装在所述扫描模块上并将从所述扫描模块反射的紫外激光转换为向下照射的平行光; 基板安装夹具，设置在所述平行光转换负载侧上并具有基板和待曝光的掩模; 所述衬底的所述水平运动seolchiji其下端安装并耦合到在方向的水平垂直于所述线光源的长度方向由一个平行光束转换单元，其中，所述基板安装夹具东方照射;包括。

8. 发明授权

KR101800635B1 청색 레이저다이오드와 형광체를 이용한 산업용 조명장치 有权
标题翻译：工业照明系统使用蓝色激光二极管和荧光粉
公开(公告)号：KR101800635B1
公开(公告)日：2017-11-23
申请号：KR1020160057516
申请日：2016-05-11
申请人： 김종우 , 전영범 , 조진혁
发明人： 김종우 , 전영범 , 조진혁
IPC分类号： F21K99/00 , F21V14/02 , F21V3/00 , F21Y101/02 , F21W131/10 , F21W131/40
摘要： 본발명은레이저빔의점 광원특성과형광체를이용한백색광으로변환, 광학계를이용한빔 손실의최소화등을구현하여원거리조사가가능하고, 기존조명전력소모량보다약 3배이상밝은청색레이저다이오드와형광체를이용한산업용조명장치에관한것으로서, 본발명에따른청색레이저다이오드와형광체를이용한산업용조명장치는, 청색레이저빔을전방으로조사하는다수개의청색레이저다이오드가방사형으로배치되는청색레이저발생부; 상기다수개의청색레이저다이오드에서조사되는다수개의레이저빔이전방특정지점에모이도록상기다수개의청색레이저다이오드의설치공간을제공하는설치본체; 상기설치본체의후방에결합되어백열전구가결합이가능한전구설치장치에결합가능한구조를가지며, 상기전구설치장치에결합되어전원을상기청색레이저발생부로공급하는전원소켓; 상기청색레이저다이오드의전방에각각설치되며, 상기청색레이저다이오드에서조사되는레이저빔들을평행광으로집속하여특정지점에집광하는광 집속부; 상기광 경로변화부에전방특정지점에설치되며, 상기광 집속부에의하여집광된청색레이저를백색광으로변환하는형광체부; 상기형광체부의후방에포물경으로설치되며, 상기형광체부에서변환된백색광을상기형광체부전방방향으로조사시키는백색광확산부;를포함한다.
摘要翻译：远调查可能的，且至少约3倍于常规的照明功率消耗的发明中，有荧光体的光的蓝色激光二极管来实现和激光束光斑的最小化使用光源特性和波束损失的通过光学系统的磷光体转换成白光使用涉及工业照明装置中，使用蓝色激光二极管和根据本发明，一个蓝色激光束，蓝色部分是用于照射径向设置激光发生器前部的多个蓝色激光二极管的荧光体工业照明装置; 一种用于提供用于安装多个蓝色激光二极管的空间的安装体，以便从多个蓝色激光二极管照射的多个激光束被收集在前面的特定点处; 电源插座，其连接到灯泡安装装置以向蓝色激光发生器供电，电源插座连接到安装主体的后部并且可连接到能够连接白炽灯泡的灯泡安装装置; 蓝色分别安装在激光二极管的前面，聚焦部用于聚焦于特定点通过聚焦从蓝色激光二极管成平行光射出的激光光; 荧光体单元，其安装在所述光路改变单元的前方的特定点处，并将由所述聚光单元聚集的所述蓝色激光转换成白光; 以及设置在荧光体单元的后部并且将由荧光体单元转换的白光沿荧光体单元的正向照射的白色光扩散单元。

9. 发明公开

KR1020170127193A 청색 레이저다이오드와 형광체를 이용한 산업용 조명장치 有权
标题翻译：工业照明系统使用蓝色激光二极管和荧光粉
公开(公告)号：KR1020170127193A
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：KR1020160057515
申请日：2016-05-11
申请人： 김종우 , 전영범 , 조진혁
发明人： 김종우 , 전영범 , 조진혁
IPC分类号： F21K99/00 , F21V15/01 , F21W131/40 , F21Y101/02
摘要： 본발명은레이저빔의점 광원특성과형광체를이용한백색광으로변환, 광학계를이용한빔 손실의최소화등을구현하여원거리조사가가능하고, 장치내의미동나사를조정하여조사범위를가변할수 있으며기존조명전력소모량보다약 3배이상밝은조명장치로서작업장의천정이높은공장, 스테이지조명, 운동장조명에특히효율적인청색레이저다이오드와형광체를이용한산업용조명장치에관한것으로서, 본발명에따른청색레이저다이오드와형광체를이용한산업용조명장치는, 청색레이저빔을전방으로조사하는다수개의청색레이저다이오드가방사형으로배치되는청색레이저발생부; 상기청색레이저다이오드의전방에각각설치되며, 상기청색레이저다이오드에서조사되는레이저빔들을평행광으로집속하는광 집속부; 상기광 집속부의전방에설치되며, 상기광 집속부에의하여평행광으로집속된다수개의청색레이저빔들을전방의특정지점으로모으는광 경로변환부; 상기광 경로변화부에전방특정지점에설치되며, 상기광 경로변환부에의하여집광된청색레이저를백색광으로변환하는형광체부; 상기형광체부의후방에포물경으로설치되며, 상기형광체부에서변환된백색광을상기형광체부전방방향으로조사시키는백색광확산부;를포함한다.
摘要翻译：本发明的距离测量可能的，并且实现诸如点光源特性最小化和荧光体，通过调节细螺纹在单元照射范围上升，以改变传统的照明功率消耗使用激光束的光学系统中的光束损失的白色光转换本发明涉及一种使用蓝色激光二极管和磷光体的工业照明设备，其对于工厂照明，舞台照明和运动场照明特别有效，该照明设备包括：蓝色激光产生单元，在该蓝色激光产生单元中放射状地布置用于向前照射蓝色激光束的多个蓝色激光二极管; 光聚焦单元，安装在蓝色激光二极管的前方，并将蓝色激光二极管发射的激光聚集成平行光; 光路转换单元，所述光路转换单元安装在所述光聚焦单元的前方并且聚集由所述聚光单元向前聚焦在特定点处的若干蓝色激光束; 荧光体单元，安装在所述光路改变单元的前方的特定点处，并将由所述光路转换单元会聚的所述蓝色激光转换成白光; 以及设置在荧光体单元的后侧上并且将由荧光体单元转换的白光朝荧光体去耦方向照射的白色光扩散单元。

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