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1. 发明授权

KR102139249B1 이에프이엠 有权
公开(公告)号：KR102139249B1
公开(公告)日：2020-07-29
申请号：KR1020180038675
申请日：2018-04-03
申请人： 우범제
发明人： 우범제
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677

2. 发明授权

KR102100775B1 이에프이엠 有权
公开(公告)号：KR102100775B1
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：KR1020180029501
申请日：2018-03-14
申请人： 우범제
发明人： 우범제
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67

3. 发明授权

KR102066175B1 웨이퍼 수납용기 有权
公开(公告)号：KR102066175B1
公开(公告)日：2020-01-14
申请号：KR1020170182317
申请日：2017-12-28
申请人： 우범제
发明人： 우범제 , 김영철
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/67

4. 发明公开

KR1020180005489A 웨이퍼 수납용기 有权
标题翻译：晶圆存储容器
公开(公告)号：KR1020180005489A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：KR1020160085649
申请日：2016-07-06
申请人： 우범제 , 피코앤테라(주)
发明人： 우범제 , 윤석문 , 허장 , 김영철
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/60
CPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/673 , H01L21/67393 , H01L21/02046 , H01L21/67034 , H01L2021/60187
摘要： 본발명은웨이퍼수납용기에관한것으로서, 특히, 수납실내부에수직방향으로복수개의퍼징영역을구획하고, 상기복수개의퍼징영역에퍼지가스를분사함으로써, 웨이퍼의균일한퍼징을보장할수 있을뿐만아니라, 퍼지가스의낭비없이효율적인웨이퍼의퍼징을달성할수 있는웨이퍼수납용기에관한것이다.
摘要翻译：用于储存晶片的容器技术领域本发明涉及一种用于储存晶片的容器，尤其涉及一种用于储存晶片的容器，其中多个净化区域在储存室的内部垂直分隔，并且净化气体被喷射到多个净化区域由此不仅能够确保晶片的均匀吹扫而且能够有效地吹扫晶片而不会浪费吹扫气体。

5. 发明授权

KR101688620B1 웨이퍼 수납용기 有权
标题翻译： WAFER储物容器
公开(公告)号：KR101688620B1
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：KR1020150186010
申请日：2015-12-24
申请人： 피코앤테라(주) , 우범제
发明人： 우범제 , 윤석문 , 한명석 , 김현신
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/02 , H01L21/67 , B65D85/38 , H01L21/60
CPC分类号： B65D85/38 , H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/673
摘要： 본발명은웨이퍼수납용기에관한것으로서, 효율적으로상기웨이퍼수납용기내부에수납된웨이퍼의표면의퓸을제거하기위해, 상기웨이퍼수납용기를서로독립된별개의공간을형성하는수납실과, 상기수납실과연통되는가스실로구성하여, 상기가스실을통해상기수납실의측면의면상(面上)으로가스를공급하거나배기하는웨이퍼수납용기에관한것이다.

6. 发明授权

KR101670381B1 퓸 제거장치용 히터 및 이를 이용한 퓸 제거장치 有权
标题翻译：用于除去烟雾的装置的加热器和使用其排除烟雾的装置
公开(公告)号：KR101670381B1
公开(公告)日：2016-10-28
申请号：KR1020150032920
申请日：2015-03-10
申请人： 우범제
发明人： 우범제
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/324 , H01L21/673 , H01L21/60
摘要： 본발명은퓸 제거장치용히터및 이를이용한퓸 제거장치에관한것으로써, 특히, 퓸제거장치용히터에금속편이설치되어, 히터의열이더욱효과적으로웨이퍼및/또는웨이퍼주위에전달될수 있는퓸 제거장치용히터및 이를이용한퓸 제거장치에관한것이다.

7. 发明公开

KR1020160109106A 퓸 제거장치용 히터 및 이를 이용한 퓸 제거장치 有权
标题翻译：用于除去燃料的装置的加热装置和使用该装置的装置
公开(公告)号：KR1020160109106A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：KR1020150032920
申请日：2015-03-10
申请人： 우범제
发明人： 우범제
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/324 , H01L21/673 , H01L21/60
CPC分类号： H01L21/02046 , H01L21/324 , H01L21/67389 , H01L2021/60187
摘要： 본발명은퓸 제거장치용히터및 이를이용한퓸 제거장치에관한것으로써, 특히, 퓸제거장치용히터에금속편이설치되어, 히터의열이더욱효과적으로웨이퍼및/또는웨이퍼주위에전달될수 있는퓸 제거장치용히터및 이를이용한퓸 제거장치에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种除烟装置用加热器及使用其的除烟装置。特别地，本发明涉及一种用于除烟装置的加热器，其能够通过将金属片安装在加热器中而更有效地将加热器的热传递到晶片和/或晶片周围; 以及使用其的除烟装置。

8. 发明授权

KR101637498B1 웨이퍼 수납용기 有权
标题翻译：前开式统一POD
公开(公告)号：KR101637498B1
公开(公告)日：2016-07-07
申请号：KR1020150040523
申请日：2015-03-24
申请人： 피코앤테라(주) , 우범제
发明人： 우범제 , 윤석문 , 한명석 , 김현신
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/54 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67393
摘要： 본발명은웨이퍼수납용기에관한것으로서, 웨이퍼수납용기를수납실과가스주입실및 가스배기실로독립된별개의공간을형성하여, 상기웨이퍼수납용기를로드포트로이송하여상기로드포트와결합시, 상기수납실내부의분리벽을통해퍼지가스를주입 / 배기함으로써, 효율적으로웨이퍼의표면에잔존하는퓸을제거하는웨이퍼수납용기에관한것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种晶片接收容器。晶片接收容器包括彼此独立的接收室，气体注入室和排气室。当晶片接收容器被转移并连接到杆端口时，吹扫气体通过接收室中的分隔壁被注入或排出，从而有效地除去残留在晶片表面上的烟雾。

9. 发明公开

KR1020160014169A 풉 스테이지 노즐 유닛 및 이를 구비한 로드 포트 有权
标题翻译： FOUP阶段喷嘴单元和负载端口
公开(公告)号：KR1020160014169A
公开(公告)日：2016-02-11
申请号：KR1020140095800
申请日：2014-07-28
申请人： 우범제
发明人： 우범제 , 한명석 , 윤석문
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/205
CPC分类号： H01L21/02 , H01L21/205
摘要： 본발명은풉 스테이지노즐유닛및 이를구비한로드포트에관한것으로서, 더욱상세하게는로드포트(Loadport)에구비된상태로웨이퍼(Wafer)가내부에적재되는풉(Foup)이상면에탈착가능하게안착되는풉 스테이지에설치되어풉 내부로퍼지가스(Purge gas)의공급및 퓸(Fume)이포함된배출가스가배출되는노즐유닛으로서, 노즐유닛은상면이개방되고일측에수직으로요홈이형성된하우징과, 하우징내부에수용되며, 상면이개방되고내부에유로가형성되며, 개방된상면을통해풉에퍼지가스의공급또는퓸이포함된배출가스가배출되는노즐과, 하우징의요홈을통해수평으로삽입되어노즐의일측을관통하여설치되어노즐내부에퍼지가스를유입또는노즐을통해배출되는배출가스가이송되는이송관과, 하우징의하부를수직으로관통한상태로삽입되어노즐의하면에결합된 실린더와, 실린더내부로압축공기를주입하는가압부및 노즐의하단과실린더사이를연결한용수철을포함하는풉 스테이지노즐유닛에관한것이다. 본발명에따르면, 로드포트에탑재된풉에서웨이퍼에잔존하는잔존가스인퓸 제거의효율이상승하고, 유지보수및 전력소비량측면에서향상된효과가있다.
摘要翻译：本发明涉及一种FOUP级喷嘴单元和具有该FOUP级喷嘴单元的装载端口。更具体地说，本发明涉及一种作为喷嘴单元的FOUP台式喷嘴单元，该喷嘴单元可以安装在FOUP台中，其中，在其中装载有晶片的FOUP安装在负载端口中的FOUP可拆卸地安装在 FOUP阶段，以便向FOUP的内部供应吹扫气体，并且排出包括烟雾的放电气体，其包括：壳体，喷嘴，传送管，气缸，压力单元和弹簧。壳体的上侧被打开，并且在壳体的一侧上垂直地形成有槽。喷嘴被容纳在壳体内部，具有敞开的上侧，在其中包括流路，并且通过打开的上侧将吹扫气体供给到FOUP，或者排出包括烟气的排放气体。输送管水平插入壳体的凹槽中以穿透喷嘴的一侧，并将吹扫气体引入喷嘴中，或者传送通过喷嘴排出的排出气体。气缸垂直地穿过壳体的下部以插入其中，并且与喷嘴的下侧组合。压力单元将加压空气注入气缸。弹簧连接喷嘴的下端和气缸。根据本发明，提供了提高除去作为位于负载口的FOUP中的残留在晶片中的气体的烟气的效率的效果，以及在功耗和维护方面的改善的效果。

10. 发明公开

KR1020150087154A 퓸 제거 장치 有权
标题翻译：卸载FUME的装置
公开(公告)号：KR1020150087154A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：KR1020150035787
申请日：2015-03-16
申请人： 우범제
发明人： 우범제 , 김상현 , 한명석 , 김영철
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67389 , H01L21/02046
摘要： 본발명은, 웨이퍼가적재되는웨이퍼카세트를포함하여, 상기웨이퍼에퍼지가스를분사하여퓸을제거하는퓸 제거장치에있어서, 퍼지가스가유입되는퍼지가스유입구, 상기퍼지가스유입구를통해유입된퍼지가스가배출되는퍼지가스배출구, 및상기퍼지가스유입구와상기퍼지가스배출구를연결하는퍼지가스유로를포함하되, 상기퍼지가스유로는상기퍼지가스유입구에연통되는메인유로와상기메인유로로부터분지되어복수개의퍼지가스배출구와연통되는복수개의분지유로를포함하는것을특징으로하는퓸 제거장치에관한것이다. 본발명을통해, 웨이퍼에잔존하는공정가스를효율적으로제거할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于除去烟雾的装置，其中包括具有堆叠的晶片的晶片盒，并且将清洗气体喷射在晶片上以除去烟气，烟气包括净化气体入口，吹扫气体通过该吹扫气体入口流入; 净化气体通过净化气体入口流过的净化气体出口排出; 以及连接吹扫气体入口和吹扫气体出口的吹扫气体流路，其中所述吹扫气体流路的特征在于包括连接到所述吹扫气体入口的主流路和从所述主流路分支的多个分支流路，并连接到多个吹扫气体出口。根据本发明，可以有效地除去存在于晶片中的处理气体。

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